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高密度マイクロ波プラズマを用いたポリィミドフィルムの高速密着性改善
宇佐見 健二，石島 達夫，豊田 浩孝，伊関清司，菅井秀郎
第57回応用物理学関係連合講演会
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酸化物ターゲットのスパッタプロセスにおける酸素負イオンエネルギー分布中微細構
後藤 和也，石島 達夫，森田 正，小野 一修，大嶋則和，木下 啓藏，豊田 浩孝
第57回応用物理学関係連合講演会
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高密度SiH4/H2マイクロ波PCVDによる基板表面温度制御下での微結晶シリコン薄膜堆積
坂井 淳二，池田 昌平，伊藤 裕紀，石島 達夫，豊田 浩孝
第57回応用物理学関係連合講演会
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水素原子偏光スペクトル計測を用いた大気圧パルスプラズマの外部印加電界強度の検討
鎌田 安住，楊 海鵬，石島 達夫，豊田 浩孝
第57回応用物理学関係連合講演会
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SiH4/H2マイクロ波プラズマの気相診断
黒田 俊之,石島 達夫，豊田 浩孝
第57回応用物理学関係連合講演会
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TiCl4への電子衝突によるTiCl2ラジカル生成断面積測定
齊藤 耕平，関根 誠，堀 勝，豊田 浩孝，康 松潤，沢田 郁夫
第57回応用物理学関係連合講演会
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Microcrystalline Silicon Film Deposition by 915MHz High-Density Microwave Plasma International conference
J. Sakai, T. Ishijima, H. Toyoda
The 3rd International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
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Effect of Post-Baking on Copper Adhesion to Polyimide Films Treated by High Density Microwave Plasma International conference
K. Usami, T. Ishijima, H. Toyoda, K. Iseki, H. Sugai
The 3rd International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
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Time Resolved Measurement of Hb Emission from Atmospheric-Pressure Pulsed Microwave Plasma International conference
A. Kamata, H. Yang, T. Ishijima, H. Toyoda
The 3rd International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
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Mass Spectrometric Measurement of Neutral Radicals in SiH4/H2 High Density Microwave Plasma International conference
T. Kuroda, T. Ishijima, H. Toyoda
The 3rd International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
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Gas-Phase Diagnostics of SiH4/H2 Surface Wave Excited Plasma International conference
T. Kuroda, T. Ishijima, H. Toyoda
2nd International Symposium on Advansed Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials
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The Effect of Temperature and Pressure for Microwave-Excited Bubble Plasma Production International conference
R. Saito, K. Kanetake, T. Ishijima, H. Toyoda
The 3rd International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
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Substrate Temperature Control in Microwave Plasma CVD International conference
J. Sakai, T. Ishijima, H. Toyoda
2nd International Symposium on Advansed Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials
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Periodic Peak Formation in O- Energy Distribution in RF Magnetron Plasma International conference
K. Goto, T. Ishijima, T. Morita, N. Ohshima, K. Kiinoshita, H. Toyoda
2nd International Symposium on Advansed Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials
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表面波励起高密度プラズマによる高分子フィルムの高速密着性改善
宇佐見 健二，石島 達夫，豊田 浩孝
第27回プラズマプロセシング研究会
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大気圧パルスマイクロ波プラズマの時分解発光分光計測
鎌田 安住，楊 海鵬，石島 達夫，豊田 浩孝
第27回プラズマプロセシング研究会
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マイクロ波励起SiH4/H2高密度プラズマの気相診断
黒田 俊之,石島 達夫，豊田 浩孝
第27回プラズマプロセシング研究会
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Influence of Temperature and Pressure on Multibubble Plasma Production by Microwave Invited International conference
T. Ishijima, R. Saito, K. Kanetake, H. Toyoda
10th International Symposium on Biomimetic Materials Processing(BWWMP-10) and 1st International Symposium on Water Science and Technology(WaST-1)
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Plasma innovation towards next generation green technology Invited International conference
M. Hori, M. Aekine, H. Toyoda
The 10th International Worksop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics
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Behavior of High-Energy Oxygen Negative Ions in Magnetron Plasma with Oxide Targets International conference
K. Goto, T. Ishijima, T. Morita, N. Ohshima, K. Kiinoshita, H. Toyoda
The 10th International Worksop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics