講演・口頭発表等 - 豊田 浩孝
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鈴木陽香, 原田健太, 久蔵学, 豊田浩孝
第40回 プラズマ・核融合学会 年会 2023年11月30日 プラズマ・核融合学会
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Effect of collisions in a sheath on angular distributions of high-speed particles incident on an RF electrode from a dual-frequency capacitively-coupled plasma 国際会議
S. Kawamura, H. Suzuki, D. Iino, H. Fukumizu, K. Kurihara and H. Toyoda
44th International Symposium on Dry Process
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Influence of Ion Composition on High Aspect Ratio Etching in Pulse-operated Ar/C4F8/O2 DF-CCP 国際会議
S. Kuboi, Y. Akatsuka, H. Kato, H. Suzuki and H. Toyoda
44th International Symposium on Dry Process
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Quantitative evaluation of ion composition in Ar/C4F8/O2 pulsed capacitively-coupled plasma based on electron impact ionization rates 国際会議
H. Kato, Y. Akatuka, S. Kuboi, H. Suzuki and H. Toyoda
44th International Symposium on Dry Process
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Production and Application of High-density Microwave Plasma in Contact with Flowing Liquid 招待有り 国際会議
Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
13th Asia European International Conference on Plasma Surface Engineering 2023年11月
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高周波電極へ入射する高エネルギー粒子角度分布のイメージング計測
豊田浩孝，市川景太，Manh Hung Chu，森山誠， 鈴木陽香，飯野大輝，福水裕之，栗原一彰
2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会 プラズマエレクトロニクス賞受賞講演 2023年9月20日 応用物理学会
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複数視野像をもとにしたプラズマ3次元構造評価の試み
原田健汰, 久蔵学, 大舘暁, 鈴木陽香、豊田浩孝
2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023年9月21日 応用物理学会
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流動液体プラズマ処理装置を用いたAgナノ粒子合成における生成性能評価
柚木健吾, 鈴木陽香, 豊田浩孝
2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023年9月19日 応用物理学会
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Ar/C4F8/O2容量結合型パルスプラズマにおける 放電開始直後の電離レートをもとにしたイオン組成の定量的評価
加藤閣人, 赤塚勇大, 久保井宗一, 鈴木陽香, 豊田浩孝
2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023年9月22日 応用物理学会
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高速ガス流を用いた弱減圧マイクロ波プラズマ生成にむけた減圧形成シミュレーション
中林 賢二，小川 泰那，鈴木 陽香, 豊田 浩孝
令和5年度電気・電子情報関係学会東海支部連合講演会 2023年8月29日
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二周波容量結合型Ar/C4F8/O2パルスプラズマの電子密度時分解計測
赤塚 勇大，加藤 閣人，久保井 宗一, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
令和5年度電気・電子情報関係学会東海支部連合講演会 2023年8月29日
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トリチウムプラズマ照射による固体・液体スズ中水素分布の高精度評価
豊田浩孝
核融合科学研究所-富山大学研究推進機構水素同位体科学研究センター 双方向型共同研究 研究会 2023年7月17日
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Time-dependent measurement of ion composition in a capacitively-coupled Ar/C4F8/O2 power-modulated VHF plasma 国際会議
H. Toyoda, H. Kato, Y. Seki, S. Kuboi, Y. Akatsuka, and H. Suzuki
International Conference on Phenomena of Ionized Gases 2023年7月10日
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Influence of Pulse-off Time on Time-varying Ion Composition in a Pulse-operated Ar/C4F8/O2 Dual-frequency Capacitively Coupled Plasma 国際会議
Shuichi Kuboi, Haruhito Kato, Yuto Seki, Yudai Akatsuka, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda
International Symposium on Plasma Chemistry 2023年5月22日
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高アスペクト比加工におけるチャージング現象 招待有り
豊田浩孝
グリーンDXプラズマコンソーシアム２０２３年度第1回講習会 2023年4月21日 名古屋大学低温プラズマ科学研究センター
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二周波重畳容量結合型プラズマにおけるシース内衝突がRF電極入射粒子の角度分布に及ぼす影響
川村 隼也，市川 景太，鈴木 陽香, 飯野大輝，福水裕之，栗原一彰，豊田浩孝
第70回応用物理学会春季講演会 2023年3月17日 応用物理学会
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旋回流による流動液体プラズマ処理装置の放電部の電極保護
柚木 健吾，鈴木 陽香，笹井 建典，増崎 貴，林 浩 己，村瀬 尊則，中川 翔，柳原 悠人，豊田 浩孝
第70回応用物理学会春季講演会 2023年3月18日 応用物理学会
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発光イメージをもとにしたプラズマ構造の評価
原田健汰, 久蔵学, 大館暁, 豊田浩孝
第70回応用物理学会春季講演会 2023年3月16日 応用物理学会
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二周波容量結合型Ar/C4F8/O2プラズマにおける電力変調方式がイオン組成に与える影響
加藤閣人，関悠斗，久保井宗一，鈴木陽香, 豊田浩孝
第70回応用物理学会春季講演会 2023年3月17日 応用物理学会
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高速ガス流を用いた減圧形成によるマイクロ波放電の易化
小川泰那，岩田悠輝，鈴木陽香，豊田浩孝
第70回応用物理学会春季講演会 2023年3月15日 応用物理学会