論文 - 石川　健治

Observation of Thin SiO2 Films using IR-RAS 査読有り

Shuzo Fujimura, Kenji Ishikawa, and Haruhisa Mori

The Physics and Chemistry of SiO2 and the Si-SiO2 Interface 2, edited by C. R. Helms and B. E. Deal, (Plenum Press)     頁： 91   1993年

　詳細を見る

記述言語：英語   掲載種別：論文集(書籍)内論文  

DOI： 10.1007/978-1-4899-1588-7_11

New Analytical Method of SiO2 Structure by Infrared Reflection Absorption Spectroscopy (IR-RAS) 査読有り

Kenji Ishikawa, Hiroki Ogawa, Carlos Inomata, Shuzo Fujimura and Haruhisa Mori

MRS Proceedings   318 巻   頁： 425-431   1993年

　詳細を見る

担当区分：筆頭著者   記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

DOI： 10.1557/PROC-318-425