講演・口頭発表等 - 豊田 浩孝
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マイクロ波励起プラズマによる流体連続処理
高橋 朋大，高田 昇治，豊田 浩孝
第74回応用物理学会学術講演会
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多目的マイクロ波アンテナの大面積化と高密度プラズマ生成
近藤将吾，中野優、高田昇治,豊田浩孝
第74回応用物理学会学術講演会
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大気圧マイクロ波放電 におけるパルス停止時間のプラズマへの影響
江頭一輝 ，豊田浩孝
第74回応用物理学会学術講演会
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マイクロ波プラズマを用いた無磁場酸化物薄膜スパッタ装置の開発
野田 智紀，萩原 敏哉，豊田 浩孝
第74回応用物理学会学術講演会
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VHF-DC重畳マグネトロンプラズマの生成とプラズマ計測
小川勇人，福岡 侑士，豊田浩孝
第74回応用物理学会学術講演会
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Cross section measurement of the neutral dissociation of CH2F2 by electron impact 国際会議
H. Ogawa and H. Toyoda
DPS2013 (35th International Symposium on Dry Process)
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Plasma Characteristics of Multipurpose Microwave Antenna and Its Application to Silicon Thin Film Deposition 国際会議
S. Kondo, S. Nakano and H. Toyoda
DPS2013 (35th International Symposium on Dry Process)
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Superposition of Ultrasonic Power on Microwave Plasma and Its Effect on Solution Treatment Efficiency 国際会議
T. Takahashi, N. Takada, and H. Toyoda
DPS2013 (35th International Symposium on Dry Process)
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Development of Magnet-Free Uniform Sputtering System for Dielectric Film Deposition 国際会議
Tomonori Noda, and Hirotaka Toyoda
DPS2013 (35th International Symposium on Dry Process)
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Surface Treatment of Three-Dimensional Product by Flexible Twin Microwave Plasma Source 国際会議
K. Sasai, K. Ishikawa, H. Toyoda and H. Sugai
DPS2013 (35th International Symposium on Dry Process)
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Influence of gas addition and substrate bias voltage on Br radical behavior in HBr inductively coupled plasma 国際会議
D. Iino, Y. Nojiri, K. Suzuki, T. Oike, Y. Fujii, and H. Toyoda
DPS2013 (35th International Symposium on Dry Process)
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High density plasma production by a Multipurpose Microwave Antenna 国際会議
Hirotaka Toyoda, Shogo Kondo, Suguru Nakano, Noriharu Takada
The 9th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2013)
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Influence of Si Substrate Temperature and Bias Voltage on Surface reaction of Br Radical in HBr Inductively Coupled Plasma 国際会議
D. Iino, Y. Fujii, T. Oike, H. Toyoda
The 12th Asia Pacific Physics Conference
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Absorption Spectroscopy of Atomic Metal in Atmospheric-pressure Plasma with Electrolyte Solution Electrode 国際会議
H. Suzuki, T. Takaba, N. Takada and H. Toyoda
Korea - Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics & The Workshop for NU-SKKU Joint Institute for Plasma-Nano Materials
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Influence of Ultrasonic Power Superposition to Microwave Plasma Produced under Water 招待有り 国際会議
Hirotaka Toyoda
Korea - Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics & The Workshop for NU-SKKU Joint Institute for Plasma-Nano Materials
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超音波重畳マイクロ波液中プラズマによる液中有機物処理
高橋 朋大，高田 昇治，豊田 浩孝
第60回応用物理学関係連合講演会
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低圧環境下における無磁場マイクロ波プラズマ生成と応用
野田 智紀，中坊 将人，豊田 浩孝
第60回応用物理学関係連合講演会
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多目的マイクロ波アンテナを用いたプラズマ生成とSi薄膜形成への応用
近藤将吾，中野優，豊田浩孝
第60回応用物理学関係連合講演会
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電解質溶液電極を用いた大気圧パルスプラズマにおける金属原子吸収分光計測
鈴木 陽香，鷹羽 貴史，高田 昇治，豊田 浩孝
第60回応用物理学関係連合講演会
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CH2F2への電子衝突によるラジカル生成断面積の評価
小川勇人，豊田浩孝
第60回応用物理学関係連合講演会