講演・口頭発表等 - 豊田 浩孝
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化学プローブを用いた長尺大気圧プラズマ生成活性ラジカルの可視化
松浦寛人、トラントラングエン、胡敏、仲野匠、岩田悠揮、鈴木陽香、豊田浩孝
2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022年9月20日 応用物理学会
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Angular distribution of high-energy species on RF-biased electrode of a capacitively-coupled plasma 招待有り 国際会議
Hirotaka Toyoda
cLPS Global Plasma Forum 2022年9月8日 Center for Low-temperature Plasma Sciences
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二周波容量結合型Ar/C4F8/O2パルスプラズマ中のイオン時分解計測
加藤 閣人, 関 悠斗，久保井 宗一, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
令和４年度電気・電子情報関係学会東海支部連合講演会 2022年8月29日
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Experimental Study on boron distribution and transport at plasma-facing components during impurity powder dropping 国際共著 国際会議
T. Kawate, N. Ashikawa, M. Goto, T. Oishi, Y. Kawamoto, H. Toyoda, M. Shoji, G. Kawamura, S. Masuzaki, F. Nespoli, E.P. Gilson, R. Lunsford, C. Suzuki, A. Nagy, D. Gates
15th Asia Pacific Physics Conference Association of Asia Pacific Physical Societies
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二周波重畳容量結合型プラズマから電極へ入射する高速粒子のイメージング法を用いた角度分布計測
市川景太, 鈴木陽香, 豊田浩孝
第69回応用物理学会春期学術講演会 2022年3月25日
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Ar/O2 大気圧マイクロ波プラズマにより処理した ポリイミドフィルムの表面分析
岩田 悠揮，小笠原 知裕，鈴木 陽香，豊田 浩孝
第69回応用物理学会春期学術講演会 2022年3月26日
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水シールド環境下でのマイクロ波励起水蒸気プラズマの生成と応用 招待有り
鈴木陽香、豊田浩孝
第69回応用物理学会春期学術講演会 2022年3月23日
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質量分析法を用いた二周波容量結合型 Ar/C4F8/O2 パルスプラズマ中イオンの時分解計測
関悠斗、加藤閣人、久保井宗一、鈴木陽香、豊田浩孝
第69回応用物理学会春期学術講演会 2022年3月25日
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電子サイクロトロン共鳴プラズマ中の基板ステージへの負パルスバイアス電圧印加によるプラズマ密度増加
濱口育未，ベハンシン, 笹井建典, 鈴木陽香，豊田浩孝
第69回応用物理学会春期学術講演会 2022年3月22日
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高周波容量結合型プラズマにおける高アスペクト比キャピラリーホール底部のチャージアップ現象 招待有り
豊田 浩孝
応用物理学会シリコンテクノロジー分科会第234回研究集会 2022年3月15日
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Bubbling Phenomenon on Liquidized Sn-Bi-Li-Er Alloy Surface under H-Plasma Exposure 国際会議
Kota Tamura, Hirotaka Toyoda
The 2nd US-Japan Workshop on Power and Particle Control in a Steady State Magnetic Fusion DEMO Reactor by Liquid Metal PFCs 2022年3月11日
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Angular distribution of high-energy Ar ion and neutral in a 13.56 MHz capacitively-coupled plasma 国際会議
Keita Ichikawa, Haruka suzuki, Hirotaka Toyoda
ISPlasma2022/IC-PLANTS2022 09aC05O 2022年3月9日
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RF Voltage Division of in RF-biased High-density Plasma with Floating Liner 国際会議
Yukinori Chiba, Manabu Kyuzo, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
ISPlasma2022/IC-PLANTS2022 07P-14 2022年3月7日
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Radical measurements of Ar/C4F8 dual frequency capacitively-coupled plasma 国際会議
Yuto Seki, Haruhito Kato, Schuichi Kuboi, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda
ISPlasma2022/IC-PLANTS2022 08P-14 2022年3月8日
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Bubbling Phenomenon of Sn-Bi-Li-Er Alloy under H2 Plasma Exposure 国際会議
Kota Tamura, H. Suzuki, J. Miyazawa, S. Masuzaki, M. Tokitani, H. Toyoda
ISPlasma2022/IC-PLANTS2022 08P-21 2022年3月8日
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O Radical Measurement of Ar/O2 Microwave Plasma in Atmospheric Pressure 国際会議
Yuki Iwata, Tomohiro Ogasawara, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda
ISPlasma2022/IC-PLANTS2022 07pC09O 2022年3月7日
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Plasma density increase of electron cyclotron resonance plasma by high voltage pulse power application 国際会議
Ikumi Hamaguchi, Hansin Bae, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda
ISPlasma2022/IC-PLANTS2022 07pC08O 2022年3月7日
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高電圧バイアス印加Ar/C6H6ECRプラズマを用いた導電性炭素膜堆積における磁場構造の影響
濱口育未，ベハンシン, 笹井建典, 鈴木陽香，豊田浩孝
第39回プラズマプロセッシングシンポジウム
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水素プラズマ照射下におけるスズ-ビスマス-リチウム-エルビウム 溶融合金の発泡現象
田村晃汰，鈴木陽香，宮澤順一，増崎貴，時谷政行，豊田浩孝
第39回プラズマプロセッシングシンポジウム 2022年1月25日
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容量結合型プラズマにおける電極入射高速粒子角度分布のイメージング計測
市川景太，チュマンフン、森山誠、中原尚哉、鈴木陽香，豊田浩孝
第39回プラズマプロセッシングシンポジウム 2022年1月25日