Presentations -
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高密度マイクロ波プラズマ処理によるPETフィルムの親水性向上
郡上祐一、豊田浩孝、伊関清司、菅井秀郎
平成19年度電気関係学会東海支部連合大会
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Production of One-Meter-Square Large-Area Surface Wave Plasma with Parallel Linear Antennas International conference
Y. Takanishi, H. Endo, T. Ishijima, H. Toyoda and H. Sugai
6th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering
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Effect of Hydrogen Radical on Silicon Chemical Sputtering with Argon-Hydrogen Mixture Gas International conference
K. Fukaya, K. Sasaki, A. tabata, H. Toyoda and H. Sugai
6th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering
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Characteristics of the vertically-stacked Josephson junctions fabricated with surface wave plasma International conference
Taishi Kimura, Mitsuhiro Watanabe, Takanobu Hayashi, Kenmei Kajino, Toyoda Hirotaka, Hideo Sugai, Masumi Inoue, Akira Fujimaki
8th European Conference on Applied Superconductivity
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磁性多層膜における構造と磁気特性のスパッタガス依存性
前田幸春、鈴木勇佑、坂下洋平、加藤剛志、岩田聡、綱島滋、豊田浩孝、菅井秀郎
第31回日本応用磁気学会学術講演会
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915MHz表面波による大面積・高密度プラズマ生成と微結晶シリコン薄膜堆積
高西雄大,遠藤広考,林孝信,中尾禎子,石島達夫,豊田浩孝,菅井秀郎,増田 淳,近藤道雄
第68回応用物理学会学術講演会
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マイクロ波プラズマＣＶＤによるCNT-FETへのダメージフリー保護膜形成
高田昇治、豊田浩孝、菅井秀郎、中島康宏、大野雄高、水谷孝
第68回応用物理学会学術講演会
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水素生成酸化物セラミクスのプラズマ処理における酸素空格子生成量の評価
山口雄矢、石島達夫、豊田浩孝、菅井秀郎、森田健治、片平康治
第68回応用物理学会学術講演会
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表面波励起プラズマによる積層ジョセフソン接合の表面改質
林孝信(M)、渡邉光弘、木村大至、井上真澄、藤巻朗、豊田浩孝、菅井秀郎
第68回応用物理学会学術講演会
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表面波プラズマを用いた積層ジョセフソン接合作製における表面改質条件の検討
渡邉光弘、木村大至、林孝信、 豊田浩孝、菅井秀郎、井上真澄、藤巻朗
第68回応用物理学会学術講演会
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Development and Characteristics of Fast Radical Source International conference
Y. Hara, S. Takashima, K. Yamakawa, S. Den, H. Kano, H. Toyoda, H. Sugai and M. Hori
18th International Symposium on Plasma Chemistry
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Rapid Improvement of Polymer Film Hydrophilicity by High Density Microwave Plasma International conference
Y. Takagi. Y. Gunjyo. ○H. Toyoda, H. Sugai
18th International Symposium on Plasma Chemistry
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Uniform Deposition of Microcrystalline Silicon Films by High Density Microwave Plasma with Paralleled Waveguides
T. Hayashi, Y. Takanishi, H. Toyoda and H. Sugai
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High-Density Treatment of Polyimide Film for Enhancement of Copper Layer Adhesion International conference
Y. Takagi, Y. Gunjyo. H. Toyoda and H. Sugai
9th International Symposium on Sputtering and Plasma
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Meter-Scale Deposition of Silicon Thin Films by Slot-Excited Large Microwave Plasma International conference
H. Sugai, Y. Nojiri, Y. Hotta, T. Ishijima, H. Toyoda, A. Masuda, M. Kondo
Symposium on Amorphous and Polycrystalline Thin-Film Silicon Science and Technology in the MRS Spring Meeting
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915MHz表面波による1m角高密度プラズマ生成
高西雄大、遠藤広孝、岡安隆文、石島達夫、豊田浩孝、菅井秀郎
第54回応用物理学関係連合講演会
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高温超伝導体ジョセフソン接合の表面改質時のECRプラズマ内イオンエネルギーの評価
渡邉光弘、木村大至、林孝信、豊田浩孝、菅井秀郎、井上真澄、藤巻朗
第54回応用物理学関係連合講演会
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プラズマイオン注入における過渡シース効果
ホルゼルニコラ、豊田浩孝、菅井秀郎、斎藤隆雄
第54回応用物理学関係連合講演会
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並列導波管励起表面波プラズマによる微結晶シリコン薄膜堆積
林孝信、高西雄大、岡安隆文、豊田浩孝、菅井秀郎
第54回応用物理学関係連合講演会
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表面波プラズマを用いた表面改質型積層ジョセフソン接合の作製
木村大至、渡邉光弘、林孝信、豊田浩孝、菅井秀郎、井上真澄、藤巻朗
第54回応用物理学関係連合講演会