Presentations -
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Development of new plasma process sources using microwave power Invited International conference
Hirotaka Toyoda
19th International Conference on Plasma Surface Engineering
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表面波プラズマ照射による金属ナノ粒子の合成
髙辻 乃輔，鈴木 陽香, 笹井 建典, 豊田 浩孝
電気関係学会東海支部連合講演会 2024.8.29
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電荷重畳法によるトレンチ内のチャージングシミュレーション
菊池 拓哉，鈴木 陽香，豊田 浩孝
電気関係学会東海支部連合講演会 2024.8.29
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多視点画像を基にした不均一プラズマ分布の再構築
泉 涼太, 久蔵 学, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
電気関係学会東海支部連合講演会 2024.8.29
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入射エネルギー及び入射角度可変プラズマ引き出し型イオンビーム源の開発
渡邉 隆斗，鈴木 陽香，豊田 浩孝
電気関係学会東海支部連合講演会 2024.8.29
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高密度マイクロ波プラズマを用いた液体処理とナノ粒子合成への応用 Invited
豊田浩孝
第73回 プラズマが拓くものづくり研究会 2024.6.25 名古屋産業振興公社
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プラズマ生成と半導体微細加工の基礎 Invited
豊田浩孝
講習会 2024.5.21
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Plasma processing: Key technology for the next-generation semiconductor device fabrication Invited International conference
Hirotaka Toyoda
The 1ST Global Forum and International Workshop on Industrial Plasma Plasma Processes and Diagnostics 2024 2024.5.9
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Angular distribution measurement of high-energy argon neutrals and ions incident on RF electrode of a capacitively-coupled plasma Invited International conference
H. Toyoda, S. Kawamura, D.H. Kim, H. Suzuki, M. Moriyama, K. Tamura, S. Kuboi, D. Iino, H. Fukumizu, K. Kurihara
Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics 2024.5.1
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二周波重畳容量結合型プラズマにおけるRF電極入射高エネルギー粒子の角度分布評価 Invited
市川景太,Manh Hung Chu,森山誠,鈴木陽香, 飯野大輝,福水裕之,栗原一彰,豊田浩孝
第71回応用物理学会春季講演会 2024.3 応用物理学会
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On-Off及びHigh-Low変調VHFプラズマ照射下のキャピラリープレート底部の電荷蓄積におけるデューティー比の影響
赤塚 勇大，鈴木 陽香，森山 誠，飯野 大輝， 福水 裕之，栗原 一彰，豊田 浩孝
第71回応用物理学会春季講演会 2024.3 応用物理学会
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二周波重畳容量結合型プラズマにおけるイオン角度分布のエネルギー分解計測
川村 隼也，Kim Dohan, 鈴木 陽香，飯野 大輝，福水 裕之，栗原 一彰，豊田 浩孝
第71回応用物理学会春季講演会 2024.3 応用物理学会
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Plasma Science: achievements and future impact on semiconductor technologies Invited International conference
Hirotaka Toyoda
Nano Fabrication Technologies for Semiconductor Industry and Quantum Computing 2024.3.15 Japan Alumni and Researcher Assembly
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Interaction of liquid tin with hydrogen plasma International conference
Hirotaka Toyoda, Kota Tamura, Haruka Suzuki, Junichi Miyazawa, Suguru Masuzaki, Masayuki Tokitani, Yukinori Hamaji
US-Japan and International Workshop on Power and Particle Control in DEMO Fusion Reactor by Liquid Metal Plasma-Facing Components 2024.3.7 National Institute for Fusion Science
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テレセントリックレンズを用いて撮影された画像からのプラズマ発光強度3次元空間分布の評価
鈴木陽香，原田健汰，久蔵学，泉涼太，豊田浩孝
第41回プラズマプロセシング研究会 2024.1 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
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プラズマ材料科学賞基礎部門賞受賞講演 Invited
豊田浩孝
第41回プラズマプロセシング研究会 2024.1 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
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二周波重畳容量性結合型Arプラズマにおけるイオン角度分布のエネルギー分解計測
川村隼也，金度漢，鈴木陽香，飯野大輝，福水裕之，栗原一彰，豊田浩孝
第41回プラズマプロセシング研究会 2024.1 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
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On-OffおよびHigh-Low変調VHFプラズマにおけるキャピラリープレート底部の電荷蓄積挙動比較
赤塚勇大，鈴木陽香，森山誠，飯野大輝，福水裕之，栗原一彰，豊田浩孝
第41回プラズマプロセシング研究会 2024.1 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
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高アスペクト比エッチングプラズマにおけるイオン挙動 Invited
豊田浩孝
サタデーモーニング講座 2023.12.9 名古屋大学低温プラズマ科学研究センター
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気体流による減圧形成を応⽤した放電易化におけるノズル電極の構造検討
小川泰那, 中林賢二, 鈴木陽香, 豊田浩孝
第40回 プラズマ・核融合学会 年会 2023.11.29 プラズマ・核融合学会