講演・口頭発表等 - 豊田 浩孝
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表面波励起プラズマ処理によるポリイミドフィルムの密着性向上
宇佐見健二，石島達夫，豊田浩孝，伊関清司，菅井秀郎
第71回応用物理学会学術講演会
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新規マイクロ波PCVDによるシリコン薄膜の高品質化
坂井淳二，伊藤裕紀，石島達夫，豊田浩孝
第71回応用物理学会学術講演会
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酸化物ターゲットマグネトロンプラズマにおける高エネルギー粒子挙動シミュレーション
後藤 和也，石島 達夫，森田 正，小野一修，大嶋 則和，木下 啓藏，豊田 浩孝
第71回応用物理学会学術講演会
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改良型出現質量分析法によるSiH4/H2マイクロ波プラズマ中のラジカル絶対密度計測
黒田 俊之, 池田 昌平, 石島 達夫, 豊田 浩孝
第71回応用物理学会学術講演会
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マイクロ波SiH4/H2プラズマCVDによる大面積シリコン堆積 招待有り
豊田 浩孝
プラズマ材料科学第153委員会, 第98回研究会
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MgOターゲットRFマグネトロンプラズマにおける高エネルギー酸素負イオンの空間分布計測
後藤 和也，石島 達夫，森田 正，小野一修，大嶋 則和，木下 啓藏，豊田 浩孝
第34回日本磁気学会学術講演会
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高密度表面波プラズマにおけるC6H6分子の解離過程
毛家村 一樹，石島 達夫，豊田 浩孝
平成22年度電気関係学会東海支部連合大会
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CH2F2への電子衝突によるCH2Fラジカル生成断面積測定
齊藤 耕平，関根 誠，堀 勝，石島 達夫，豊田 浩孝，康 松潤，澤田 郁夫
平成22年度電気関係学会東海支部連合大会
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新規マイクロ波アンテナによるシリコン薄膜の高品質化
伊藤 裕紀, 坂井 淳二，石島 達夫，豊田 浩孝
平成22年度電気関係学会東海支部連合大会
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減圧環境下における液体流の連続プラズマ処理
金武 浩司，石島 達夫，豊田 浩孝
平成22年度電気関係学会東海支部連合大会
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質量分析法による大気圧プラズマの気相診断
澤口 陽介，石島 達夫，豊田 浩孝
平成22年度電気関係学会東海支部連合大会
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大気圧パルスマイクロ波プラズマにおける時空間発光分光計測
齊藤 耕平，関根 誠，堀 勝，石島 達夫，豊田 浩孝，康 松潤，澤田 郁夫
平成22年度電気関係学会東海支部連合大会
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改良型出現質量分析法を用いたマイクロ波励起水素希釈シランプラズマ中の気相診断
池田 昌平，黒田 俊之，石島 達夫，豊田 浩孝
平成22年度電気関係学会東海支部連合大会
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Gas phase diagnostics of high-density SiH4/H2 microwave plasma 招待有り 国際会議
Hirotaka Toyoda, Toshiyuki Kuroda, Masahira Ikeda, Junji Sakai, Yuki Ito, Tatsuo Ishijima
39th The Korean Vacuum Society Summer
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Organic Solute Decomposition using Microwave excited Plasma 招待有り 国際会議
T. Ishijima, H. Toyoda
The 11th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics
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酸化物ＲＦスパッタにおける高エネルギー酸素負イオンの空間分布計測
石島達夫、後藤和也、小野一修、森田 正、大嶋則和、木下啓藏、豊田浩孝
酸化物ＲＦスパッタにおける高エネルギー酸素負イオンの空間分布計測
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Influence of pressure and water temperature on the microwave plasma production under water 国際会議
T. Ishijima, R. Saito, K. Kanetake, H. Toyoda
10th APCPST (Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology)and 23th SPSM (Symposium on Plasma Science for Materials)
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Dissociation process of SiH4 parent gas in high density microwave plasma for Si film deposition 国際会議
T. Ishijima, H. Endo, T. Kuroda, H. Toyoda
10th APCPST (Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology)and 23th SPSM (Symposium on Plasma Science for Materials)
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Diagnostics of high-energy negative ion in RF magnetron plasma 招待有り 国際会議
H. Toyoda
The 3rd International Oce Science Leader Workshop on Plasma Nanoscience and Nanotechnology
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Multibubble Plasma Production and Efficient Liquid Treatment by Slot-excited Microwave 国際会議
T. Ishijima, R. Saito, K. Kanetake, H. Toyoda
International Workshop on Plasmas with Liquids