Presentations -
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大気圧マイクロ波励起O2/CF4プラズマによるフォトレジスト除去処理
(M2)石川 翔太1、鈴木 陽香1、本田 剛2、豊田 浩孝1 (1.名大工、2.ニッシン)
応用物理学会秋季学術講演会
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メートル級長尺大気圧マイクロ波プラズマの顕微計測 Invited
鈴木 陽香、小池 洋右、小間 浩嗣、馬場 賀己、豊田 浩孝
応用物理学会秋季学術講演会
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電磁界シミュレーションを用いた大気圧長尺マイクロ波プラズマにおける定在波抑制
(M2)小池 洋右、小間 浩嗣、鈴木 陽香、豊田 浩孝
応用物理学会秋季学術講演会
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Potential Control of Surface Wave Plasma by Applying DC Pulse Voltage to a Microwave Antenna
(M2)Kou Udagawa1,Sho Fukuda1,Haruka Suzuki1,Yuki Tauchi2,Hirotaka Toyoda1(1.Nagoya Univ.,2.Kobe Steel Ltd.)
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Meter-scale atmospheric pressure microwave line plasma and its applications. Invited International conference
H. Toyoda
Xth INTERNATIONAL WORKSHOP on MICROWAVE DISCHARGES: Fundamentals and Applications
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表面波プラズマアンテナへのDC パルス電圧印加によるプラズマ電位制御
福田奨、宇田川洸、鈴木陽香、豊田浩孝（名古屋大学）、田内裕基（神戸製鋼所）
平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会講演論文集
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酸化物ターゲットを用いたマグネトロンスパッタにおける酸素負イオンフラックスの空間分布の数値解析
三矢 晶洋、宇田川 洸、鈴木 陽香、豊田 浩孝
平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会講演論文集
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大気圧メートル級長尺マイクロ波ラインプラズマの顕微計測
小間 浩嗣、小池 洋右、鈴木 陽香、豊田 浩孝
平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会講演論文集
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スロット励起大気圧マイクロ波プラズマにおけるスロット断面構造の顕微観測
馬場賀己, 鈴木陽香,豊田浩孝
平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会講演論文集
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Surface Roughness Control of ITO Films by VHF Superposed DC Magnetron Plasma Invited International conference
Hirotaka Toyoda, Haruka Suzuki
THERMEC2018
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Long-scale atmospheric-pressure microwave plasma Invited International conference
H. Toyoda, H. Suzuki Y. Koike, H. Koma, Y. Baba, J.H. Qiu, M.H. Chu, A. Sugiyama
JAPAN-RUB Workshop on Plasma Science
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Meter-scale atmospheric-pressure microwave plasma for molecular gas processes Invited International conference
Hirotaka Toyoda
19th International Congress on Plasma Physics
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大気圧長尺マイクロ波プラズマにおける電力吸収の空間分布
小池 洋右，田村 宥人，鈴木 陽香，豊田 浩孝
第65回応用物理学会春季学術講演会
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同軸導波管の外部導体ギャップ間におけるマイクロ波プラズマ生成
藤村 昇平, 鈴木 陽香, 笹井 建典, 豊田 浩孝
第65回応用物理学会春季学術講演会
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マグネトロンスパッタリングにおける負イオンの数値解析による評価
宇田川 洸，三矢 晶洋，鈴木 陽香，豊田 浩孝
第65回応用物理学会春季学術講演会
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Water-vapor Atmospheric Pressure Microwave Plasma in an Air-Shielded Environment by Water Flow International conference
Haruka Suzuki, Hikaru Senba and Hirotaka Toyoda
ISPlasma2018 / IC-PLANTS2018
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Space-Resolved Measurement of Microwave Power along Waveguide in Atmospheric Pressure Microwave Line Plasma International conference
Yosuke Koike, Haruka Suzuki, Yuto Tamura, Yoshiki Baba and Hirotaka Toyoda
ISPlasma2018 / IC-PLANTS2018
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Oxygen Negative Ion Behavior in a VHF-superposed DC Magnetron Sputtering International conference
Kou Udagawa, Akihiro Mitsuya, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda
ISPlasma2018 / IC-PLANTS2018
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A coaxial-waveguide microwave plasma source for in-line treatment of large volume liquid International conference
Shohei Fujimura, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai and Hirotaka Toyoda
ISPlasma2018 / IC-PLANTS2018
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Power Absorption Mechanism of Atmospheric-Pressure Microwave Line Plasma International conference
Haruka Suzuki, Yosuke Koike, Yuto Tamura, Yoshiki Baba and Hirotaka Toyoda
ISPlasma2018 / IC-PLANTS2018