Presentations -
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Large volume liquid treatment with high-density microwave plasma Invited International conference
Hirotaka Toyoda
Plasma Thin Film International Meeting (PLATHINUM2021) 2021.9.13
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High-energy Negative Ions in Sputtering Plasma - Energy Distribution and Its Spatial Variation - Invited International conference
Hirotaka Toyoda
3rd Asia-Pacific Conference on Plasma Physics
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二周波重畳容量結合型プラズマのRF電極に入射する イオン角度分布のエネルギー分解計測と機械学習を用いた解析手法
Kim Dohan，川村 隼也, 内藤 真誉, 鈴木 陽香， 飯野 大輝，福水 裕之，栗原 一彰，豊田 浩孝
第72回応用物理学会春季講演会 2025.3 応用物理学会
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二周波重畳容量結合型プラズマの電極への正パルス電圧印加が高アスペクト比ホール底部の電荷蓄積に与える影響
菊池 拓哉，赤塚 勇大, 鈴木 陽香，森山 誠， 田村 晃汰, 久保井 宗一, 飯野 大輝，福水 裕之，栗原 一彰，豊田 浩孝
第72回応用物理学会春季講演会 2025.3 応用物理学会
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二周波容量結合型Ar/Krプラズマにおける質量およびエネルギー分解 イオン角度分布の計測
内藤 真誉, 川村 隼也，Kim Dohan, 藤谷 航大, 鈴木 陽香, 飯野 大輝，福水 裕之，栗原 一彰，豊田 浩孝
第72回応用物理学会春季講演会 2025.3 応用物理学会
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Reconstruction of three-dimensional plasma emission strucuture based on multi-view images International conference
Ryota Izumi, Manabu Kyuzo, Hayato Yoshikawa, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda
ISPlasma2025/IC-PLANTS2025 2025.3
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Influence of air-exposure on surface composition of plasma-exposed polyethylene terephthalate film International conference
Tomoya Murase, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda
ISPlasma2025/IC-PLANTS2025 2025.3
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二周波容量結合型プラズマにおける電極入射高エネルギーイオンのエネルギー分解角度分布計測 Invited
豊田浩孝
応用物理学会シリコンテクノロジー分科会研究集会 2025.2.27 応用物理学会シリコンテクノロジー分科会
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流動液体マイクロ波プラズマを用いた高効率銀ナノ粒子合成プロセス
高辻乃輔，柚木健吾，鈴木陽香，笹井建典，豊田浩孝
第42回プラズマプロセシング研究会 2025.1 応用物理学会
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電荷重畳法を用いたトレンチチャージングシミュレーション
菊池拓哉，鈴木陽香，豊田浩孝
第42回プラズマプロセシング研究会 2025.1 応用物理学会
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入射角可変型高エネルギーイオン照射装置の開発
渡邉 隆斗，鈴木陽香，豊田浩孝
第42回プラズマプロセシング研究会 2025.1 応用物理学会
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Charging simulation of high-aspect ratio hole by method of fundamental solutions International conference
T. Kikuchi1, H. Suzuki, and H. Toyoda
2024.12.18
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High-speed Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition of Conductive Carbon Film Using Microwave Plasmas International conference
H. Suzuki H. Bae, I. Hamaguchi, K. Sasai, and H. Toyoda
2024.12.18
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多視点画像を用いたプラズマの３次元構造解析
泉 涼太, 鈴木 陽香, 藤井 俊彰, 豊田 浩孝
第41回プラズマ核融合学会年会 2024.11.17 プラズマ核融合学会
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Energy-resolved measurement of ion angular distribution in dual-frequency capacitively-coupled Ar plasma incident on an RF electrode International conference
S. Kawamura, M. Naito, D. Kim, H. Suzuki, D. Iino, H. Fukumizu, K. Kurihara and H. Toyoda
45th International Symposium on Dry Process 2024.11.15
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Influence of Ion Incident Energy on Charge Accumulation at the Bottom of High Aspect Ratio Holes in Dual-Frequency Capacitively-Coupled Plasma International conference
Y. Akatsuka, H. Suzuki, M. Moriyama, K. Tamura, S. Kuboi, D. Iino, H. Fukumizu, K. Kurihara, and H. Toyoda
45th International Symposium on Dry Process 2024.11.15
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Time-resolved measurement of ion composition in a pulse modulated Ar/C4F8/O2 dual-frequency capacitively coupled plasma using mass spectrometry Invited International conference
Haruka Suzuki, Shuichi Kuboi, Haruhito Kato, Yuto Seki, Yudai Akatsuka, Hirotaka Toyoda
8th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics 2024.11
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プラズマの魅力 Invited
豊田浩孝
あいちサイエンスフェスタ 2024.9.28
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多方向視野像を用いた不均一プラズマ発光の再構築
鈴木 陽香, 泉 涼太, 久蔵 学, 豊田 浩孝
応用物理学会秋季学術講演会 2024.9.20 応用物理学会
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磁場閉じ込めプラズマにおける水素化ホウ素分子の形成・放射過程 Invited International coauthorship
川手朋子, 芦川直子, 後藤基志, 大石鉄太郎, 川本靖子,豊田浩孝, 庄司主, 河村学思, 増崎貴, F. Nespoli, E.P.Gilson, R. Lunsford, 鈴木千尋, A. Nagy，D. Gates, 村上泉
日本物理学会第79次年次大会 2024.9.16 日本物理学会