Faculty Profiles - TOYODA, Hirotaka

Presentations -

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Large volume liquid treatment with high-density microwave plasma Invited International conference

Hirotaka Toyoda

Plasma Thin Film International Meeting (PLATHINUM2021) 2021.9.13

High-energy Negative Ions in Sputtering Plasma - Energy Distribution and Its Spatial Variation - Invited International conference

Hirotaka Toyoda

3rd Asia-Pacific Conference on Plasma Physics

二周波重畳容量結合型プラズマのRF電極に入射するイオン角度分布のエネルギー分解計測と機械学習を用いた解析手法

Kim Dohan，川村隼也, 内藤真誉, 鈴木陽香，飯野大輝，福水裕之，栗原一彰，豊田浩孝

第72回応用物理学会春季講演会 2025.3 応用物理学会

二周波重畳容量結合型プラズマの電極への正パルス電圧印加が高アスペクト比ホール底部の電荷蓄積に与える影響

菊池拓哉，赤塚勇大, 鈴木陽香，森山誠，田村晃汰, 久保井宗一, 飯野大輝，福水裕之，栗原一彰，豊田浩孝

第72回応用物理学会春季講演会 2025.3 応用物理学会

二周波容量結合型Ar/Krプラズマにおける質量およびエネルギー分解イオン角度分布の計測

内藤真誉, 川村隼也，Kim Dohan, 藤谷航大, 鈴木陽香, 飯野大輝，福水裕之，栗原一彰，豊田浩孝

第72回応用物理学会春季講演会 2025.3 応用物理学会

Reconstruction of three-dimensional plasma emission strucuture based on multi-view images International conference

Ryota Izumi, Manabu Kyuzo, Hayato Yoshikawa, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

ISPlasma2025/IC-PLANTS2025 2025.3

Influence of air-exposure on surface composition of plasma-exposed polyethylene terephthalate film International conference

Tomoya Murase, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

ISPlasma2025/IC-PLANTS2025 2025.3

二周波容量結合型プラズマにおける電極入射高エネルギーイオンのエネルギー分解角度分布計測 Invited

豊田浩孝

応用物理学会シリコンテクノロジー分科会研究集会 2025.2.27 応用物理学会シリコンテクノロジー分科会

流動液体マイクロ波プラズマを用いた高効率銀ナノ粒子合成プロセス

高辻乃輔，柚木健吾，鈴木陽香，笹井建典，豊田浩孝

第42回プラズマプロセシング研究会 2025.1 応用物理学会

電荷重畳法を用いたトレンチチャージングシミュレーション

菊池拓哉，鈴木陽香，豊田浩孝

第42回プラズマプロセシング研究会 2025.1 応用物理学会

入射角可変型高エネルギーイオン照射装置の開発

渡邉　隆斗，鈴木陽香，豊田浩孝

第42回プラズマプロセシング研究会 2025.1 応用物理学会

Charging simulation of high-aspect ratio hole by method of fundamental solutions International conference

T. Kikuchi1, H. Suzuki, and H. Toyoda

2024.12.18

High-speed Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition of Conductive Carbon Film Using Microwave Plasmas International conference

H. Suzuki H. Bae, I. Hamaguchi, K. Sasai, and H. Toyoda

2024.12.18

多視点画像を用いたプラズマの３次元構造解析

泉　涼太,　鈴木　陽香,　藤井　俊彰,　豊田　浩孝

第41回プラズマ核融合学会年会 2024.11.17 プラズマ核融合学会

Energy-resolved measurement of ion angular distribution in dual-frequency capacitively-coupled Ar plasma incident on an RF electrode International conference

S. Kawamura, M. Naito, D. Kim, H. Suzuki, D. Iino, H. Fukumizu, K. Kurihara and H. Toyoda

45th International Symposium on Dry Process 2024.11.15

Influence of Ion Incident Energy on Charge Accumulation at the Bottom of High Aspect Ratio Holes in Dual-Frequency Capacitively-Coupled Plasma International conference

Y. Akatsuka, H. Suzuki, M. Moriyama, K. Tamura, S. Kuboi, D. Iino, H. Fukumizu, K. Kurihara, and H. Toyoda

45th International Symposium on Dry Process 2024.11.15

Time-resolved measurement of ion composition in a pulse modulated Ar/C4F8/O2 dual-frequency capacitively coupled plasma using mass spectrometry Invited International conference

Haruka Suzuki, Shuichi Kuboi, Haruhito Kato, Yuto Seki, Yudai Akatsuka, Hirotaka Toyoda

8th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics 2024.11

プラズマの魅力 Invited

豊田浩孝

あいちサイエンスフェスタ 2024.9.28

多方向視野像を用いた不均一プラズマ発光の再構築

鈴木陽香, 泉涼太, 久蔵学, 豊田浩孝

応用物理学会秋季学術講演会 2024.9.20 応用物理学会

磁場閉じ込めプラズマにおける水素化ホウ素分子の形成・放射過程 Invited International coauthorship

川手朋子, 芦川直子, 後藤基志, 大石鉄太郎, 川本靖子,豊田浩孝, 庄司主, 河村学思, 増崎貴, F. Nespoli, E.P.Gilson, R. Lunsford, 鈴木千尋, A. Nagy，D. Gates, 村上泉

日本物理学会第79次年次大会 2024.9.16 日本物理学会

Development of new plasma process sources using microwave power Invited International conference

Hirotaka Toyoda

19th International Conference on Plasma Surface Engineering

表面波プラズマ照射による金属ナノ粒子の合成

髙辻　乃輔，鈴木　陽香, 笹井建典, 豊田　浩孝

電気関係学会東海支部連合講演会 2024.8.29

電荷重畳法によるトレンチ内のチャージングシミュレーション

菊池　拓哉，鈴木　陽香，豊田　浩孝

電気関係学会東海支部連合講演会 2024.8.29

多視点画像を基にした不均一プラズマ分布の再構築

泉　涼太, 久蔵　学, 鈴木　陽香, 豊田　浩孝

電気関係学会東海支部連合講演会 2024.8.29

入射エネルギー及び入射角度可変プラズマ引き出し型イオンビーム源の開発

渡邉　隆斗，鈴木　陽香，豊田　浩孝

電気関係学会東海支部連合講演会 2024.8.29

高密度マイクロ波プラズマを用いた液体処理とナノ粒子合成への応用 Invited

豊田浩孝

第73回　プラズマが拓くものづくり研究会 2024.6.25 名古屋産業振興公社

プラズマ生成と半導体微細加工の基礎 Invited

豊田浩孝

講習会 2024.5.21

Plasma processing: Key technology for the next-generation semiconductor device fabrication Invited International conference

Hirotaka Toyoda

The 1ST Global Forum and International Workshop on Industrial Plasma Plasma Processes and Diagnostics 2024 2024.5.9

Angular distribution measurement of high-energy argon neutrals and ions incident on RF electrode of a capacitively-coupled plasma Invited International conference

H. Toyoda, S. Kawamura, D.H. Kim, H. Suzuki, M. Moriyama, K. Tamura, S. Kuboi, D. Iino, H. Fukumizu, K. Kurihara

Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics 2024.5.1

二周波重畳容量結合型プラズマにおけるRF電極入射高エネルギー粒子の角度分布評価 Invited

市川景太,Manh Hung Chu,森山誠,鈴木陽香, 飯野大輝,福水裕之,栗原一彰,豊田浩孝

第71回応用物理学会春季講演会 2024.3 応用物理学会

On-Off及びHigh-Low変調VHFプラズマ照射下のキャピラリープレート底部の電荷蓄積におけるデューティー比の影響

赤塚勇大，鈴木陽香，森山誠，飯野大輝，福水裕之，栗原一彰，豊田浩孝

第71回応用物理学会春季講演会 2024.3 応用物理学会

二周波重畳容量結合型プラズマにおけるイオン角度分布のエネルギー分解計測

川村隼也，Kim Dohan, 鈴木陽香，飯野大輝，福水裕之，栗原一彰，豊田浩孝

第71回応用物理学会春季講演会 2024.3 応用物理学会

Plasma Science: achievements and future impact on semiconductor technologies Invited International conference

Hirotaka Toyoda

Nano Fabrication Technologies for Semiconductor Industry and Quantum Computing 2024.3.15 Japan Alumni and Researcher Assembly

Interaction of liquid tin with hydrogen plasma International conference

Hirotaka Toyoda, Kota Tamura, Haruka Suzuki, Junichi Miyazawa, Suguru Masuzaki, Masayuki Tokitani, Yukinori Hamaji

US-Japan and International Workshop on Power and Particle Control in DEMO Fusion Reactor by Liquid Metal Plasma-Facing Components 2024.3.7 National Institute for Fusion Science

テレセントリックレンズを用いて撮影された画像からのプラズマ発光強度3次元空間分布の評価

鈴木陽香，原田健汰，久蔵学，泉涼太，豊田浩孝

第41回プラズマプロセシング研究会 2024.1 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会

プラズマ材料科学賞基礎部門賞受賞講演 Invited

豊田浩孝

第41回プラズマプロセシング研究会 2024.1 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会

二周波重畳容量性結合型Arプラズマにおけるイオン角度分布のエネルギー分解計測

川村隼也，金度漢，鈴木陽香，飯野大輝，福水裕之，栗原一彰，豊田浩孝

第41回プラズマプロセシング研究会 2024.1 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会

On-OffおよびHigh-Low変調VHFプラズマにおけるキャピラリープレート底部の電荷蓄積挙動比較

赤塚勇大，鈴木陽香，森山誠，飯野大輝，福水裕之，栗原一彰，豊田浩孝

第41回プラズマプロセシング研究会 2024.1 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会

高アスペクト比エッチングプラズマにおけるイオン挙動 Invited

豊田浩孝

サタデーモーニング講座 2023.12.9 名古屋大学低温プラズマ科学研究センター

気体流による減圧形成を応⽤した放電易化におけるノズル電極の構造検討

小川泰那, 中林賢二, 鈴木陽香, 豊田浩孝

第40回　プラズマ・核融合学会　年会 2023.11.29 プラズマ・核融合学会

多⽅向画像からの3次元プラズマ空間構造の評価

鈴木陽香, 原田健太, 久蔵学, 豊田浩孝

第40回　プラズマ・核融合学会　年会 2023.11.30 プラズマ・核融合学会

Effect of collisions in a sheath on angular distributions of high-speed particles incident on an RF electrode from a dual-frequency capacitively-coupled plasma International conference

S. Kawamura, H. Suzuki, D. Iino, H. Fukumizu, K. Kurihara and H. Toyoda

44th International Symposium on Dry Process

Influence of Ion Composition on High Aspect Ratio Etching in Pulse-operated Ar/C4F8/O2 DF-CCP International conference

S. Kuboi, Y. Akatsuka, H. Kato, H. Suzuki and H. Toyoda

44th International Symposium on Dry Process

Quantitative evaluation of ion composition in Ar/C4F8/O2 pulsed capacitively-coupled plasma based on electron impact ionization rates International conference

H. Kato, Y. Akatuka, S. Kuboi, H. Suzuki and H. Toyoda

44th International Symposium on Dry Process

Production and Application of High-density Microwave Plasma in Contact with Flowing Liquid Invited International conference

Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

13th Asia European International Conference on Plasma Surface Engineering 2023.11

高周波電極へ入射する高エネルギー粒子角度分布のイメージング計測

豊田浩孝，市川景太，Manh Hung Chu，森山誠，鈴木陽香，飯野大輝，福水裕之，栗原一彰

2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会　プラズマエレクトロニクス賞受賞講演 2023.9.20 応用物理学会

複数視野像をもとにしたプラズマ3次元構造評価の試み

原田健汰, 久蔵学, 大舘暁, 鈴木陽香、豊田浩孝

2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023.9.21 応用物理学会

流動液体プラズマ処理装置を用いたAgナノ粒子合成における生成性能評価

柚木健吾, 鈴木陽香, 豊田浩孝

2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023.9.19 応用物理学会

Ar/C4F8/O2容量結合型パルスプラズマにおける放電開始直後の電離レートをもとにしたイオン組成の定量的評価

加藤閣人, 赤塚勇大, 久保井宗一, 鈴木陽香, 豊田浩孝

2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023.9.22 応用物理学会

高速ガス流を用いた弱減圧マイクロ波プラズマ生成にむけた減圧形成シミュレーション

中林　賢二，小川　泰那，鈴木　陽香, 豊田　浩孝

令和5年度電気・電子情報関係学会東海支部連合講演会 2023.8.29

二周波容量結合型Ar/C4F8/O2パルスプラズマの電子密度時分解計測

赤塚　勇大，加藤　閣人，久保井　宗一, 鈴木　陽香, 豊田　浩孝

令和5年度電気・電子情報関係学会東海支部連合講演会 2023.8.29

トリチウムプラズマ照射による固体・液体スズ中水素分布の高精度評価

豊田浩孝

核融合科学研究所-富山大学研究推進機構水素同位体科学研究センター双方向型共同研究　研究会 2023.7.17

Time-dependent measurement of ion composition in a capacitively-coupled Ar/C4F8/O2 power-modulated VHF plasma International conference

H. Toyoda, H. Kato, Y. Seki, S. Kuboi, Y. Akatsuka, and H. Suzuki

International Conference on Phenomena of Ionized Gases 2023.7.10

Influence of Pulse-off Time on Time-varying Ion Composition in a Pulse-operated Ar/C4F8/O2 Dual-frequency Capacitively Coupled Plasma International conference

Shuichi Kuboi, Haruhito Kato, Yuto Seki, Yudai Akatsuka, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

International Symposium on Plasma Chemistry 2023.5.22

高アスペクト比加工におけるチャージング現象 Invited

豊田浩孝

グリーンDXプラズマコンソーシアム２０２３年度第1回講習会 2023.4.21 名古屋大学低温プラズマ科学研究センター

二周波重畳容量結合型プラズマにおけるシース内衝突がRF電極入射粒子の角度分布に及ぼす影響

川村隼也，市川景太，鈴木陽香,　飯野大輝，福水裕之，栗原一彰，豊田浩孝

第70回応用物理学会春季講演会 2023.3.17 応用物理学会

旋回流による流動液体プラズマ処理装置の放電部の電極保護

柚木健吾，鈴木陽香，笹井建典，増崎貴，林浩己，村瀬尊則，中川翔，柳原悠人，豊田浩孝

第70回応用物理学会春季講演会 2023.3.18 応用物理学会

発光イメージをもとにしたプラズマ構造の評価

原田健汰, 久蔵学, 大館暁, 豊田浩孝

第70回応用物理学会春季講演会 2023.3.16 応用物理学会

二周波容量結合型Ar/C4F8/O2プラズマにおける電力変調方式がイオン組成に与える影響

加藤閣人，関悠斗，久保井宗一，鈴木陽香, 豊田浩孝

第70回応用物理学会春季講演会 2023.3.17 応用物理学会

高速ガス流を用いた減圧形成によるマイクロ波放電の易化

小川泰那，岩田悠輝，鈴木陽香，豊田浩孝

第70回応用物理学会春季講演会 2023.3.15 応用物理学会

大気圧プラズマによるラジカル生成に及ぼす酸素ガス混合の効果

松浦寛人、トラントラングエン、岡本陽太、胡敏、仲野匠、岩田悠輝、鈴木陽香、豊田浩孝

第70回応用物理学会春季講演会 2023.3.15 応用物理学会

C2F4の電子物性とPTFEの生成機構

林俊雄、石川健治、関根誠、堀勝、兒玉直人，豊田浩孝

第70回応用物理学会春季講演会 2023.3.17 応用物理学会

Time dependent nanoparticle density measurement in a liquid-flow plasma process International conference

Kengo Yunoki, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai and Hirotaka Toyoda

ISPlasma2023/IC-PLANTS2023 2023.3.6

Time Variation of Ion Composition in Dual-frequency Capacitively-Coupled Ar/C4F8/O2 Pulsed Plasma International conference

Haruhito Kato, Yuto Seki, Shuichi Kuboi, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

ISPlasma2023/IC-PLANTS2023 2023.3.6

Microwave plasma production under air-flow-induced reduced pressure International conference

Taina Ogawa, Yuki Iwata, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

ISPlasma2023/IC-PLANTS2023 2023.3.6

Power absorption of high negative pulse power to an electron cyclotron plasma International conference

Ikumi Hamaguchi, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

ISPlasma2023/IC-PLANTS2023 2023.3.6

Development of a tomography calculation code for three-dimensional emission profile reconstruction International conference

Kenta Harada, Manabu Kyuzo, Satoshi Ohdachi, Hirotaka Toyoda

ISPlasma2023/IC-PLANTS2023 2023.3.6

Atomic composition of droplet ejected from liquidized Sn-Bi-Li-Er alloy under hydrogen plasma exposure International conference

Kota Tamura, Junichi Miyazawa, Suguru Masuzaki, Masayuki Tokitani, Yukinori Hamaji, Hirotaka Toyoda

ISPlasma2023/IC-PLANTS2023 2023.3.6

Hydrogen bubble formation on liquidized Sn-Bi-Li-Er Alloy under H2 Plasma Exposure International conference

Hirotaka Toyoda

US-Japan and International Workshop on Power and Particle Control in DEMO Fusion Reactor by Liquid Metal Plasma-Facing Components 2023.3.1

未来社会を担うクリーンエネルギー生成研究の最先端 Invited

豊田浩孝

グリーンDXプラズマコンソーシアム第4回講習会 2023.2.24 名古屋大学低温プラズマ科学研究センター

Sn-Bi-Li-Er液体合金への水素プラズマ照射における気泡中への水素吸蔵量定量評価

豊田浩孝

2023.2.17

パルス変調Ar/C4F8/O2二周波容量結合型プラズマにおけるイオン組成時間変化のメカニズム Invited

久保井宗一，加藤閣人，関悠斗，鈴木陽香, 豊田浩孝

第242回シリコンテクノロジー分科会研究集会 2023.2.17 応用物理学会シリコンテクノロジー分科会

Quantitative Evaluation of Hydrogen Accumulation into Bubble Occurred in Liquidized Sn-Bi-Li-Er under H2 Plasma Exposure International conference

Kota Tamura

The 7th INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON LIQUID METALS APPLICATIONS FOR FUSION

Imaging measurement of angular distribution of high-speed particles from a dual-frequency capacitively-coupled plasma incident on an RF electrode International conference

K. Ichikawa, H. Suzuki, D. Iino, H. Fukumizu, K. Kurihara and H. Toyoda

43rd International Symposium on Dry Process 2022.11.24 Japan Society of Applied Physics

Time-resolved measurement of Ionic composition change in Pulse-modulated Ar/C4F8/O2 DF-CCP International conference

Shuichi Kuboi, Haruhito Kato, Yuto Seki, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

43rd International Symposium on Dry Process 2022.11.24 Japan Society of Applied Physics

マイクロ波プラズマ技術による大気圧プラズマ生成と液体処理 Invited

豊田浩孝

第16回日本電磁波エネルギー応用学会 2022.10.14 日本電磁波エネルギー応用学会

Microwave plasma source development and applications from low pressure to atmospheric pressure Invited International conference

2022.10.13 Association of Asia Pacific Physical Societies, Division of Plasma Physics

Continuous liquid treatment by high-density microwave plasma in flowing liquid Invited International conference

Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

11th International Conference on Reactive Plasmas/75th Annual Gaseous Electronics Conference 2022.10.6 Japan Society of Applied Physics

二周波容量結合型Ar/C4F8/O2プラズマのパルス運転がイオン組成に及ぼす影響

関悠斗、加藤閣人、久保井宗一，鈴木陽香,　豊田浩孝

2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022.9.22 応用物理学会

二周波重畳容量結合型プラズマからRF電極へ入射する高速粒子入射角度分布のイメージング計測 Invited

市川景太，鈴木陽香,　飯野大輝，福水裕之，栗原一彰，豊田浩孝

2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022.9.22 応用物理学会

化学プローブを用いた長尺大気圧プラズマ生成活性ラジカルの可視化

松浦寛人、トラントラングエン、胡敏、仲野匠、岩田悠揮、鈴木陽香、豊田浩孝

2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022.9.20 応用物理学会

Angular distribution of high-energy species on RF-biased electrode of a capacitively-coupled plasma Invited International conference

Hirotaka Toyoda

cLPS Global Plasma Forum 2022.9.8 Center for Low-temperature Plasma Sciences

二周波容量結合型Ar/C4F8/O2パルスプラズマ中のイオン時分解計測

加藤　閣人, 関　悠斗，久保井　宗一, 鈴木　陽香, 豊田　浩孝

令和４年度電気・電子情報関係学会東海支部連合講演会 2022.8.29

Experimental Study on boron distribution and transport at plasma-facing components during impurity powder dropping International coauthorship International conference

T. Kawate, N. Ashikawa, M. Goto, T. Oishi, Y. Kawamoto, H. Toyoda, M. Shoji, G. Kawamura, S. Masuzaki, F. Nespoli, E.P. Gilson, R. Lunsford, C. Suzuki, A. Nagy, D. Gates

15th Asia Pacific Physics Conference Association of Asia Pacific Physical Societies

二周波重畳容量結合型プラズマから電極へ入射する高速粒子のイメージング法を用いた角度分布計測

市川景太, 鈴木陽香, 豊田浩孝

第69回応用物理学会春期学術講演会 2022.3.25

Surface analysis of polyimide film treated by Ar/O2 atmospheric-pressure microwave plasma

Y. Iwata, T. Ogasawara, H. Suzuki, H. Toyoda

2022.3.26

水シールド環境下でのマイクロ波励起水蒸気プラズマの生成と応用 Invited

鈴木陽香、豊田浩孝

第69回応用物理学会春期学術講演会 2022.3.23

Time-resolved measurements of ions in a dual-frequency capacitively-coupled Ar/C4F8/O2 pulsed plasma by mass spectrometry

Yuto Seki, Haruhito Kato, Schuichi Kuboi, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

2022.3.25

Increase in plasma density by applying negative pulse bias voltage on a substrate stage in an electron cyclotron resonance plasma

Ikumi Hamaguchi, Hansin Bae, Kensuke Sasai2, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

2022.3.22

高周波容量結合型プラズマにおける高アスペクト比キャピラリーホール底部のチャージアップ現象 Invited

豊田浩孝

応用物理学会シリコンテクノロジー分科会第234回研究集会 2022.3.15

Bubbling Phenomenon on Liquidized Sn-Bi-Li-Er Alloy Surface under H-Plasma Exposure International conference

Kota Tamura, Hirotaka Toyoda

The 2nd US-Japan Workshop on Power and Particle Control in a Steady State Magnetic Fusion DEMO Reactor by Liquid Metal PFCs 2022.3.11

Angular distribution of high-energy Ar ion and neutral in a 13.56 MHz capacitively-coupled plasma International conference

Keita Ichikawa, Haruka suzuki, Hirotaka Toyoda

ISPlasma2022/IC-PLANTS2022　09aC05O 2022.3.9

RF Voltage Division of in RF-biased High-density Plasma with Floating Liner International conference

Yukinori Chiba, Manabu Kyuzo, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

ISPlasma2022/IC-PLANTS2022　07P-14 2022.3.7

Radical measurements of Ar/C4F8 dual frequency capacitively-coupled plasma International conference

Yuto Seki, Haruhito Kato, Schuichi Kuboi, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

ISPlasma2022/IC-PLANTS2022　08P-14 2022.3.8

Bubbling Phenomenon of Sn-Bi-Li-Er Alloy under H2 Plasma Exposure International conference

Kota Tamura, H. Suzuki, J. Miyazawa, S. Masuzaki, M. Tokitani, H. Toyoda

ISPlasma2022/IC-PLANTS2022　08P-21 2022.3.8

O Radical Measurement of Ar/O2 Microwave Plasma in Atmospheric Pressure International conference

Yuki Iwata, Tomohiro Ogasawara, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

ISPlasma2022/IC-PLANTS2022　07pC09O 2022.3.7

Plasma density increase of electron cyclotron resonance plasma by high voltage pulse power application International conference

Ikumi Hamaguchi, Hansin Bae, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

ISPlasma2022/IC-PLANTS2022　07pC08O 2022.3.7

Influence of the magnetic field configuration on the conductive carbon film deposition in an ECR Ar/C6H6 plasma with high voltage bias

Ikumi Hamaguchi, Hansin Bae, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

Bubbling phenomenon of melted tin-bismuth-lithium-erbium alloy during hydrogen plasma exposure

Kota Tamura, H. Suzuki, J. Miyazawa, S. Masuzaki, M. Tokitani, H. Toyoda

2022.1.25

Imaging measurement of angular distribution of high-energy particles incident on an electrode in a capacitively-coupled plasma

Keita Ichikawa, Manh Hung Chu, Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Haruka Suzuki, and Hirotaka

2022.1.25

Ionic and Neutral radical measurement of Ar/C4F8/O2 very high frequency capacitively-coupled plasma

Yuto Seki, Haruhito Kato, Schuichi Kuboi, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

2022.1.24

液体スズ合金の水素プラズマ照射における発泡現象

田村晃汰、豊田浩孝

「ダイバータの学理と応用」研究会 2022.1.21

大気圧長尺マイクロ波プラズマの連続・離散構造変化

豊田浩孝、鈴木陽香

「原子分子過程研究の最先端と先進的プラズマ分光計測」「原子分子データ応用フォーラムセミナー」合同研究会 2021.12.24

High-performance Ag nanoparticle production by novel liquid-flow plasma treatment device International conference

Kazuya Yamaguchi, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

Materials Research Meeting2021(MRM2021) 2021.12.14

Conductive carbon film deposition by microwave plasma with high voltage biasing International conference

Ikumi Hamaguchi, Hansin Bae, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

Materials Research Meeting2021(MRM2021) 2021.12.16

Spatial distribution measurement of atomic oxygen from atmospheric-pressure microwave line plasma by atomic absorption spectroscopy International conference

Tomohiro Ogasawara, Yuki Iwata, Haruka Suzuki, Takayoshi Tsutsumi, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda

The 12th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology(APSPT-12) 2021.12.10

Influence of metal exposure on the plasma potential in RF-biased high-density plasma with floating liner International conference

Yukinori Chiba, Manabu Kyuzo, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

The 12th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology(APSPT-12) 2021.12.9

Performance evaluation of pulsed-microwave atmospheric-pressure Ar/O₂ line plasma source

Tomohiro Ogasawara, Yuki Iwata, Haruka Suzuki, Takayoshi Tsutsumi, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda

2021.11.22

Measurement of sputtered atoms from Sn and Sn alloy exposed to hydrogen plasma

Kota Tamura, Haruka Suzuki, Junichi Miyazawa, Suguru Masuzaki, Masayuki Tokitani, Hirotaka Toyoda

2021.11.22

Melting of Ag nanoparticles by using a high-density surface-wave plasma

Kazuya Hikita, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

2021.11.22

Influence of small grounded surface on plasma property in an inductively-coupled plasma with floating liner International conference

Haruka Suzuki, Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Keita Ichikawa, and Hirotaka Toyoda

DPS2021 ONLINE SYMPOSIUM 42nd International Symposium on DryProcess

Investigation of Ar/O2 atmospheric-pressure microwave line plasma and its application to Polyimide film ashing International conference

H. Suzuki, T. Ogasawara1, Y. Iwata and H. Toyoda

DPS2021 ONLINE SYMPOSIUM 42nd International Symposium on DryProcess

High Speed sp2-rich Carbon Film Deposition with Surface-wave Microwave Plasma International conference

H. Bae, H. Suzuki, K. Sasai and H. Toyoda

DPS2021 ONLINE SYMPOSIUM 42nd International Symposium on DryProcess

Conductive carbon deposition by surface wave plasma with high voltage pulse biasing International conference

Ikumi Hamaguchi, Hansin Bae, Haruka Suzuki,Kensuke Sasai and Hirotaka Toyoda

Workshop Japan-RUB 2021Bridging the Pandemic: Reigniting Cooperation on Plasma Research(Germany, Online) 2021.11.25

Microwave application to liquid process in reduced pressure environment Invited International conference

Hirotaka Toyoda, Kazuya Yamaguchi, Kengo Yunoki, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai

Workshop Japan-RUB 2021,Bridging the Pandemic: Reigniting Cooperation on Plasma Research 2021.10.29

Oxygen radical measurement in Ar/O2 atmospheric pressure microwave line plasma International conference

Yuki Iwata, Tomohiro Ogasawara, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

Workshop Japan-RUB 2021,Bridging the Pandemic: Reigniting Cooperation on Plasma Research 2021.11.25

Conductive carbon deposition by surface wave plasma with high voltage pulse biasing International conference

Ikumi Hamaguchi, Hansin Bae, Haruka Suzuki,Kensuke Sasai and Hirotaka Toyoda

Workshop Japan-RUB 2021,Bridging the Pandemic: Reigniting Cooperation on Plasma Research 2021.11.25

Evaluation of charge density at hole bottom of capillary plates in a pulsed dual-frequency capacitively coupled plasma International conference

Haruka Suzuki,Makoto Moriyama,Naoya Nakahara,Hirotaka Toyoda

74th Annual Gaseous Electronics Conference 2021.10.7

Highly conductive carbon film deposition by DC and microwave power superposition International conference

Hansin Bae,Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

74th Annual Gaseous Electronics Conference 2021.10.5

Fast and massive synthesis of silver nanoparticle by a liquid-flow plasma source using AgNO3 solution* International conference

Haruka Suzuki,Kazuya Yamaguchi,Kensuke Sasai,Hirotaka Toyoda

74th Annual Gaseous Electronics Conference 2021.10.5

Time-resolved Measurement of Charge Density at the Bottom of High-aspect-ratio Holes in a Pulsed Capacitively Coupled Plasma Invited International conference

Haruka Suzuki, Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Keita Ichikawa, and Hirotaka Toyoda

5th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics, 26 Sept-1Oct, 2021, Remote e-conference(AAPPS-DPP2021) 2021.9.28

Large A rea Ashing Treatment of Polyimide Film by Atmospheric pressure Pulsed Microwave Line Plasma with Ar/O 2 International conference

T.Ogasawara, Y.Iwata, H.Suzuki and H.Toyoda

5th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics, 26 Sept-1Oct, 2021, Remote e-conference(AAPPS-DPP2021)

流動液体プラズマ処理装置を用いたAgナノ粒子の長時間安定合成

〇山口和也1、鈴木陽香1、笹井建典1、豊田浩孝1,2 (1.名大工、2.核融合研)

第82回応用物理学会秋季学術講演会、22a-P08-2 2021.9.22 応用物理学会

High conductive carbon film deposition by electron cyclotron resonance (ECR) plasma

〇Hansin BAE1、Hamaguchi Ikumi1、Kensuke Sasai2、Haruka Suzuki1,2、Hirotaka Toyoda1,2,3 (1.Nagoya Univ.、2.Nagoya Univ. cLPS、3.NIFS)

2021.9.12

大気圧長尺マイクロ波ラインプラズマによる広幅高速アッシング処理

○岩田悠揮，小笠原知裕，鈴木陽香（名大），豊田浩孝（名大/ 核融合研）

令和3年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会、A1-4 2021.9.7

イメージング法による容量結合型プラズマから電極へ入射する高速粒子の角度分布計測

○市川景太，鈴木陽香（名大），豊田浩孝（名大/ 核融合研）

令和3年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会、A1-7 2021.9.7

二周波容量結合型フルオロカーボンプラズマ中のラジカル計測

○関悠斗，久保井宗一，鈴木陽香（名大），豊田浩孝（名大/ 核融合研）

令和3年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会、A1-6 2021.9.7

表面波プラズマを用いた高導電性炭素膜の高速堆積

○濱口育未，BaeHansin，笹井建典，鈴木陽香（名大），豊田浩孝（名大/ 核融合研）

令和3年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会、A1-5 2021.9.7

BH and BD molecular spectroscopy during the Impurity Powder Dropper experiments International conference

T. KAWATE, N. Ashikawa, M. Goto, T. Oishi, Y. Kawamoto, and H. Toyoda

15th International Workshop on Hydrogen Isotopes in Fusion Reactor Materials（HWS2020）

ＬＨＤにおけるボロンを使った水素リサイクリング抑制実験

芦川直子（核融合研、総研大）、川手朋子（核融合研、総研大）、豊田浩孝（名古屋大学）、Zhen SUN（ASIPP、PPPL）

日本原子力学会　春の年会（2021）オンライン（早稲田大学） 2021.3.17

High-speed Deposition of Graphite-like Carbon Film by Microwave Surface-wave Plasma

2021.3.18

International Expansion of Division of Plasma Electronics　-Collaboration with GEC- Invited

2021.3.17

Long-term Operation of Liquid Flow Plasma Processing Device and Its Application to Ag Nanoparticle Production

2021.3.19

Wide-Area Ashing Treatment by Pulsed Microwave Atmospheric Pressure Ar/O2 Plasma

2021.3.19

Plasma Fluctuation b y Inse rtion of a Small Grou nded Electrode into I nductively Coupled Plasma with I nsulated L iner

2021.3.19

Wide-area and High-speed Deposition of Graphitic Film by Microwave Surface Wave Plasma with High Power Pulse International conference

Hansin Bae, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai and Hirotaka Toyoda

ISPlasma2021/IC-PLANTS2021　09aB05O 2021.3.9

Effect of grounded electrode on plasma propety in ICP with floating liner International conference

Manabu Kyuzo*, Yukinori Chiba, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

2021.3.8

Deuterium Depth Profile of Plasma-Exposed Solid/Liquid Tin International conference

Kota Tamura,Haruka Suzuki, Suguru Masuzaki,Masayuki Tokitani, Junichi Miyazawa, Hirotaka Toyoda

ISPlasma2021/IC-PLANTS2021　08P-38 2021.3.8

Time-dependent Measurement of Charge Density at Bottom of High-aspect Hole in a Capacitively-coupled Plasma International conference

Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Keita Ichikawa,Manh Hung Chu,Haruka Suzuki* and Hirotaka Toyoda

ISPlasma2021/IC-PLANTS2021　08pB14O 2021.3.8

Ashing Treatment of Polyimide Film by Atmospheric-pressure Microwave Line Plasma with Ar/O2 International conference

2Haruka Suzuki*, Tomohiro Ogasawara, Yuki Iwata, and Hirotaka Toyoda

ISPlasma2021/IC-PLANTS2021　08pB07O 2021.3.8

Wide Area and High Rate Deposition of Graphitic Carbon by Surface Wave Plasma

Temporal Variation of Accumulated Charge at the Bottom of High Aspect Hole in Pulse-modulated Capacitively-Coupled Plasma

グロー放電水素プラズマを用いたスズ-水素プラズマ相互作用の基礎研究

田村　晃汰

ダイバータの学理と応用 NIFS

A Deuterium Distribution Measurement in Deuterium Plasma Exposed-Tin

Kota Tamura1), Haruka Suzuki1), Suguru Masuzaki2), Masayuki Tokitani2), Junichi Miyazawa2), Hirotaka Toyoda1,2) 1)Nagoya Univ., 2) NIFS

High speed and wide area conductive carbon film deposition by surface-wave plasma.

H.Bae 1), K.Hikita 1), H.Suzuki 1) 2), K.Sasai 2), H.Toyoda 1) 2) 3) (1) Department of electronics, Nagoya univ., (2) Center for Low-temperature Plasma Sciences(cLPS), Nagoya univ., (3) National Institute for Fusion Science(NIFS)

Surface treatment of resin material by pulsed microwave atmospheric pressure Ar/O2 plasma

OGASAWARA Tomohiro1), SUZUKI Haruka1), TOYODA Hirotaka1,2) (1)Nagoya Univ.,2)NIFS)

Evaluation of charge density at the bottom of the capillary plate in a pulse modulated dual frequency CCP International conference

Application of atmospheric pressure microwave plasma to large area and high-speed surface treatment

2020.12.3

Quantitative Evaluation of Hydrogen Retention of Solid and Liquid Tin by Thermal Desorption Spectroscopy International conference

Kota TAMURA1, Haruka SUZUKI1, Junichi MIYAZAWA2, Suguru MASUZAKI2, Hirotaka TOYODA1;2 1. Nagoya University

The 29th International Toki Conference on Plasma and Fusion Research

Evaluation of absolute charge density at the bottom of hole pattern using high aspect ratio capillary plate International conference

MAKOTO MORIYAMA, NAOYA NAKAHARA, HARUKA SUZUKI,HIROTAKA TOYODA

GEC20 Meeting of The American Physical Society、RW3.4

Film Surface Treatment with O2/Ar Line Plasma under Atmospheric Pressure International conference

Haruka Suzuki, Hirotsugu Koma, Tomohiro Ogasawara, Manh Hung Chu, Hirotaka Toyoda

GEC20 Meeting of The American Physical Society、LT3.00007 2020.10.6

パルス変調容量結合型プラズマにおけるキャピラリープレート下部の電荷密度変化

中原尚哉 ,森山誠 ,鈴木陽香 ,豊田浩孝

第81回応用物理学会秋季学術講演会

Time-resolved measurement of charge density at the bottom of capillary plate in a pulse modulated CCP

Ag Particle Behavior in an Inductively Coupled Plasma

Surface Hydrophilic Treatment by Microwave Line Plasma at Atmospheric Pressure

Heat flux evaluation of the atmospheric pressure microwave line plasma from spatio-temporal temperature measurement of the slot-plate

(M2) Manh Hung Chu1, Haruka Suzuki1, Hirotaka Toyoda1

Suppression of redissolution of p lasma synthesis silver nanoparticles using alkaline agent

Absolute charge density evaluation of a capillary plate in a pulse modulated CCP

Estimation of voltage at the top of capillary plate in a CCP

Temperature measurement of slot-plate in an atmospheric-pressure microwave linear plasma International conference

ISPlasma/IC-PLANTS2020

Electromagnetic Analysis in a Long-scale Slot Plasma Excited by Microwave Travelling Wave International conference

Hirotsugu Koma, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

ISPlasma/IC-PLANTS2020

Synthesis of silver nanoparticles by in line liquid process using microwave plasma source International conference

Jyo Suzuki, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai and Hirotaka Toyoda

ISPlasma/IC-PLANTS2020

Quantitative Evaluation of Hydrogen Retention in Metal Tin using Thermal Desorption Spectroscopy International conference

ISPlasma/IC-PLANTS2020

Spatial characteristics analysis of atmospheric pressure microwave plasma with FEM simulation International conference

Yoshiki Baba*, Makoto Moriyama, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

ISPlasma/IC-PLANTS2020

容量結合プラズマ中に設置されたエッチングホール模擬用キャピラリープレートの電位構造解析

森⼭誠、中原尚哉、三⽮晶洋、鈴⽊陽⾹、豊⽥浩孝

プラズマ・核融合学会　第36回年会

核融合炉ダイバー応用へ向けたスズの水素吸蔵量定量評価

田村晃汰，鈴木陽香，宮澤順一，豊田浩孝

プラズマ・核融合学会　第36回年会

potential structure of high-aspect-ratio capillary hole in a pulsed-VHF capactive coupled plasma International conference

M. Moriyama, A. Mitsuya, N. Nakahara, H. Suzuki, H. Toyoda

2019 International Symposium on DryProcess

Microscopic observation of an atmospheric-pressure microwave plasma produced in a meter-scale slot with sub-millimeter gap International conference

HIROTAKA TOYODA, HIROTSUGU KOMA, YOSHIKI BABA, MANH HUNG CHU, HANSIN BAE, HARUKA SUZUKI

GEC19 Meeting of The American Physical Society

Space-resolved oxygen radical measurement of atmo- spheric pressure microwave line plasma using vacuum ul- traviolet absorption spectroscopy International conference

HANSIN BAE, HIROTSUGU KOMA, HARUKA SUZUKI, HIROTAKA TOYODA

GEC19 Meeting of The American Physical Society

Time-resolved Measurement of Pulsed-microwave Excited Atmospheric-pressure Long-scale Slot Plasma

Temporal Variation of Surface Potential on Insulated Film During DC Pulse Voltage Application to an Antenna of Surface-wave Plasma

Measurement of ion energy distribution with Faraday cup in dual frequency capacitively-coupled plasma

Electromagnetic field distribution in a long-scale slot plasma using traveling waves

Potential structure analysis of a capillary plate in a dual frequency CCP

Space-resolved cross-sectional observation of slot-excited microwave O2/Ar plasma at atmospheric pressure

二周波重畳容量結合型プラズマにおけるキャピラリープレート内の電位構造解析

中原尚哉*, 森山誠，三矢晶洋，鈴木陽香，豊田浩孝 (名大工) 栗原一彰，飯野大輝，福水裕之，林久貴，鈴木啓之 (東芝メモリ)

令和元年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会

昇温脱離法を用いた固体スズ中の水素吸蔵量評価

田村晃汰，鈴木陽香，宮澤順一，豊田浩孝

令和元年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会

大気圧マイクロ波プラズマにおけるギャップ内ガス温度の空間分解計測　

馬場賀己＊，鈴木陽香，豊田浩孝

令和元年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会

"二周波重畳容量結合型プラズマ装置におけるファラデーカップを用いたイオンエネルギー分布の測定"

三矢晶洋*，森山誠，中原尚哉、鈴木陽香、豊田浩孝

令和元年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会

Consideration of Surface Potential on Insulated Film during DC Pulse Voltage Application to an Antenna of Surface-wave Plasma

High Speed Synthesis of Nanoparticles in Liquid Environment by In-Line Type Plasma Device

Shaofei Yang, Jyo Suzuki, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

High Speed Synthesis of Nanoparticles in Liquid Environment by In-Line Type Plasma Device

Shaofei Yang, Jyo Suzuki, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

Oxygen Radical Flux Measurement of Atmospheric Pressure Microwave Line Plasma International conference

H. Bae, Y. Koike, H. Koma, H. Suzuki and H. Toyoda

AEPSE2019

Potential Control of Surface Wave Excited Plasma by Pulsed DC Voltage Applied to Plasma-Immersed Waveguide International conference

S. Fukuda, K. Udagawa, H. Suzuki, Y. Tauchi, H. Toyoda

XXXIV ICPIG & ICRP-10

Measurement of ion energy in dual-frequency capacitive coupled plasma International conference

M. Moriyama, A. Mitsuya, N. Nakahara, H. Suzuki, H. Toyoda

XXXIV ICPIG & ICRP-10

Development of Microwave Remote Plasma Source for New Surface Functionalization International conference

T. Okimoto, Yoshiyuki Isomura, Y. Ikari, Y. Tauchi, K. Nishiyama, Kobe Steel, Ltd., Japan H. Toyoda, H. Suzuki, Nagoya University, Japan

International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films(ICMCTF 2019)

Large-area surface treatment using microwave plasma excited in meter-length slot with sub-millimeter gap International conference

Haruka Suzuki, Hirotsugu Koma, Manh Hung Chu, Hansin Bae, Yoshiki Baba, and Hirotaka Toyoda

The 10th of International Workshop on Microplasmas (IWM-10)

Time-resolved microscopic measurement of slot excited atmospheric pressure microwave plasma International conference

Yoshiki Baba, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

The 10th of International Workshop on Microplasmas (IWM-10)

革新的プラズマ源開発とエネルギー科学応用 Invited International conference

豊田浩孝

第82回マテリアルズテーラリング研究会

長尺大気圧マイクロ波プラズマ生成と表面処理の応用 Invited

豊田浩孝

表面技術協会　第139回講演大会

Optimized waveguide structure for atmospheric pressure microwave plasma International conference

Manh Hung Chu,Haruka Suzuki ,Hirotaka Toyoda

ISPlasma/IC-PLANTS2019(11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science)

Time-resolved Measurement of Cross-Sectional Structure of a Narrow Gap Plasma Produced by an Atmospheric Pressure Microwave Discharge International conference

Yoshiki Baba, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

ISPlasma/IC-PLANTS2019(11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science)

Potential Control of Surface Wave Plasma by Applying DC Pulse Voltage to a Slot type Microwave Antenna International conference

Sho Fukuda, Kou Udagawa, Haruka Suzuki, Yuki Yauchi, Hirotaka Toyoda

ISPlasma/IC-PLANTS2019(11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science)

Microscopic Measurement of Long Microwave Plasma at Atmospheric Pressure International conference

Hirotsugu Koma, Yosuke Koike, Haruka Suzuki,Hirotaka Toyoda

ISPlasma/IC-PLANTS2019(11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science)

Oxygen radical measurement of atmospheric pressure microwave plasma employing vacuum ultraviolet absorption spectroscopy International conference

Hansin Bae, Koike Yosuke, Hirotsugu Koma, Haruka Suzuki Hirotaka Toyoda

ISPlasma/IC-PLANTS2019(11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science)

Hydrogen Recycling Properties of Tin wall in DC Glow Hydrogen Plasma International conference

Kota Tamura*, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda and Junichi Miyazawa

ISPlasma/IC-PLANTS2019(11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science)

大気圧長尺マイクロ波プラズマによる大面積高速表面処理

小間浩嗣，杉山敦士，鈴木陽香，本田剛，豊田浩

第66回応用物理学会春季学術講演会

マイクロ波アンテナへのDCパルス電圧印加による絶縁表面へのイオン衝撃

福田奨,宇田川洸, 鈴木陽香, 田内裕基, 豊田浩孝

第66回応用物理学会春季学術講演会

High Speed Synthesis of Nanoparticles by Liquid Flow-type Microwave Plasma

Shaofei Yang, Shohei Fujimura, Masafumi Shiigai, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

Oxygen Radical Measurement of Atmospheric Pressure Microwavw Line Plasma by Vacuum Ultraviolet Absorption Spectroscopy

二周波重畳容量結合プラズマ基本特性の実験的評価の実験的評価の実験的評価

三矢晶洋，森山誠，鈴木，鈴木陽香，豊田浩孝

第66回応用物理学会春季学術講演会

シミュレーションによる二周波重畳容量結合プラズマの基本特性解析

森山誠，三矢晶洋，中原尚哉，鈴木陽香，豊田浩孝

第66回応用物理学会春季学術講演会

スロット型大気圧マイクロ波プラズマの時空間分解計測

馬場賀己，鈴木陽香，豊田浩孝

第66回応用物理学会春季学術講演会

Time-resolved microscopic measurement of cross-sectional structure of slot excited atmospheric pressure microwave plasma

A Systematic Analysis of Modified Waveguide Structure for Atmospheric-Pressure Microwave Plasma Source via Simulations

メートル級長尺スロット型プラズマ源における大気圧マイクロ波プラズマの顕微計測

小間　浩嗣、小池　洋右、鈴木　陽香、豊田　浩孝、

第36回プラズマプロセシング研究会と第31回プラズマ材料科学シンポジウム

Water Vapor Plasma Treatment Process using Slot-Excited Microwave Plasma Invited

28th Annual Meeting of MRS-Japan 2018

Organic-matter removal treatment using atmospheric pressure microwave O2/CF4

新規大気圧マイクロ波プラズマ源の開発と応用 Invited

鈴木陽香、豊田浩孝

高機能トライボ表面プロセス部会第12回例会

直流放電プラズマを用いた金属スズの水素リサイクリング評価

田村晃汰，鈴木陽香，豊田浩孝，宮澤順一

プラズマ核融合学会第35回年会

二周波重畳容量結合プラズマの基本特性評価

森山誠，三矢晶洋，中原尚哉，鈴木陽香，豊田浩孝

プラズマ核融合学会第35回年会

大気圧マイクロ波ラインプラズマにおける酸素原子の紫外吸収分光計測

BAE Hansin，小池洋右，小間浩嗣，鈴木陽香，豊田浩孝

プラズマ核融合学会第35回年会

大気圧下でのメートル級マイクロ波プラズマの生成と応用 Invited

鈴木陽香、豊田浩孝

プラズマ核融合学会第35回年会

Influence of magnetic field on high-energy negative ion behavior in magnetron plasma with oxide targets Invited International conference

Hirotaka Toyoda, Ko Udagawa, Akihiro Mitsuya, Hansin Bae, Haruka Suzuki

2nd Asia-Pacific Conference on Plasma Physics

High speed photoresist removal using slot-excited atmospheric-pressure microwave O2/CF4 plasma International conference

Shota Ishikaw1, Haruka Suzuki, Tsuyoshi Honda and Hirotaka Toyoda

The 40th International Symposium on Dry Process(2018)

Ring-shaped microwave plasma production in liquid flow environment for nanoparticle synthesis Invited International conference

S. Fujimura, S. Yang, K. Sasai, H. Suzuki and H. Toyoda

The 40th International Symposium on Dry Process(2018)

Observation of cross sectional plasma structure in a gap of an atmospheric pressure microwave discharge International conference

Hirotaka Toyoda Yoshiki Baba Haruka Suzuki

71st Annual Gaseous Electronics Conference

Scaling of Microwave Absorption in Atmospheric Pressure Microwave Line Plasma International conference

Ivan Ganachev,Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

The Eighteenth Biennial IEEE Conference on Electromagnetic Field Computation (CEFC2018)

Diagnostics of energetic particles in magnetron plasma using oxide target Invited International conference

Ivan Ganachev, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

International Symposium on Sputtering & Plasma Processes Pre session (ISSP2018)

流動液体マイクロ波プラズマによるナノ粒子生成

藤村昇平、楊少菲、鈴木陽香、豊田浩孝

応用物理学会秋季学術講演会

大気圧マイクロ波励起O2/CF4プラズマによるフォトレジスト除去処理

(M2)石川翔太1、鈴木陽香1、本田剛2、豊田浩孝1 (1.名大工、2.ニッシン)

応用物理学会秋季学術講演会

メートル級長尺大気圧マイクロ波プラズマの顕微計測 Invited

鈴木陽香、小池洋右、小間浩嗣、馬場賀己、豊田浩孝

応用物理学会秋季学術講演会

電磁界シミュレーションを用いた大気圧長尺マイクロ波プラズマにおける定在波抑制

(M2)小池洋右、小間浩嗣、鈴木陽香、豊田浩孝

応用物理学会秋季学術講演会

Potential Control of Surface Wave Plasma by Applying DC Pulse Voltage to a Microwave Antenna

(M2)Kou Udagawa1,Sho Fukuda1,Haruka Suzuki1,Yuki Tauchi2,Hirotaka Toyoda1(1.Nagoya Univ.,2.Kobe Steel Ltd.)

Meter-scale atmospheric pressure microwave line plasma and its applications. Invited International conference

H. Toyoda

Xth INTERNATIONAL WORKSHOP on MICROWAVE DISCHARGES: Fundamentals and Applications

表面波プラズマアンテナへのDC パルス電圧印加によるプラズマ電位制御

福田奨、宇田川洸、鈴木陽香、豊田浩孝（名古屋大学）、田内裕基（神戸製鋼所）

平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会講演論文集

酸化物ターゲットを用いたマグネトロンスパッタにおける酸素負イオンフラックスの空間分布の数値解析

三矢　晶洋、宇田川　洸、鈴木　陽香、豊田　浩孝

平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会講演論文集

大気圧メートル級長尺マイクロ波ラインプラズマの顕微計測

小間　浩嗣、小池　洋右、鈴木　陽香、豊田　浩孝

平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会講演論文集

スロット励起大気圧マイクロ波プラズマにおけるスロット断面構造の顕微観測

馬場賀己,　鈴木陽香,豊田浩孝

平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会講演論文集

Surface Roughness Control of ITO Films by VHF Superposed DC Magnetron Plasma Invited International conference

Hirotaka Toyoda, Haruka Suzuki

THERMEC2018

Long-scale atmospheric-pressure microwave plasma Invited International conference

H. Toyoda, H. Suzuki Y. Koike, H. Koma, Y. Baba, J.H. Qiu, M.H. Chu, A. Sugiyama

JAPAN-RUB Workshop on Plasma Science

Meter-scale atmospheric-pressure microwave plasma for molecular gas processes Invited International conference

Hirotaka Toyoda

19th International Congress on Plasma Physics

大気圧長尺マイクロ波プラズマにおける電力吸収の空間分布

小池洋右，田村宥人，鈴木陽香，豊田浩孝

第65回応用物理学会春季学術講演会

同軸導波管の外部導体ギャップ間におけるマイクロ波プラズマ生成

藤村昇平, 鈴木陽香, 笹井建典, 豊田浩孝

第65回応用物理学会春季学術講演会

マグネトロンスパッタリングにおける負イオンの数値解析による評価

宇田川　洸，三矢　晶洋，鈴木　陽香，豊田　浩孝

第65回応用物理学会春季学術講演会

Water-vapor Atmospheric Pressure Microwave Plasma in an Air-Shielded Environment by Water Flow International conference

Haruka Suzuki, Hikaru Senba and Hirotaka Toyoda

ISPlasma2018 / IC-PLANTS2018

Space-Resolved Measurement of Microwave Power along Waveguide in Atmospheric Pressure Microwave Line Plasma International conference

Yosuke Koike, Haruka Suzuki, Yuto Tamura, Yoshiki Baba and Hirotaka Toyoda

ISPlasma2018 / IC-PLANTS2018

Oxygen Negative Ion Behavior in a VHF-superposed DC Magnetron Sputtering International conference

Kou Udagawa, Akihiro Mitsuya, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

ISPlasma2018 / IC-PLANTS2018

A coaxial-waveguide microwave plasma source for in-line treatment of large volume liquid International conference

Shohei Fujimura, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai and Hirotaka Toyoda

ISPlasma2018 / IC-PLANTS2018

Power Absorption Mechanism of Atmospheric-Pressure Microwave Line Plasma International conference

Haruka Suzuki, Yosuke Koike, Yuto Tamura, Yoshiki Baba and Hirotaka Toyoda

ISPlasma2018 / IC-PLANTS2018

質量分析を用いた粒子計測の基礎 — 計測原理から分析応用までー International conference

豊田浩孝

第30回専門講習会「プロセスプラズマ診断の基礎」

Development of Microwave Plasma Sources and its Application to Materials Processing International conference

Hirotaka Toyoda

27th Annual Meeting of MRS-Japan 2017

大気圧マイクロ波プラズマCVDによるSiO2膜形成及び膜評価

石川翔太、鈴木陽香、豊田浩孝

直流およびVHF重畳直流マグネトロンプラズマにおける高エネルギー酸素負イオンに起因する指向性熱フラックスの測定

宇田川洸、鈴木陽香、豊田浩孝

電磁界シミュレーションを用いた大気圧マイクロ波ラインプラズマの均一性向上の検討

小池洋右、田村宥人、鈴木陽香、豊田浩孝

ギャップ型マイクロ波プラズマ源の改良による液体処理能力向上

藤村昇平、堤和紀、鈴木陽香、豊田浩孝

水流遮蔽水蒸気マイクロ波プラズマの生成とその応用

鈴木陽香、仙波輝、豊田浩孝

Power Absorption Mechanism of Atmospheric Microwave Line Plasma International conference

H. Suzuki, Y. Koike, Y. Tamura, Y. Baba, and H. Toyoda

DPS2017

Power absorption of atmospheric-pressure microwave-line-plasma International conference

HIROTAKA TOYODA, HARUKA SUZUKI, YUTO TAMURA, YOSUKE KOIKE, YOSHIKI BABA

GEC2017

Production of long-scale atmospheric pressure microwave plasma Invited International conference

Hirotaka Toyoda

AAPPS-DPP2017(the 1st Asia-Pacific Conference on Plasma Physics)

Oxygen Negative Ion Flux Evaluation in DC and DC-VHF Magnetron Plasmas through Directional Heat Flux Measurement International conference

Hirotaka Toyoda, Kou Udagawa, Haruka Suzuki, Taku Suyama and Hansin Bae

AEPSE2017

VHF-DC重畳マグネトロンプラズマにおける高エネルギーO-イオンに由来する熱フラックスの評価

宇田川洸，鈴木陽香，豊田浩孝

平成29年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会

空間分解型吸収分光装置を用いたプラズマによる有機溶質分解過程の調査

藤村昇平, 堤和紀, 鈴木陽香, 豊田浩孝

平成29年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会

スロット励起大気圧マイクロ波プラズマにおける消費電力シミュレーション

小池洋右，田村宥人，馬場賀己，鈴木陽香，豊田浩孝

平成29年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会

スロット励起大気圧マイクロ波プラズマCVDによるSiO2薄膜形成

石川翔太，鈴木陽香，豊田浩孝

平成29年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会

スロット励起大気圧マイクロ波プラズの電力消費に関する電磁界シミュレーョン

鈴木陽香，小池洋右 , 田村宥人 , 馬場賀己 , 豊田浩孝

水流により遮蔽された空間での水蒸気マイクロ波プラズ生成

仙波輝, 小池洋右 , 鈴木陽香 , 豊田浩孝

大気圧マイクロ波ラインプラズマにおける電力吸収機構

田村宥人，小池洋右 , 鈴木陽香 , 豊田浩孝

マイクロ波インライン液体処理における反応領域のその場計測

堤和紀，藤村昇平, 鈴木陽香，豊田浩孝

Meter -scale microwave plasma production with various discharge gases for large-area surface treatment under atmospheric pressure Invited International conference

H. Suzuki, Y. Tamura, Y. Inomata, and H. Toyoda

IUMRS-ICAM 2017(The 15th International Conference on Advanced Materials)

Improvement of SiO2 film properties synthesized by plasma-enhanced chemical vapor deposition using slot-type microwave plasma with O 2/TEOS Invited International conference

S. Ishikawa , M. Yamamoto, H. Suzuki, and H. Toyoda

IUMRS-ICAM 2017(The 15th International Conference on Advanced Materials)

Optical measurement of meter-scale microwave line plasma under atmospheric pressure International conference

H. Suzuki, Y. Tamura, Y. Inomata, and H. Toyoda

ICPIG 2017

Quantitative Evaluation of High-Energy Oxygen Negative Ion Flux in DC Magnetron Sputtering of Indium-Tin-Oxide International conference

H. Toyoda, H. Bae, T. Suyama, K. Setaka, H. Suzuki

ICPIG 2017

Microwave plasma production inside the micro-gap with metergap with meter -scale length Invited International conference

H. Suzuki and H. Toyoda

IWM 2017(The 9th International Workshop on Microplasmas)

Development of atmospheric pressure microwave plasma source for large-area surface treatment International conference

H. Suzuki and H. Toyoda

The 22th KJ workshop

マイクロ波励起メートル級大気圧プラズマの生成とその特性

鈴木陽香，田村宥人，猪俣弥雄起，関根誠，堀勝，豊田浩孝

第64回応用物理学会春季学術講演会

マイクロ波インライン液体処理における反応領域の空間分布計測

堤和紀，滝藤奨，藤村昇平, 鈴木陽香，豊田浩孝

第64回応用物理学会春季学術講演会

水流により遮蔽された空間での大気圧プラズマジェット生成

仙波輝 , 小池洋右 , 鈴木陽香 , 豊田浩孝

第64回応用物理学会春季学術講演会

マイクロ波励起長尺大気圧プラズマにおけるプラズマ維持機構の検討

田村宥人，猪俣弥雄起 , 鈴木陽香 , 豊田浩孝

第64回応用物理学会春季学術講演会

Measurement of directional heat flux component in VHF-magnetron sputtering International conference

Hansin Bae, Taku Suyama, Kenta Setaka, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/10th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science

Film quality improvement in slot-type microwave plasma CVD of SiO2 International conference

Masaki Yamamoto, Shota Ishikawa, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/10th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science

Long-scale N2 line plasma production under atmospheric pressure International conference

Haruka Suzuki, Yuto Tamura, Yaoki Inomata, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, and Hirotaka Toyoda

9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/10th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science

Shielding of plasma jets from ambient air by water flow certain International conference

Hikaru Senba, Yosuke Koike, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/10th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science

Introduction to Plasma Production - from Breakdown to Plasma Sustainment - Invited International conference

Hirotaka Toyoda

9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/10th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science

スパッタの基礎とプラズマ解析

豊田浩孝

第29回専門講習会「スパッタ技術の現状と展望」

ITOターゲットを用いたVHF重畳DCマグネトロンプラズマにおける熱フラックスの空間分布

Bae Hansin, 巣山拓, 鈴木陽香, 豊田浩孝

第34回プラズマプロセシング研究会／第29回プラズマ材料科学シンポジウム（合同会議）

改良導波管および連続発振マイクロ波電力によるメートル級長尺大気圧ラインプラズマの効率的生成

鈴木陽香，田村宥人，猪俣弥雄起, 伊藤仁，関根誠，堀勝，豊田浩孝

第34回プラズマプロセシング研究会／第29回プラズマ材料科学シンポジウム（合同会議）

長尺ラインプラズマ生成のための改良型導波管の電磁界シミュレーション

田村宥人，鈴木陽香，猪俣弥雄起, 伊藤仁，関根誠，堀勝，豊田浩孝

第34回プラズマプロセシング研究会／第29回プラズマ材料科学シンポジウム（合同会議）

インラインマイクロ波プラズマ処理の高流速化による有機物分解効率の向上

堤和紀，滝藤奨，藤村昇平, 伊藤美智子，高島成剛，鈴木陽香，豊田浩孝

第34回プラズマプロセシング研究会／第29回プラズマ材料科学シンポジウム（合同会議）

酸化物ターゲットを用いたスパッタリングにおける酸素負イオン挙動 Invited

豊田浩孝

負イオン研究会2016

マグネトロンプラズマ中の高エネルギー負イオンフラックス評価

豊田浩孝,巣山拓, Bae Hansin, 鈴木陽香

プラズマ・核融合学第33回会年会

大気圧高密度マイクロ波プラズマの生成とその応用 Invited

豊田浩孝

2016年真空・表面科学合同講演会

Plasma -enhanced chemical vapor deposition of SiO2 films by slot type microwave plasma with O 2/TEOS International conference

Haruka Suzuki, Masaki Yamamoto, and Hirotaka Toyoda

DPS2016

Evaluation of O- Ion Flux in a VHFVHF -DC Magnetron Plasma under ITO Sputtering Process International conference

Hirotaka Toyoda, Taku Suyama, Hansin Bae and Haruka Suzuki

DPS2016

100% N2 atmospheric-pressure microwave-line-plasma production with a modi ed waveguide structure International conference

HARUKA SUZUKI, YUTO TAMURA, HITOSHI ITOH, MAKOTO SEKINE, MASARU HORI, HI- ROTAKA TOYODA

69th Annual Gaseous Electronics Conference

High speed deposition of SiO2 lm by slot-type microwave CVD system International conference

HIROTAKA TOYODA, MASAKI YAMAMOTO, HARUKA SUZUKI

69th Annual Gaseous Electronics Conference

Development of microwave plasma sources and its applications Invited International conference

Hirotaka Toyoda

The 6th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP2016)

Improvement of Liquid Treatment Efficiency using Microwave In-Line Plasma System with Narrow Flow Path International conference

Haruka Suzuki, Sho Takitou, Hirotaka Toyoda

The 6th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP2016)

ITO マグネトロンスパッタにおける酸素負イオンフラックス評価

巣山拓, Bae Hansin, 瀬高健太, 笹井建典, 鈴木陽香, 豊田浩孝

第77回応用物理学会秋季学術講演会

O2/TEOS スロット型マイクロ波プラズマCVD によるSiO2 膜形成

山本匡毅、鈴木陽香、豊田浩孝

第77回応用物理学会秋季学術講演会

インラインマイクロ波プラズマの流路狭小化による液体処理性能向上

滝藤奨、伊藤美智子、高島成剛、野村記生、北川富則、豊田浩孝

第77回応用物理学会秋季学術講演会

改良型導波管構造によるマイクロ波励起純窒素大気圧ラインプラズマの生成

鈴木陽香，田村宥人，伊藤仁，関根誠，堀勝，豊田浩孝

第77回応用物理学会秋季学術講演会

窒素ガスを用いたマイクロ波大気圧ラインプラズマの生成

田村宥人，鈴木陽香，伊藤仁，関根誠，堀勝，豊田浩孝

平成28年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会

Evaluation of O- Ion Flux in VHF-DC Magnetron Sputtering

Hansin Bae, Taku Suyama, Kenta Setaka, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

プラズマスパッタ　―スパッタの物理とマグネトロンプラズマ―

豊田浩孝

第10回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール

High-speed -camera observation of plasma behavior in atmospheric-pressure microwave line plasma International conference

H. Suzuki, H. Ito, M. Sekine, M. Hori, H. Toyoda

7th International Workshop on Plasma Spectroscopy (IPS2016)

Two-Dimensional Atomic Absorption Spectroscopy of Plasma-Stimulated Zn Atom Desorption from ZnSO4 Solution International conference

H. Toyoda, T. Takaba, H. Suzuki

7th International Workshop on Plasma Spectroscopy (IPS2016)

VHF-DC重畳マグネトロンスパッタによる平坦性向上機構の検討

巣山拓，福井崇史, 瀬高健太, 笹井建典, 豊田浩孝

第63回応用物理学会春季学術講演会

マイクロ波プラズマ液体処理におけるエネルギー効率向上

滝藤奨、伊藤美智子、高島成剛、野村記生、北川富則、豊田浩孝

第63回応用物理学会春季学術講演会

スロット内生成マイクロ波プラズマを用いた高速プラズマCVD

山本匡毅、鈴木陽香、豊田浩孝

第63回応用物理学会春季学術講演会

Low Pressure Sustainment of Surface-Wave Microwave Plasma with Modified Microwave Coupler (MMC-SWP) International conference

KENSUKE SASAI, HARUKA SUZUKI AND HIROTAKA TOYODA

8th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/9th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science

マイクロ波プラズを用いた高圧無電極紫外ランプの試作とその長尺化の検討

西川拓、豊田浩孝

第3回光源物性とその応用研究会

大気圧マイクロ波放電による長尺ラインプラズマの生成と基礎特性

鈴木陽香, 中野優, 伊藤仁, 関根誠, 堀勝, 豊田浩孝

第32回プラズマ・核融合学会年会

Experimental Verification of the Importance of Slot Position in Microwave Plasma Production with Slot Antenna Array International conference

S. Koga and H. Toyoda

DPS2015

Surface Roughness Control of DC Sputter Film Deposition by Superposition of VHF Power International conference

Takashi Fukui, Taku Suyama, Yushi Fukuoka, Kensuke Sasai, Hirotaka Toyoda

ICRP-9/GEC-68/SPP-33

Development of High-Throughput Liquid Treatment System Using Slot Antenna Excited Microwave Plasma International conference

SHO TAKITOU, MICHIKO ITO, SEIGOU TAKASHIMA, NORIO NOMURA, TOMINORI KITAGAWA, HIROTAKA TOYODA

ICRP-9/GEC-68/SPP-33

Application of Atmospheric-Pressure Microwave Line Plasma for Low Temperature Process International conference

HARUKA SUZUKI, SUGURU NAKANO, HITOSHI ITOH, MAKOTO SEKINE, MASARU HORI, HIROTAKA TOYODA

ICRP-9/GEC-68/SPP-33

Origin of Substrate Heating During Oxide Film Deposition by DC Magnetron Discharge and Superposition of VHF Power International conference

KENTA SETAKA, TAKASHI FUKUI, KENSUKE SASAI, HIROTAKA TOYODA

ICRP-9/GEC-68/SPP-33

Organic Decomposition Performance of In-line Liquid Treatment System Using Microwave Plasma International conference

MICHIKO ITO, SEIGO TAKASHIMA, NORIO NOMURA, TOMINORI NOMURA, HIROTAKA TOYODA

ICRP-9/GEC-68/SPP-33

Ultraviolet Light Source Using Electrodeless Microwave Discharge International conference

Taku Nishikawa, Hirotaka Toyoda

ICRP-9/GEC-68/SPP-33

Evaluation of Heat Flux to Film Surface in DC-VHF Superposed Magnetron Plasma International conference

K. Setaka, T. Fukui, T. Suyama, K. Sasai, and H. Toyoda

the 21th KJ workshop

ベンチュリ効果を用いたマイクロ波プラズマ液体処理装置の性能向上

滝藤奨，伊藤美智子, 高島成剛, 野村記生, 北川富則, 豊田浩孝

平成27年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会

VHF-DC重畳マグネトロンスパッタにおける膜特性の評価

巣山拓，福井崇史，福岡侑士，笹井建典，豊田浩孝

平成27年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会

スロット内生成マイクロ波プラズマの基礎的検討

山本匡毅，鈴木陽香，豊田浩孝

平成27年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会

Desorption of Alkaline Metals from Electrolyte Liquid Contacting with a DC Pulsed-Plasma International conference

Haruka Suzuki, Takafumi Takaba, Noriharu Takada and Hirotaka Toyoda

AEPSE2015

Toward Real Uniform Sputtering – Spatial Uniformity of Thickness and Quality - Invited International conference

Hirotaka Toyoda

AEPSE2015

Optimization of In-line Plasma Treatment Performance International conference

Michiko Ito, Seigo Takashima, Norio Nomura, Tominori Kitagawa and Hirotaka Toyoda

AEPSE2015

吸収分光法によるVHF-DC 重畳マグネトロンプラズマのガス温度測定

第76回応用物理学会秋季学術講演会

Low Temperature Treatment using Atmospheric-Pressure Microwave Line Plasma

Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori and Hirotaka Toyoda

VHF -DC 重畳マグネトロンスパッタにおける膜表面粗さの制御

第76回応用物理学会秋季学術講演会

マイクロ波プラズマを用いた無電極紫外ランプの温度分布

第76回応用物理学会秋季学術講演会

Influence of Solution Temperature on Processing Performance by In-line Plasma Treatment Device International conference

MICHIKO ITO, SEIGO TAKASHIMA, NORIO NOMURA, TOMINORI KITAGAWA AND

7th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/8th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science

Gas Temperature Measurement in Atmospheric-Pressure Microwave Line Plasmas International conference

HARUKA SUZUKI, SUGURU NAKANO, HITOSHI ITOH, MAKOTO SEKINE, MASARU HORI

7th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/8th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science

吸収分光法によるArパルスマイクロ波プラズマのガス温度時分解測定

瀬高健太、豊田　浩孝

第62回応用物理学会春季学術講演会

マイクロ波プラズマを用いた無電極紫外ランプの開発

西川拓、豊田浩孝

第62回応用物理学会春季学術講演会

VHF-DC 重畳マグネトロンスパッタにおける成膜速度評価

福井崇史, 福岡侑士, 高田昇治, 笹井建典, 豊田浩孝

第62回応用物理学会春季学術講演会

大気圧マイクロ波ラインプラズマにおけるプラズマ挙動シミュレーション

鈴木陽香，中野優，伊藤仁，関根誠，堀勝，豊田浩孝

第62回応用物理学会春季学術講演会

パルスマイクロ波プラズを用いたインラ溶液処理装置における処理性能の Duty 比依存性

伊藤美智子, 高島成剛, 野村記生, 北川富則, 豊田浩孝

第62回応用物理学会春季学術講演会

表面波プラズマ支援RFスパッタによるMgO薄膜の堆積 International conference

萩原敏哉, 豊田浩孝

狭ギャップスロットアンテナを用いた大気圧ラインプラズマ生成 International conference

中野優, 鈴木陽香, 伊藤仁, 関根誠, 堀勝, 豊田浩孝

電解質溶液を電極としたパルスDCプラズマにおける液相由来金属原子の吸収分光計測 International conference

鷹羽貴史, 鈴木陽香, 高田昇治, 豊田浩孝

インラインのプラズマ処理装置により生成される水溶液中のOHラジカル評価 International conference

伊藤美智子，高島成剛，野村記生，北川富則，豊田浩孝

Plasma Science for Future Nanotechnology Invited International conference

Hirotaka Toyoda

The GRDC Symposium 2014

Pseudo-continuous meter-scale microwave plasma production under atmospheric pressure International conference

Hirotaka Toyoda, Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine and Masaru Hori

67th Annual Gaseous Electronics Conference

Discharge Characteristic of VHF-DC Superimposed Magnetron Sputtering System International conference

Hirotaka Toyoda, Yushi Fukuoka, Takashi Fukui, Noriharu Takada, Kensuke Sasai

67th Annual Gaseous Electronics Conference

プラズマ技術とその産業応用 Invited

豊田　浩孝

プラズマ技術講演会

Plasma movement mechanism in pseudo-continuous meter-scale atmospheric-pressure line plasma

Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori and Hirotaka Toyoda

VHF-DC 重畳マグネトロンスパッタ装置の特性評価

福岡侑士，福井崇史, 高田昇治, 笹井建典，豊田浩孝

第75回応用物理学会秋季学術講演会

ポータブルUHF プラズマ装置の開発

古賀翔太，豊田浩孝

平成26年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会

吸収分光法によるAr プラズマの中性粒子温度測定

瀬高健太，豊田浩孝

平成26年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会

VHF-DC 重畳マグネトロンプラズマ装置の特性評価

福井崇史，福岡侑士，高田昇治, 笹井建典, 豊田浩孝

平成26年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会

Novel sputtering system for uniform dielectric film deposition International conference

Hirotaka Toyoda, Toshiya Hagihara

International conference on microelectronics and plasma technology 2014

Development of compact UHF plasma source Invited International conference

Hirotaka Toyoda and Shota Koga

The International Symposium on Plasma-Nano Materials and Processes

パルスDC マグネトロンプラズマ中の酸素負イオン計測

福岡侑士，小川勇人, 高田昇治, 豊田浩孝

第61回応用物理学関係連合講演会

メートル級マイクロ波大気圧ラインプズマの均一性評価

中野優，鈴木陽香，伊藤仁，関根誠，堀勝，豊田浩孝

第61回応用物理学関係連合講演会

パルスマイクロ波励起大気圧ラインプラズマの空間分解計測

鈴木陽香、中野優、伊藤仁、関根誠、堀勝、豊田浩孝

第61回応用物理学関係連合講演会

液流路式マイクロ波プラズマの溶液処理性能評価

伊藤美智子, 高橋朋大, 高島成剛, 野村記生, 北川富則, 豊田浩孝

第61回応用物理学関係連合講演会

電解質溶液電極を用いたパルスDCプラズマにおける電解質由来金属原子の二次元吸収分光計測

鷹羽貴史，鈴木陽香，高田昇治，豊田浩孝

第61回応用物理学関係連合講演会

誘導結合型誘導結合型 HBr プラズマにおける Br ラジカル表面損失確率の評価

藤井良隆，飯野大輝 ,豊田浩孝

第61回応用物理学関係連合講演会

表面波プラズマ支援RF スパッタにおける絶縁性ターゲットの表面電位評価

萩原敏哉，野田智紀，豊田浩孝

第61回応用物理学関係連合講演会

Evaluation the reaction of Br radical at silicon surface in an Inductively Coupled HBr plasma International conference

YOSHITAKA FUJII, DAIKI IINO, AND HIROTAKA TOYODA