Presentations -
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Measurements of Active Species Flux from N2 Plasma in GaN Growth Condition International conference
H. Kanai, T. Ishijima, H. Toyoda, H. Sugai and J. Osaka
Proceedings of 6th International Symposium on Dry Process(DPS2006)
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Measurements of Cu densities at the ground and metastable states in a magnetron sputtering plasma source with a Cu target International conference
K. Sasaki, J.-S. Gao, N. Nafarizal, H. Toyoda, S. Iwata, T. Kato, S. Tsunashima, and H. Sugai
AVS (American Vacuum Society) 53rd International Symposium and Exhibition
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プラズマCVDの基礎 Invited
豊田浩孝
第33回アモルファスセミナー スタートアップセッション
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Development and Characteristics of Neutral Beam Source International conference
Y. Hara, S. Takashima, S. Den, K. Yamakawa, H. Kanou, H. Sugai, H. Toyoda, M. Hori
The 3nd International Student Workshop on Plasma Science and Technology
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GaN成膜高密度窒素プラズマからの活性種診断
金井英和、石島達夫、豊田浩孝、菅井秀郎
平成18年度電気関係学会東海支部連合大会
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表面波励起SiH4/GeH4/H2プラズマによる高結晶性SiGe膜形成
高西雄大、岡安隆文、豊田浩孝。菅井秀郎
平成18年度電気関係学会東海支部連合大会
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2次元大面積プラズマ生成用表面波の並列励起
林孝信、高西雄大、岡安隆文、豊田浩孝、菅井秀郎
平成18年度電気関係学会東海支部連合大会
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表面波励起H2/SiH4プラズマにおける基板温度制御とmc-Si膜特性の向上
岡安隆文、高西雄大、豊田浩孝、菅井秀郎
平成18年度電気関係学会東海支部連合大会
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マグネトロンスパッタリングにおける基板入射粒子のエネルギー制御と磁性多層膜への応用
高木佑輔、豊田浩孝、鈴木勇佑、加藤剛志、岩田聡、綱島滋、菅井秀郎
平成18年度電気関係学会東海支部連合大会
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Slot-Excited Surface Wave Plasma for Giant Materials Processing Invited International conference
H. Sugai, Y. Nojiri, Y. Hotta, T. Ishijima, H. Toyoda, A. Masuda, M. Kondo
6th International Workshop on Microwave Discharges: Fundamentals and Applications
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GaN成長用小型ラジカル源からの窒素ラジカルフラックスの出現質量分析測定
金井英和、石島達夫、豊田浩孝、菅井秀郎、大坂次郎
第67回応用物理学会学術講演会
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VHF-DCマグネトロンスパッタリングによる膜平坦性の制御と磁性多層膜への応用
高木佑輔、豊田浩孝、鈴木勇佑、加藤剛志、岩田 聡、綱島 滋、菅井秀郎
第67回応用物理学会学術講演会
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表面波励起SiH4/GeH4/H2プラズマを用いたSiGe膜の形成
高西雄大、岡安隆文、豊田浩孝、菅井秀郎
第67回応用物理学会学術講演会
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表面波プラズマCVDにおけるmc-Si膜特性の基板表面温度依存性
岡安隆文、高西雄大、豊田浩孝、菅井秀郎
第67回応用物理学会学術講演会
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High-speed Deposition of Microcrystalline Silicon by a Surface Wave Excited H2/SiH4 Plasma International conference
Hirotaka Toyoda, Yoshihiko Hota, Takafumi Okayasu, Hideo Sugai
2006 IEEE World Conference on Photovoltaic Energy Conversion
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Measurements of Absolute Densities and Emission Intensities of Species Ejected from a YBaCuO Target in MSP International conference
J. S. Gao, K. Sasaki, H. Toyoda, A. Fujimaki, S. Iwata, and H. Sugai
Abstracts of 2nd International COE Forum on Plasma Science and Technology
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Measurements of Nitrogen Radical Flux for GaN Layer Formation International conference
T. Ishijima, H. Kanai, H. Toyoda, J. Osaka and H. Sugai
Abstracts of 2nd International COE Forum on Plasma Science and Technology
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Sheath-Lens Effect in Plasma Immersion Ion Implantation International conference
N. Holtzer, E. Stamate, H. Toyoda and H. Sugai
Abstracts of 2nd International COE Forum on Plasma Science and Technology
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Distribution of densities in rf magnetron sputtering plasmas with a Si target and Ar-H2 Mixture gas International conference
K. Fukaya, K. Sasaki, J. Gao, A. Tabata, H. Toyoda, S. Iwata, and H. Sugai
Abstracts of 2nd International COE Forum on Plasma Science and Technology
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High Quality mc-Si Film Deposition Wave Plasma with a Modified Gas Feed System International conference
H. Toyoda, T. Okayasu, Y. Takanishi, and H. Sugai
Abstracts of 2nd International COE Forum on Plasma Science and Technology