Presentations -
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Release Behavior of Metal Atom from Solution Surface Contacting to Plasma International conference
Haruka Suzuki, Takafumi Takaba, Hirotaka Toyoda
The 18th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics
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Time- and space-resolved measurement of electron density in an atmospheric pressure microwave plasma Invited International conference
Hirotaka Toyoda, Kazuki Egashira
The 18th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics
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Meter -Scale Production of Atmospheric Pressure Microwave Plasma by Travelling Wave International conference
Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda
ICRP-8/SPP-3
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Production of high-density meter-length plasma with metal-covered slot antenna International conference
N. Takada, S. Kondo, S. Nakano, K. Sasai and H. Toyoda
ICRP-8/SPP-3
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Dependence of Electron density on Pulse-OFF Time in an Atmospheric Pulse Microwave Discharge International conference
Kazuki Egashira1, Hirotaka Toyoda
ICRP-8/SPP-3
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Development of Magnet-Free Uniform Sputtering System by RF and Microwave Power Superposition International conference
Toshiya Hagihara, Tomonori Noda, Hirotaka Toyoda
ICRP-8/SPP-3
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Nano-scale film surface control by advanced sputtering system Invited International conference
Hirotaka Toyoda
THERMEC' 2013
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マイクロ波プラズマを用いた無磁場酸化物薄膜スパッタ装置の基礎的検討
萩原敏哉,野田智紀,豊田浩孝
電気学会プラズマ研究会
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Effect of superposing ultrasonic wave on microwave plasma under water
Tomohiro Takahashi, Noriharu Takada, and Hirotaka Toyoda
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Water Treatment by High-Density Microwave Plasma Invited International conference
Hirotaka Toyoda, Tomohiro Takahashi, Takafumi Takaba, Haruka Suzuki, Noriharu Takada
ICSE 2013(International Conference on Surface Engineering)
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大気圧パルスプラズマのプラズマ密度時分解計測とプラズマ挙動解析 Invited
豊田 浩孝
第29回 九州・山口プラズマ研究会
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Development of Magnet-Free Sputtering System for Dielectric Film Deposition with Surface-Wave Excited Plasma International conference
T. Noda,T. Hagihara, H. Toyoda
66th Annual Gaseous Electronics Conference
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Meter-Scale Atmospheric-Pressure Microwave Plasma Using Sub-Millimeter-Gap Slot Invited International conference
HIROTAKA TOYODA
66th Annual Gaseous Electronics Conference
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Electromagnetic Simulation of Long-Slotted Waveguide Antenna for Production of Meter-Scale Plasma under Atmospheric Pressure International conference
H. Suzuki, S. Nakano, H. Itoh, M. Sekine, M. Hori, H. Toyoda
66th Annual Gaseous Electronics Conference
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表面波プラズマを用いた無磁場スパッタ装置の検討
萩原 敏哉，野田 智紀，豊田 浩孝
平成25年度電気関係学会東海支部連合大会
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電解質溶液電極を用いた大気圧パルスDCプラズマにおける放出金属原子の時分解吸収分光計測
鷹羽貴史，鈴木陽香, 高田昇治, 豊田浩孝
平成25年度電気関係学会東海支部連合大会
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進行波重畳によるメートル級マイクロ大気圧ランプズの生成
中野 優，鈴木 陽香 ，関根 誠，堀 勝，豊田 浩孝，伊藤 仁
平成25年度電気関係学会東海支部連合大会
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誘導結合型HBrプラズマにおけるBrラジカルの表面損失確率評価
藤井 良隆，豊田 浩孝
平成25年度電気関係学会東海支部連合大会
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VHF-DC重畳マグネトロンプラズマの生成及び特性評価
福岡 侑士，小川 勇人，豊田 浩孝
平成25年度電気関係学会東海支部連合大会
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新規アンテナ構造を用いたメートル級マイクロ波大気圧ラインプラズマの生成
鈴木 陽香 ，中野 優 ，伊藤 仁 ，関根誠 ，堀 勝 ，豊田 浩孝
第74回応用物理学会学術講演会