講演・口頭発表等 - 豊田 浩孝
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Improvement of SiO2 film properties synthesized by plasma-enhanced chemical vapor deposition using slot-type microwave plasma with O 2/TEOS 招待有り 国際会議
S. Ishikawa , M. Yamamoto, H. Suzuki, and H. Toyoda
IUMRS-ICAM 2017(The 15th International Conference on Advanced Materials)
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Optical measurement of meter-scale microwave line plasma under atmospheric pressure 国際会議
H. Suzuki, Y. Tamura, Y. Inomata, and H. Toyoda
ICPIG 2017
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Quantitative Evaluation of High-Energy Oxygen Negative Ion Flux in DC Magnetron Sputtering of Indium-Tin-Oxide 国際会議
H. Toyoda, H. Bae, T. Suyama, K. Setaka, H. Suzuki
ICPIG 2017
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Microwave plasma production inside the micro-gap with metergap with meter -scale length 招待有り 国際会議
H. Suzuki and H. Toyoda
IWM 2017(The 9th International Workshop on Microplasmas)
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Development of atmospheric pressure microwave plasma source for large-area surface treatment 国際会議
H. Suzuki and H. Toyoda
The 22th KJ workshop
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マイクロ波励起メートル級大気圧プラズマの生成とその特性
鈴木陽香 ，田村宥人 ，猪俣弥雄起 ，関根誠 ，堀勝 ，豊田浩孝
第64回応用物理学会春季学術講演会
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マイクロ波インライン液体処理における反応領域の空間分布計測
堤和紀，滝藤奨，藤村昇平, 鈴木陽香，豊田浩孝
第64回応用物理学会春季学術講演会
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水流により遮蔽された空間での大気圧プラズマジェット生成
仙波 輝 , 小池 洋右 , 鈴木 陽香 , 豊田 浩孝
第64回応用物理学会春季学術講演会
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マイクロ波励起長尺大気圧プラズマにおけるプラズマ維持機構の検討
田村 宥人 ，猪俣 弥雄起 , 鈴木 陽香 , 豊田 浩孝
第64回応用物理学会春季学術講演会
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Measurement of directional heat flux component in VHF-magnetron sputtering 国際会議
Hansin Bae, Taku Suyama, Kenta Setaka, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda
9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/10th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
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Film quality improvement in slot-type microwave plasma CVD of SiO2 国際会議
Masaki Yamamoto, Shota Ishikawa, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda
9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/10th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
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Long-scale N2 line plasma production under atmospheric pressure 国際会議
Haruka Suzuki, Yuto Tamura, Yaoki Inomata, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, and Hirotaka Toyoda
9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/10th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
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Shielding of plasma jets from ambient air by water flow certain 国際会議
Hikaru Senba, Yosuke Koike, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda
9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/10th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
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Introduction to Plasma Production - from Breakdown to Plasma Sustainment - 招待有り 国際会議
Hirotaka Toyoda
9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/10th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
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スパッタの基礎とプラズマ解析
豊田 浩孝
第29回専門講習会「スパッタ技術の現状と展望」
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ITOターゲットを用いたVHF重畳DCマグネトロンプラズマにおける熱フラックスの空間分布
Bae Hansin, 巣山 拓, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
第34回プラズマプロセシング研究会／第29回プラズマ材料科学シンポジウム（合同会議）
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改良導波管および連続発振マイクロ波電力によるメートル級長尺大気圧ラインプラズマの効率的生成
鈴木 陽香，田村 宥人，猪俣 弥雄起, 伊藤 仁，関根 誠，堀 勝，豊田 浩孝
第34回プラズマプロセシング研究会／第29回プラズマ材料科学シンポジウム（合同会議）
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長尺ラインプラズマ生成のための改良型導波管の電磁界シミュレーション
田村 宥人，鈴木 陽香，猪俣 弥雄起, 伊藤 仁，関根 誠，堀 勝，豊田 浩孝
第34回プラズマプロセシング研究会／第29回プラズマ材料科学シンポジウム（合同会議）
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インラインマイクロ波プラズマ処理の高流速化による有機物分解効率の向上
堤和紀，滝藤奨，藤村昇平, 伊藤美智子，高島成剛，鈴木陽香，豊田浩孝
第34回プラズマプロセシング研究会／第29回プラズマ材料科学シンポジウム（合同会議）
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酸化物ターゲットを用いたスパッタリングにおける酸素負イオン挙動 招待有り
豊田 浩孝
負イオン研究会2016