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二周波重畳容量結合プラズマ基本特性の実験的評価 の実験的評価 の実験的評価
三矢 晶洋， 森山 誠，鈴木 ，鈴木 陽香，豊田 浩孝
第66回応用物理学会春季学術講演会
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シミュレーションによる二周波重畳容量結合プラズマの基本特性解析
森山 誠，三矢 晶洋，中原 尚哉，鈴木 陽香，豊田 浩孝
第66回応用物理学会春季学術講演会
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スロット型大気圧マイクロ波プラズマの時空間分解計測
馬場 賀己，鈴木陽香，豊田 浩孝
第66回応用物理学会春季学術講演会
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Time-resolved microscopic measurement of cross-sectional structure of slot excited atmospheric pressure microwave plasma
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A Systematic Analysis of Modified Waveguide Structure for Atmospheric-Pressure Microwave Plasma Source via Simulations
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メートル級長尺スロット型プラズマ源における 大気圧マイクロ波プラズマの顕微計測
小間 浩嗣、小池 洋右、鈴木 陽香、豊田 浩孝、
第36回プラズマプロセシング研究会と第31回プラズマ材料科学シンポジウム
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Water Vapor Plasma Treatment Process using Slot-Excited Microwave Plasma Invited
28th Annual Meeting of MRS-Japan 2018
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Organic-matter removal treatment using atmospheric pressure microwave O2/CF4
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新規大気圧マイクロ波プラズマ源の開発と応用 Invited
鈴木陽香、豊田浩孝
高機能トライボ表面プロセス部会 第12回例会
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直流放電プラズマを用いた金属スズの水素リサイクリング評価
田村晃汰，鈴木陽香，豊田浩孝，宮澤順一
プラズマ核融合学会 第35回年会
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二周波重畳容量結合プラズマの基本特性評価
森山誠，三矢晶洋，中原尚哉，鈴木陽香，豊田浩孝
プラズマ核融合学会 第35回年会
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大気圧マイクロ波ラインプラズマにおける酸素原子の紫外吸収分光計測
BAE Hansin，小池洋右，小間浩嗣，鈴木陽香，豊田浩孝
プラズマ核融合学会 第35回年会
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大気圧下でのメートル級マイクロ波プラズマの生成と応用 Invited
鈴木陽香、豊田浩孝
プラズマ核融合学会 第35回年会
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Influence of magnetic field on high-energy negative ion behavior in magnetron plasma with oxide targets Invited International conference
Hirotaka Toyoda, Ko Udagawa, Akihiro Mitsuya, Hansin Bae, Haruka Suzuki
2nd Asia-Pacific Conference on Plasma Physics
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High speed photoresist removal using slot-excited atmospheric-pressure microwave O2/CF4 plasma International conference
Shota Ishikaw1, Haruka Suzuki, Tsuyoshi Honda and Hirotaka Toyoda
The 40th International Symposium on Dry Process(2018)
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Ring-shaped microwave plasma production in liquid flow environment for nanoparticle synthesis Invited International conference
S. Fujimura, S. Yang, K. Sasai, H. Suzuki and H. Toyoda
The 40th International Symposium on Dry Process(2018)
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Observation of cross sectional plasma structure in a gap of an atmospheric pressure microwave discharge International conference
Hirotaka Toyoda Yoshiki Baba Haruka Suzuki
71st Annual Gaseous Electronics Conference
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Scaling of Microwave Absorption in Atmospheric Pressure Microwave Line Plasma International conference
Ivan Ganachev,Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda
The Eighteenth Biennial IEEE Conference on Electromagnetic Field Computation (CEFC2018)
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Diagnostics of energetic particles in magnetron plasma using oxide target Invited International conference
Ivan Ganachev, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda
International Symposium on Sputtering & Plasma Processes Pre session (ISSP2018)
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流動液体マイクロ波プラズマによるナノ粒子生成
藤村 昇平、楊 少菲、鈴木 陽香、豊田 浩孝
応用物理学会秋季学術講演会