研究者詳細 - 豊田　浩孝

講演・口頭発表等 - 豊田　浩孝

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大気圧パルスマイクロ波プラズマにおける印加外部電界に起因するスペクトル拡がり

鎌田　安住，楊　海鵬，石島　達夫，豊田　浩孝

平成21年度電気関係学会東海支部連合大会

CF系イオン照射によるフォトレジスト表面改質層の解析(2)

竹内拓也、関根誠、豊田浩孝、竹田圭吾、堀勝、康松潤、沢田郁夫

第70回応用物理学会学術講演会

シュタルク拡がりを用いたプラズマ密度計測における外部電界の影響

楊　海鵬、石島達夫、豊田浩孝

第70回応用物理学会学術講演会

マイクロ波バブルプラズマにおける水温・圧力の影響

齋藤良太、杉浦宏康、石島達夫、豊田浩孝

第70回応用物理学会学術講演会

マイクロ波プラズマ生成による難分解性有機物分解処理

石島達夫，齋藤良太，豊田浩孝

電気学会プラズマ研究会

Detection of High Energy Negative Ions in an RF Magnetron Sputter Plasma 国際会議

H. Toyoda, K. Goto, T. Ishijima, N. Ohshima, K. Kinoshita

The 19th International Symposium on Plasma Chemistry

Decomposition of Organic Solute with Microwave Bubble Plasmas 国際会議

T. Ishijima, R. Saito, H. Sugiura, H. Toyoda

The 19th International Symposium on Plasma Chemistry

High-Density Microwave Plasma Production For Thin Film Si Solar Cell and Monitoring of SiH4 Gas Dissociation Process 招待有り国際会議

T. Ishijima, H. Endo, H. Asano, H. Toyoda

The 9th Korea-Japan Workshop on Thin Film and Plasma Process for Green Plasma Technology Advanced Plasma Diagnostics for Plasma-Nano Processing

915MHz表面波プラズマを用いた微結晶シリコン薄膜の膜特性評価

浅野弘嗣、遠藤浩孝、石島達夫、豊田浩孝

第56回応用物理学関係連合講演会

スロットアンテナ励起マイクロ波液中プラズマによる有機物含有溶液処理

齋藤良太、杉浦宏康、石島達夫、豊田浩孝

第56回応用物理学関係連合講演会

シュタルク拡がりを用いた大気圧パルスマイクロ波プラズマの電子密度計測

楊　海鵬、石島達夫、豊田浩孝

第56回応用物理学関係連合講演会

高周波マグネトロンプラズマ中の高エネルギー負イオンエネルギーの空間分布計測

後藤和也、石島達夫、大嶋則和、木下啓蔵、豊田浩孝

第56回応用物理学関係連合講演会

微結晶Si薄膜超高速堆積用表面波プラズマ招待有り

豊田浩孝

太陽電池製造用新規プラズマ源に関する研究会

Basic experiment on microcrystalline silicon film deposition by 915 MHz microwave PlasmaCVD 国際会議

H. Asano, T. Ishijima, H. Toyoda

First International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications

Low Temperature Microcrystalline Silicon Film Deposition by Microwave High-density Plasma 招待有り国際会議

Hirotaka Toyoda

First International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications

CF系プラズマにより改質されたフォトレジスト表面層の観察

竹内拓也、関根誠、豊田浩孝、竹田圭吾、堀勝、康松潤、沢田郁夫