講演・口頭発表等 - 豊田 浩孝
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マグネトロンプラズマ中の高エネルギー負イオンフラックス評価
豊田浩孝,巣山拓, Bae Hansin, 鈴木陽香
プラズマ・核融合学第33回会年会
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大気圧高密度マイクロ波プラズマの生成とその応用 招待有り
豊田 浩孝
2016年真空・表面科学合同講演会
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Plasma -enhanced chemical vapor deposition of SiO2 films by slot type microwave plasma with O 2/TEOS 国際会議
Haruka Suzuki, Masaki Yamamoto, and Hirotaka Toyoda
DPS2016
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Evaluation of O- Ion Flux in a VHFVHF -DC Magnetron Plasma under ITO Sputtering Process 国際会議
Hirotaka Toyoda, Taku Suyama, Hansin Bae and Haruka Suzuki
DPS2016
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100% N2 atmospheric-pressure microwave-line-plasma production with a modi ed waveguide structure 国際会議
HARUKA SUZUKI, YUTO TAMURA, HITOSHI ITOH, MAKOTO SEKINE, MASARU HORI, HI- ROTAKA TOYODA
69th Annual Gaseous Electronics Conference
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High speed deposition of SiO2 lm by slot-type microwave CVD system 国際会議
HIROTAKA TOYODA, MASAKI YAMAMOTO, HARUKA SUZUKI
69th Annual Gaseous Electronics Conference
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Development of microwave plasma sources and its applications 招待有り 国際会議
Hirotaka Toyoda
The 6th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP2016)
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Improvement of Liquid Treatment Efficiency using Microwave In-Line Plasma System with Narrow Flow Path 国際会議
Haruka Suzuki, Sho Takitou, Hirotaka Toyoda
The 6th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP2016)
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ITO マグネトロンスパッタにおける酸素負イオンフラックス評価
巣山 拓, Bae Hansin, 瀬高 健太, 笹井 建典, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
第77回応用物理学会秋季学術講演会
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O2/TEOS スロット型マイクロ波プラズマCVD によるSiO2 膜形成
山本 匡毅、鈴木 陽香、豊田 浩孝
第77回応用物理学会秋季学術講演会
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インラインマイクロ波プラズマの流路狭小化による液体処理性能向上
滝藤 奨、伊藤 美智子 、高島 成剛、野村 記生、北川 富則、豊田 浩孝
第77回応用物理学会秋季学術講演会
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改良型導波管構造によるマイクロ波励起純窒素大気圧ラインプラズマの生成
鈴木陽香 ，田村宥人 ，伊藤仁 ，関根誠 ，堀勝 ，豊田浩孝
第77回応用物理学会秋季学術講演会
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窒素ガスを用いたマイクロ波大気圧ラインプラズマの生成
田村 宥人，鈴木 陽香，伊藤 仁，関根 誠，堀 勝，豊田 浩孝
平成28年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
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Evaluation of O- Ion Flux in VHF-DC Magnetron Sputtering
Hansin Bae, Taku Suyama, Kenta Setaka, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda
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プラズマスパッタ ―スパッタの物理とマグネトロンプラズマ―
豊田 浩孝
第10回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール
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High-speed -camera observation of plasma behavior in atmospheric-pressure microwave line plasma 国際会議
H. Suzuki, H. Ito, M. Sekine, M. Hori, H. Toyoda
7th International Workshop on Plasma Spectroscopy (IPS2016)
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Two-Dimensional Atomic Absorption Spectroscopy of Plasma-Stimulated Zn Atom Desorption from ZnSO4 Solution 国際会議
H. Toyoda, T. Takaba, H. Suzuki
7th International Workshop on Plasma Spectroscopy (IPS2016)
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VHF-DC重畳マグネトロンスパッタによる平坦性向上機構の検討
巣山 拓，福井 崇史, 瀬高 健太, 笹井建典, 豊田 浩孝
第63回応用物理学会春季学術講演会
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マイクロ波プラズマ液体処理におけるエネルギー効率向上
滝藤 奨、伊藤 美智子 、高島 成剛、野村 記生、北川 富則、豊田 浩孝
第63回応用物理学会春季学術講演会
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スロット内生成マイクロ波プラズマを用いた高速プラズマCVD
山本 匡毅、鈴木 陽香、豊田 浩孝
第63回応用物理学会春季学術講演会