講演・口頭発表等 - 堤 隆嘉
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Interfacial reaction of gas-liquid plasma in the synthesis of functional carbon nanomaterials 招待有り 国際会議
Hiroki KONDO, Takayoshi TSUTSUMI, Kenji ISHIKAWA, Masaru HORI
The 5th International Union of Materials Research Societies International Conference of Young Researchers on Advanced Materials (IUMRS-ICYRAM2022)
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Nanostructure Control and Modification of Poly(styrene-b-2-vinylpyridine) Block Copolymer in H2/N2 Plasma Process 招待有り 国際会議
Ma. shanlene, Dela Cruz, DELA VEGA, Ayane KITAHARA, Thi-thuy-nga NGUYEN, Takayoshi TSUTSUMI, Atsushi TAKANO, Yushu MATSUSHITA, Masaru HORI
The 5th International Union of Materials Research Societies International Conference of Young Researchers on Advanced Materials (IUMRS-ICYRAM2022)
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Study of etching process using CHF3 gas condensed layer in cryogenic region 国際会議
Kuangda Sun, Chieh-Ju Liao, Shih-Nan Hsiao, Makoto Sekine, Toshiyuki Sasaki, Chihiro Abe, Takayoshi Tsutsumi, Kenji Ishikawa, Masaru Hori
1st International Workshop on Plasma Cryo Etching Processes（PlaCEP2022）
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Study of etching process using CHF3 gas condensed layer in cryogenic region 国際会議
Kuangda Sun, Chieh-Ju Liao, Shih-Nan Hsiao, Makoto Sekine, Toshiyuki Sasaki, Chihiro Abe, Takayoshi Tsutsumi, Kenji Ishikawa, Masaru Hori
1st International Workshop on Plasma Cryo Etching Processes（PlaCEP2022）
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Transient Behaviors of Gaseous and Surface Reactions in a Cycle of Pasivation and Etch Steps Using Ar-Based C4F8 and SF6 Plasma 国際会議
Kenji Ishikawa, Taito Yoshie, Takayoshi Tsutsumi, Hiroki Kondo, Makoto Sekine, Masaru Hori
MRS Spring Meetings & Exhibits
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Transient Behaviors of Gaseous and Surface Reactions in a Cycle of Pasivation and Etch Steps Using Ar-Based C4F8 and SF6 Plasma 国際会議
Kenji Ishikawa, Taito Yoshie, Takayoshi Tsutsumi, Hiroki Kondo, Makoto Sekine, Masaru Hori
MRS Spring Meetings & Exhibits
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C4F8/SF6ガス変調サイクルにおいてバイアス印加位相がエッチング形状に及ぼす影響
吉江 泰斗、堤 隆嘉、石川 健治、近藤 博基、関根 誠、堀 勝
第69回応用物理学会春季学術講演会
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窒化ガリウムの基板昇温時サイクルエッチング特性
南 吏玖、中村 昭平、谷出 敦、石川 健治、堤 隆嘉、近藤 博基、関根 誠、堀 勝
第69回応用物理学会春季学術講演会
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プラズマ励起化学気相堆積法におけるカーボンナノウォールの配向成長に対するイオン照射角度の効果
射場 信太朗、近藤 博基、石川 健治、堤 隆嘉、平松 美根男、関根 誠、堀 勝
第69回応用物理学会春季学術講演会
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高効率エクソソーム解析に向けたカーボンナノウォールテンプレートの 表面電位制御
橋本 拓海、近藤 博基、田中 宏昌、石川 健治、堤 隆嘉、関根 誠、安井 隆雄、馬場 嘉信、平松 美根男、堀 勝
第69回応用物理学会春季学術講演会
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ラジカル注入型プラズマ励起化学気相堆積法で成長したカーボンナノウォールの3次元構造解析
近藤 博基、尾崎 敦士、堤 隆嘉、関根 誠、石川 健治、堀 勝、平松 美根男
第69回応用物理学会春季学術講演会
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C3H6 / H2プラズマを用いた水素化アモルファスカーボン成膜における成膜前駆体と膜特性の相関関係
黒川 純平、光成 正、近藤 博基、堤 隆嘉、関根 誠、石川 健治、堀 勝
第69回応用物理学会春季学術講演会
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C3H6 / H2プラズマを用いた水素化アモルファスカーボン成膜における成膜前駆体と膜特性の相関関係
黒川 純平, 光成 正, 近藤 博基, 堤 隆嘉, 関根 誠, 石川 健治, 堀 勝
第69回応用物理学会春季学術講演会
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C4F8/SF6ガス変調サイクルにおいてバイアス印加位相がエッチング形状に及ぼす影響
吉江 泰斗, 堤 隆嘉, 石川 健治, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝
第69回応用物理学会春季学術講演会
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プラズマ励起化学気相堆積法におけるカーボンナノウォールの配向成長に対するイオン照射角度の効果
射場 信太朗, 近藤 博基, 石川 健治, 堤 隆嘉, 平松 美根男, 関根 誠, 堀 勝
第69回応用物理学会春季学術講演会
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ラジカル注入型プラズマ励起化学気相堆積法で成長したカーボンナノウォールの3次元構造解析
近藤 博基, 尾崎 敦士, 堤 隆嘉, 関根 誠, 石川 健治, 堀 勝, 平松 美根男
第69回応用物理学会春季学術講演会
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窒化ガリウムの基板昇温時サイクルエッチング特性
南 吏玖, 中村 昭平, 谷出 敦, 石川 健治, 堤 隆嘉, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝
第69回応用物理学会春季学術講演会
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高効率エクソソーム解析に向けたカーボンナノウォールテンプレートの 表面電位制御
橋本 拓海, 近藤 博基, 田中 宏昌, 石川 健治, 堤 隆嘉, 関根 誠, 安井 隆雄, 馬場 嘉信, 平松 美根男, 堀 勝
第69回応用物理学会春季学術講演会
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In-Liquid Plasma Coating of Graphite Films on Metal Surface Immersed in Ethanol 国際会議
Ma. Shanlene D.C. Dela Vega, Hiroki Kondo, Takayoshi Tsutsumi, Thi-Thuy-Nga Nguyen, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, Magdaleno R. Vasquez Jr., and Masaru Hori
14th International Symposium on Advanced Plasma Science and Its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 15th International Conference on Plasma Nanotechnology and Science
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Manipulation of etch selectivity of silicon nitride over silicon dioxide by controlling substrate temperature with a CF4/H2 plasma 国際会議
Shih-Nan Hsiao, Nicolay Britun, Thi-Thuy-Nga Nguyen, Takayoshi Tsutsumi, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, and Masaru Hori
14th International Symposium on Advanced Plasma Science and Its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 15th International Conference on Plasma Nanotechnology and Science