講演・口頭発表等 - 豊田 浩孝
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Large-Area High-Density Plasma Sources Using Microwave 招待有り 国際会議
H. Sugai, T. Ishijima, H. Toyoda, A. Masuda, M. Kondo
International Workshop upon Thin Film Silicon Solar Cells (IWTFSSC)
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高密度マイクロ波プラズマを用いた微結晶および多結晶シリコン膜形成 招待有り
豊田浩孝、菅井秀郎
応用物理学会東海支部学術講演会
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GaN成長条件下における窒素プラズマ源からの活性種の絶対フラックス評価
金井英和、石島達夫、豊田浩孝、菅井秀郎、大阪次郎
第24回プラズマプロセシング研究会プロシーディングス
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広幅フラット高密度プラズマによる微結晶シリコン膜堆積
林孝信、高西雄大、岡安隆文、豊田浩孝、菅井秀郎
第24回プラズマプロセシング研究会プロシーディングス
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マグネトロンスパッタリングによるYBaCuO超伝導薄膜の堆積および成膜条件における銅原子密度測定
高軍思、深谷康太、佐々木浩一、豊田浩孝、岩田聡、井上真澄、藤巻朗、菅井秀郎
第24回プラズマプロセシング研究会プロシーディングス
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カーボンナノチューブFET用SiN2保護膜形成における荷電粒子束の抑制
高田昇治、豊田浩孝、菅井秀郎
第24回プラズマプロセシング研究会プロシーディングス
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化学反応支援マグネトロンスパッタリングによる微結晶シリコン成膜とそのプラズマ診断
深谷康太、佐々木浩一、高軍思、田畑彰守、豊田浩孝、岩田聡、菅井秀郎
第24回プラズマプロセシング研究会プロシーディングス
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915MHz表面波によるメートル角・高密度プラズマ生成
高西雄大、遠藤広孝、岡安隆文、石島達夫、豊田浩孝、菅井秀郎
第24回プラズマプロセシング研究会プロシーディングス
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スパッタプラズマ中の高エネルギー粒子計測と制御 招待有り
豊田浩孝
日本真空協会プラズマ技術部会講演会
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高密度マイクロ波プラズマによる微結晶および多結晶Si薄膜形成
豊田浩孝、菅井秀郎
名古屋大学21世紀COEプログラム「先端プラズマ科学が拓くナノ情報デバイス」最終成果報告シンポジウム
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スパッタプロセス用プラズマの診断と新規スパッタ源の開発
豊田浩孝
名古屋大学21世紀COEプログラム「先端プラズマ科学が拓くナノ情報デバイス」最終成果報告シンポジウム
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Measurement and Control of Energetic Neutral Species in Magnetron Plasma 招待有り 国際会議
H. Toyoda, Y. Takagi,Y. Sakasita, H. Sugai
The 4th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics & Thin Film Technology for Electronic Materials
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Energy Control of Backscattered Rare Gas Atoms by VHF-DC Superimposed Magnetron Discharge 招待有り
H. Toyoda and H. Sugai
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製膜用窒素プラズマからの活性種診断
金井英和、石島達夫、豊田浩孝、大阪次郎、菅井秀郎
第17回日本MRS学術シンポジウム
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表面波プラズマによる微結晶シリコン薄膜の低基板温度堆積
岡安隆文、林孝信、高西雄大、豊田浩孝、菅井秀郎
第17回日本MRS学術シンポジウム
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Influence of Cu Density Variation on Superconductor Film Deposition in Magnetron Sputtering Plasmas 招待有り
Junsi Gao, Kouta Fukaya, Koichi Sasaki, Hirotaka Toyoda, Satoshi Iwata, Masumi Inoue, Akira Fujimaki and Hideo Sugai
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μc-Si Film Deposition by Surface Wave Plasma under Precise Control of Substrate Temperature 国際会議
T. Okayasu, Y. Takanishi, H. Toyoda and H. Sugai
Proceedings of 6th International Symposium on Dry Process(DPS2006)
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Microwave Plasma CVD of SiN, Film for Passivation of Carbon Nanotube FET 国際会議
N. Takada, H. Toyoda, H. Sugai, H. Shimauchi, Y. Ohno and T, Mizutani
Proceedings of 6th International Symposium on Dry Process(DPS2006)
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Deposition of Polycrystalline SiGe Film by Surface Wave Excited Plasma 国際会議
Y. Takanishi, T. Okayasu, H. Toyoda and H. Sugai
Proceedings of 6th International Symposium on Dry Process(DPS2006)
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Rapid Treatment of Polymer Film Surface by High-Density Microwave Plasma 国際会議
Y Takagi, Y. Gunjo, H. Toyoda and H. Sugai
Proceedings of 6th International Symposium on Dry Process(DPS2006)