Presentations -
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大気圧パルスマイクロ波プラズマにおける印加外部電界に起因するスペクトル拡がり
鎌田 安住，楊 海鵬，石島 達夫，豊田 浩孝
平成21年度電気関係学会東海支部連合大会
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CF系イオン照射によるフォトレジスト表面改質層の解析(2)
竹内拓也、関根誠、豊田浩孝、竹田圭吾、堀勝、康松潤、沢田郁夫
第70回応用物理学会学術講演会
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シュタルク拡がりを用いたプラズマ密度計測における外部電界の影響
楊 海鵬、石島達夫、豊田浩孝
第70回応用物理学会学術講演会
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マイクロ波バブルプラズマにおける水温・圧力の影響
齋藤良太、杉浦宏康、石島達夫、豊田浩孝
第70回応用物理学会学術講演会
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マイクロ波プラズマ生成による難分解性有機物分解処理
石島達夫，齋藤良太，豊田浩孝
電気学会プラズマ研究会
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Detection of High Energy Negative Ions in an RF Magnetron Sputter Plasma International conference
H. Toyoda, K. Goto, T. Ishijima, N. Ohshima, K. Kinoshita
The 19th International Symposium on Plasma Chemistry
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Decomposition of Organic Solute with Microwave Bubble Plasmas International conference
T. Ishijima, R. Saito, H. Sugiura, H. Toyoda
The 19th International Symposium on Plasma Chemistry
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High-Density Microwave Plasma Production For Thin Film Si Solar Cell and Monitoring of SiH4 Gas Dissociation Process Invited International conference
T. Ishijima, H. Endo, H. Asano, H. Toyoda
The 9th Korea-Japan Workshop on Thin Film and Plasma Process for Green Plasma Technology Advanced Plasma Diagnostics for Plasma-Nano Processing
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915MHz表面波プラズマを用いた微結晶シリコン薄膜の膜特性評価
浅野弘嗣、遠藤浩孝、石島達夫、豊田浩孝
第56回応用物理学関係連合講演会
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スロットアンテナ励起マイクロ波液中プラズマによる有機物含有溶液処理
齋藤良太、杉浦宏康、石島達夫、豊田浩孝
第56回応用物理学関係連合講演会
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シュタルク拡がりを用いた大気圧パルスマイクロ波プラズマの電子密度計測
楊 海鵬、石島達夫、豊田浩孝
第56回応用物理学関係連合講演会
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高周波マグネトロンプラズマ中の高エネルギー負イオンエネルギーの空間分布計測
後藤和也、石島達夫、大嶋則和、木下啓蔵、豊田浩孝
第56回応用物理学関係連合講演会
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微結晶Si薄膜超高速堆積用表面波プラズマ Invited
豊田浩孝
太陽電池製造用新規プラズマ源に関する研究会
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Basic experiment on microcrystalline silicon film deposition by 915 MHz microwave PlasmaCVD International conference
H. Asano, T. Ishijima, H. Toyoda
First International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications
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Low Temperature Microcrystalline Silicon Film Deposition by Microwave High-density Plasma Invited International conference
Hirotaka Toyoda
First International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications
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CF系プラズマにより改質されたフォトレジスト表面層の観察
竹内拓也、関根誠、豊田浩孝、竹田圭吾、堀勝、康松潤、沢田郁夫
プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会 プロシーディングス
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マイクロ波励起による液中プラズマ生成と化学反応性
石島達夫、齋藤良太、豊田浩孝
プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会 プロシーディングス
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スロットアンテナ励起バブルプラズマによる高速溶質処理
齋藤良太、杉浦宏康、石島達夫、豊田浩孝
プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会 プロシーディングス
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915ＭＨｚマイクロ波励起 プラズマによる微結晶シリコン薄膜堆積
浅野弘嗣、遠藤広考、石島達夫、豊田浩孝
プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会 プロシーディングス
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大気圧パルスマイクロ波プラズマにおける水素原子スペクトルの時分解計測
楊 海鵬、石島達夫、豊田浩孝
プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会 プロシーディングス