講演・口頭発表等 - 豊田 浩孝
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Suppression of film deposition in a plasma CVD system using gas flow 国際会議
H. Toyoda, K. Keyamura and T. Ishijima
GEC2011(64th Annual Gaseous Electronics Conference)
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Influence of microwave electric field on Hb broadening in atmospheric pressure microwave plasma 国際会議
H. Toyoda, T. Murase and T. Ishijima
GEC2011(64th Annual Gaseous Electronics Conference)
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Spatial Profile of SiH4 and SiH3 Fluxes under High Speed Gas Flow Environ 国際会議
M. Ikeda, T. Ishijima and H. Toyoda
DPS2011(33rd International Symposium on Dry Process)
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Trajectory Simulation of High-Energy O- Ions in RF Magnetron Plasma 国際会議
M. Nakabo, K. Ono, T. Morita, N. Ohshima, K. Kinoshita, T. Ishijima and H. Toyoda
DPS2011(33rd International Symposium on Dry Process)
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誘導結合型プラズマにおける高エネルギー電子空間分布評価
大池 匠，石島 達夫，豊田 浩孝
応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会２０周年（研究会創設２５周年）記念 特別シンポジウム
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パルスマイクロ波液中気泡内プラズマの時分解発光分光計測
鈴木 陽香，石島 達夫，豊田 浩孝
応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会２０周年（研究会創設２５周年）記念 特別シンポジウム
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大気圧パルスマイクロ波プラズマの時空間発光分光計測
村瀬 卓，石島 達夫，豊田 浩孝
応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会２０周年（研究会創設２５周年）記念 特別シンポジウム
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数値シミュレーションを用いたRFマグネトロンプラズマにおける酸素負イオンの軌道解析
中坊 将人, 森田 正, 小野 一修,大嶋 則和, 石島 達夫, 豊田 浩孝
応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会２０周年（研究会創設２５周年）記念 特別シンポジウム
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時空間発光分光計測を用いた大気圧パルスマイクロ波プラズマ生成過程の観察
村瀬 卓也*，石島 達夫，豊田 浩孝
平成23年度電気関係学会東海支部連合大会
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パルスマイクロ波液中プラズマの時分解発光分光計測
鈴木 陽香，石島 達夫，豊田 浩孝
平成23年度電気関係学会東海支部連合大会
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分光的手法を用いた誘導結合プラズマ中高エネルギー電子の空間分布評価
大池 匠，石島 達夫，豊田 浩孝
平成23年度電気関係学会東海支部連合大会
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数値シミュレーションを用いたマグネトロンプラズマ中の高エネルギー負イオン挙動の解析
中坊 将人，森田 正，小野 一修，大嶋 則和，木下 啓藏，石島 達夫，豊田 浩孝
平成23年度電気関係学会東海支部連合大会
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質量分析法を用いた大気圧マイクロ波プラズマの気相診断
澤口 陽介，石島 達夫，豊田 浩孝
平成23年度電気関係学会東海支部連合大会
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Silicon Film Deposition by Microwave-Excited SiH4/H2 Plasma 招待有り 国際会議
H. Toyoda, Y. Ito, S. Kondo, T. Ishijima
The 8th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering(AEPSE2011)
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Particle Diagnostics of Reactive Species in Processing Plasmas 招待有り 国際会議
Hirotaka Toyoda
The 8th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering(AEPSE2011)
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ガス流を用いた誘電体窓への膜堆積抑制の検討
毛家村 一樹，石島 達夫，豊田 浩孝
第72回応用物理学会学術講演会
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Influence of Microwave Electric Field on Spatial and Time-Variation of Hb Spectra in Pulsed-Microwave Atmospheric Pressure Plasma 国際会議
T. Murase, A. Kamata, T. Ishijima, H. Toyoda
The XXX International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG)
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Behavior of High-Energy Oxygen Negative Ions in a RF Magnetron Plasma 招待有り 国際会議
Hirotaka Toyoda
The XXX International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG)
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高圧力SiH4/H2マイクロ波プラズマによるシリコン製膜
伊藤裕紀，近藤将吾，石島達夫，豊田浩孝
第72回応用物理学会学術講演会
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ガス流環境下におけるH2/SiH4プラズマの気相診断
池田昌平,石島 達夫,豊田 浩孝
第72回応用物理学会学術講演会