講演・口頭発表等 - 豊田 浩孝
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Large volume liquid treatment with high-density microwave plasma 招待有り 国際会議
Hirotaka Toyoda
Plasma Thin Film International Meeting (PLATHINUM2021) 2021年9月13日
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High-energy Negative Ions in Sputtering Plasma - Energy Distribution and Its Spatial Variation - 招待有り 国際会議
Hirotaka Toyoda
3rd Asia-Pacific Conference on Plasma Physics
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二周波重畳容量結合型プラズマのRF電極に入射する イオン角度分布のエネルギー分解計測と機械学習を用いた解析手法
Kim Dohan，川村 隼也, 内藤 真誉, 鈴木 陽香， 飯野 大輝，福水 裕之，栗原 一彰，豊田 浩孝
第72回応用物理学会春季講演会 2025年3月 応用物理学会
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二周波重畳容量結合型プラズマの電極への正パルス電圧印加が高アスペクト比ホール底部の電荷蓄積に与える影響
菊池 拓哉，赤塚 勇大, 鈴木 陽香，森山 誠， 田村 晃汰, 久保井 宗一, 飯野 大輝，福水 裕之，栗原 一彰，豊田 浩孝
第72回応用物理学会春季講演会 2025年3月 応用物理学会
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二周波容量結合型Ar/Krプラズマにおける質量およびエネルギー分解 イオン角度分布の計測
内藤 真誉, 川村 隼也，Kim Dohan, 藤谷 航大, 鈴木 陽香, 飯野 大輝，福水 裕之，栗原 一彰，豊田 浩孝
第72回応用物理学会春季講演会 2025年3月 応用物理学会
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Reconstruction of three-dimensional plasma emission strucuture based on multi-view images 国際会議
Ryota Izumi, Manabu Kyuzo, Hayato Yoshikawa, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda
ISPlasma2025/IC-PLANTS2025 2025年3月
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Influence of air-exposure on surface composition of plasma-exposed polyethylene terephthalate film 国際会議
Tomoya Murase, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda
ISPlasma2025/IC-PLANTS2025 2025年3月
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二周波容量結合型プラズマにおける電極入射高エネルギーイオンのエネルギー分解角度分布計測 招待有り
豊田浩孝
応用物理学会シリコンテクノロジー分科会研究集会 2025年2月27日 応用物理学会シリコンテクノロジー分科会
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流動液体マイクロ波プラズマを用いた高効率銀ナノ粒子合成プロセス
高辻乃輔，柚木健吾，鈴木陽香，笹井建典，豊田浩孝
第42回プラズマプロセシング研究会 2025年1月 応用物理学会
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電荷重畳法を用いたトレンチチャージングシミュレーション
菊池拓哉，鈴木陽香，豊田浩孝
第42回プラズマプロセシング研究会 2025年1月 応用物理学会
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入射角可変型高エネルギーイオン照射装置の開発
渡邉 隆斗，鈴木陽香，豊田浩孝
第42回プラズマプロセシング研究会 2025年1月 応用物理学会
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Charging simulation of high-aspect ratio hole by method of fundamental solutions 国際会議
T. Kikuchi1, H. Suzuki, and H. Toyoda
2024年12月18日
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High-speed Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition of Conductive Carbon Film Using Microwave Plasmas 国際会議
H. Suzuki H. Bae, I. Hamaguchi, K. Sasai, and H. Toyoda
2024年12月18日
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多視点画像を用いたプラズマの３次元構造解析
泉 涼太, 鈴木 陽香, 藤井 俊彰, 豊田 浩孝
第41回プラズマ核融合学会年会 2024年11月17日 プラズマ核融合学会
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Energy-resolved measurement of ion angular distribution in dual-frequency capacitively-coupled Ar plasma incident on an RF electrode 国際会議
S. Kawamura, M. Naito, D. Kim, H. Suzuki, D. Iino, H. Fukumizu, K. Kurihara and H. Toyoda
45th International Symposium on Dry Process 2024年11月15日
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Influence of Ion Incident Energy on Charge Accumulation at the Bottom of High Aspect Ratio Holes in Dual-Frequency Capacitively-Coupled Plasma 国際会議
Y. Akatsuka, H. Suzuki, M. Moriyama, K. Tamura, S. Kuboi, D. Iino, H. Fukumizu, K. Kurihara, and H. Toyoda
45th International Symposium on Dry Process 2024年11月15日
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Time-resolved measurement of ion composition in a pulse modulated Ar/C4F8/O2 dual-frequency capacitively coupled plasma using mass spectrometry 招待有り 国際会議
Haruka Suzuki, Shuichi Kuboi, Haruhito Kato, Yuto Seki, Yudai Akatsuka, Hirotaka Toyoda
8th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics 2024年11月
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プラズマの魅力 招待有り
豊田浩孝
あいちサイエンスフェスタ 2024年9月28日
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多方向視野像を用いた不均一プラズマ発光の再構築
鈴木 陽香, 泉 涼太, 久蔵 学, 豊田 浩孝
応用物理学会秋季学術講演会 2024年9月20日 応用物理学会
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磁場閉じ込めプラズマにおける水素化ホウ素分子の形成・放射過程 招待有り 国際共著
川手朋子, 芦川直子, 後藤基志, 大石鉄太郎, 川本靖子,豊田浩孝, 庄司主, 河村学思, 増崎貴, F. Nespoli, E.P.Gilson, R. Lunsford, 鈴木千尋, A. Nagy，D. Gates, 村上泉
日本物理学会第79次年次大会 2024年9月16日 日本物理学会