講演・口頭発表等 - 豊田 浩孝
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Time-resolved Measurement of Charge Density at the Bottom of High-aspect-ratio Holes in a Pulsed Capacitively Coupled Plasma 招待有り 国際会議
Haruka Suzuki, Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Keita Ichikawa, and Hirotaka Toyoda
5th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics, 26 Sept-1Oct, 2021, Remote e-conference(AAPPS-DPP2021) 2021年9月28日
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Large A rea Ashing Treatment of Polyimide Film by Atmospheric pressure Pulsed Microwave Line Plasma with Ar/O 2 国際会議
T.Ogasawara, Y.Iwata, H.Suzuki and H.Toyoda
5th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics, 26 Sept-1Oct, 2021, Remote e-conference(AAPPS-DPP2021)
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流動液体プラズマ処理装置を用いたAgナノ粒子の長時間安定合成
〇山口 和也1、鈴木 陽香1、笹井 建典1、豊田 浩孝1,2 (1.名大工、2.核融合研)
第82回応用物理学会秋季学術講演会、22a-P08-2 2021年9月22日 応用物理学会
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ECRプラズマを用いた高伝導性カーボン薄膜成膜
ベ ハンシン,濱 口 育未,鈴木 陽香,笹井 建典,豊田 浩孝
第82回応用物理学会秋季学術講演会、12p-N102-13 2021年9月12日 応用物理学会
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大気圧長尺マイクロ波ラインプラズマによる広幅高速アッシング処理
○岩田悠揮，小笠原知裕，鈴木陽香（名大）， 豊田浩孝（名大/ 核融合研）
令和3年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会、A1-4 2021年9月7日
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イメージング法による容量結合型プラズマから電極へ入射する高速粒子の角度分布計測
○市川景太，鈴木陽香（名大），豊田浩孝（名大/ 核融合研）
令和3年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会、A1-7 2021年9月7日
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二周波容量結合型フルオロカーボンプラズマ中のラジカル計測
○関悠斗，久保井宗一，鈴木陽香（名大）， 豊田浩孝（名大/ 核融合研）
令和3年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会、A1-6 2021年9月7日
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表面波プラズマを用いた高導電性炭素膜の高速堆積
○濱口育未，BaeHansin，笹井建典，鈴木陽香（名大）， 豊田浩孝（名大/ 核融合研）
令和3年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会、A1-5 2021年9月7日
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BH and BD molecular spectroscopy during the Impurity Powder Dropper experiments 国際会議
T. KAWATE, N. Ashikawa, M. Goto, T. Oishi, Y. Kawamoto, and H. Toyoda
15th International Workshop on Hydrogen Isotopes in Fusion Reactor Materials（HWS2020）
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ＬＨＤにおけるボロンを使った水素リサイクリング抑制実験
芦川直子（核融合研、総研大）、川手朋子（核融合研、総研大）、豊田浩孝（名古屋大学）、Zhen SUN（ASIPP、PPPL）
日本原子力学会 春の年会（2021）オンライン（早稲田大学） 2021年3月17日
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表面波プラズマによるグラファイトライクカーボン膜の高速成膜
BAE Hansin,疋田 和也,鈴木 陽香,笹井 建典,豊田 浩孝
第68回応用物理学会春季学術講演会、19a-P02-4 2021年3月18日 応用物理学会
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プラズマエレクトロニクス分科会の国際展開 -GECとの連携- 招待有り
豊田 浩孝
第68回応用物理学会春季学術講演会17p-Z03-3 2021年3月17日 応用物理学会
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液温制御による流動液体プラズマ処理装置の長時間安定運転と Ag ナノ粒子合成
山口 和也,鈴木 丈,鈴木 陽香,笹井 建典,豊田 浩孝
第68回応用物理学会春季学術講演会、19a-P02-6 2021年3月19日
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パルスマイクロ波励起大気圧酸素添加アルゴンプラズマによる広幅アッシング処理
小笠原 知裕 ，岩田 悠揮 ，鈴木 陽香 ，豊田 浩孝
第68回応用物理学会春季学術講演会、18p-Z17-11 2021年3月19日 応用物理学会
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絶縁ライナー付誘導結合型プラズマへの微小接地電極挿入におけるプラズマ変動
千葉 行徳,久蔵 学,鈴木 陽香,豊田 浩孝
第68回応用物理学会春季学術講演会、19a-P02-4 2021年3月19日 応用物理学会
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Wide-area and High-speed Deposition of Graphitic Film by Microwave Surface Wave Plasma with High Power Pulse 国際会議
Hansin Bae, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai and Hirotaka Toyoda
ISPlasma2021/IC-PLANTS2021 09aB05O 2021年3月9日
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Effect of grounded electrode on plasma propety in ICP with floating liner 国際会議
Manabu Kyuzo*, Yukinori Chiba, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda
2021年3月8日
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Deuterium Depth Profile of Plasma-Exposed Solid/Liquid Tin 国際会議
Kota Tamura,Haruka Suzuki, Suguru Masuzaki,Masayuki Tokitani, Junichi Miyazawa, Hirotaka Toyoda
ISPlasma2021/IC-PLANTS2021 08P-38 2021年3月8日
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Time-dependent Measurement of Charge Density at Bottom of High-aspect Hole in a Capacitively-coupled Plasma 国際会議
Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Keita Ichikawa,Manh Hung Chu,Haruka Suzuki* and Hirotaka Toyoda
ISPlasma2021/IC-PLANTS2021 08pB14O 2021年3月8日
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Ashing Treatment of Polyimide Film by Atmospheric-pressure Microwave Line Plasma with Ar/O2 国際会議
2Haruka Suzuki*, Tomohiro Ogasawara, Yuki Iwata, and Hirotaka Toyoda
ISPlasma2021/IC-PLANTS2021 08pB07O 2021年3月8日