講演・口頭発表等 - 豊田 浩孝
-
Co/Cu多層膜における構造と磁気抵抗効果のスパッタ条件依存性
鈴木勇佑、陳長川、加藤剛志、岩田聡、綱島滋、柴垣寛治、高軍思、豊田浩孝、佐々木浩一、菅井秀郎
平成17年度電気関係学会東海支部連合大会
-
DC-マグネトロンスパッタ放電におけるイオン・原子のエネルギー分布シミュレーション
高木佑輔、坂下洋平、豊田浩孝、高 軍思、佐々木浩一、加藤剛志、岩田 聡、綱島 滋、菅井秀郎
平成17年度電気関係学会東海支部連合大会
-
大面積薄膜プロセス用表面波プラズマ源の開発
岡安隆文、堀田芳彦、豊田浩孝、菅井秀郎
平成17年度電気関係学会東海支部連合大会
-
VHF-DC重畳マグネトロンプラズマにおける高エネルギー粒子測定
坂下洋平、高木佑輔、豊田浩孝、高 軍思、佐々木浩一、加藤剛志、岩田 聡、綱島 滋、菅井秀郎
平成17年度電気関係学会東海支部連合大会
-
表面波励起プラズマによる微結晶シリコン薄膜の高速堆積
堀田芳彦、岡安隆文、豊田浩孝、菅井秀郎
平成17年度電気関係学会東海支部連合大会
-
プラズマイオン注入におけるシースレンズ効果によるイオンドーズ不均一性の評価
ホルゼル ニコラ、スタマテ エウジェン、豊田浩孝、菅井秀郎
平成17年度電気関係学会東海支部連合大会
-
プラズマイオン注入におけるシースレンズ誘起イオンドーズ不均一性
ホルゼル ニコラ、スタマテ エウジェン、豊田浩孝、菅井秀郎
第66回応用物理学会学術講演会
-
VHF-DC重量マグネトロンの高エネルギー粒子計測
坂下洋平、高木佑輔、豊田浩孝、高軍思、佐々木浩一、加藤剛志、岩田聡、綱島滋、菅井秀郎
第66回応用物理学会学術講演会
-
マグネトロンスパッタリングにおける高エネルギー粒子の発生過程と計測
坂下洋平(M)、豊田浩孝、菅井秀郎
プラズマ研究会
-
Diagnostics of Surface Wave Plasma for Giant Materials Processing 招待有り 国際会議
H. Sugai, Y. Nojiri, T. Ishijima, E. Stamate and H. Toyoda
ISPC17(17th International Symposium on Plasma Chemistry)
-
Measurement and Control of Energetic Species in Magnetron Discharge Plasma 招待有り 国際会議
H. Toyoda and H. Sugai
ISSP2005 Committee(The Eighth International Symposium on Sputtering and Plasma Process)
-
Suppression of Energetic Species Flux to Substrate By Combination of VHF and DC Power in Magnetron Plasma 国際会議
Y. Sakashita, Y Takagi, H. Toyoda and H. Sugai
Proceedings of 5th International Symposium on Dry Process(DPS2005)
-
Investigation of the ion dose non-uniformity caused by sheath lens focusing effect on silicon wafers 国際会議
N. Holtzer, E Stamate, H. Toyoda and H. Sugai
Proceedings of 5th International Symposium on Dry Process(DPS2005)
-
Gas Feed Position Control for High-Quality mc-Si Film Deposition at High Speed in Surface Wave Plasma 国際会議
Y. Hotta, T. Okayasu, Y. Takanishi, H. Toyoda and H. Sugai
Proceedings of 5th International Symposium on Dry Process(DPS2005)
-
Energetic Particle Flux Suppression on Substrate Using Cylindrical Magnetron for High Quality Films Deposition 国際会議
Y. Takagi, Y. Sakashita, H. Toyoda and H. Sugai
Proceedings of 5th International Symposium on Dry Process(DPS2005)
-
Time-Dependence of Cu Atom Density in Magnetron Sputtering Plasma Using a YBaCuO Target 国際会議
J. Gao, N. Nafarizal, K. Sasaki, H. Toyoda, M. Inoue, A. Fujimaki, S. Iwata and H. Sugai
Abstracts of International COE Workshop Nano Processes and Devices, and Their Applications
-
Dependence of GMR in Co/Cu Multolayers on Sputtering Conditions 国際会議
C. C. Chen, Y. Sakashita, Y. Suzuki, T. Kato, S. Iwata, S. Tsunashima, H. Toyoda, K. Sasaki, H. Sugai
Abstracts of International COE Workshop Nano Processes and Devices, and Their Applications
-
Influence of Dielectric Window Material and Pumping Speed on Silicon Film Crystallinity Deposited by Surface Wave Plasma 国際会議
Y. Hotta, H. Toyoda and H. Sugai
Proceedings of 4th International Symposium on Dry Process
-
Observation of Direct SiO2 Etching by Co-Incidence of Fluorocarbon Molecules with Argon Ion Bombardment 国際会議
N. Takada, H. Toyoda and H. Sugai
Proceedings of 4th International Symposium on Dry Process
-
Observation of High Energy Particles Incident on Substrate in Magnetron Sputter Deposition 国際会議
Y. Sakashita, H. Toyoda, J. S. Gao, K. Sasaki, S. Iwata, T. Kato, S. Tsunashima and H. Sugai
Proceedings of 4th International Symposium on Dry Process