講演・口頭発表等 - 堤 隆嘉
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Plasma-assisted Atomic Layer Etching (PE-ALE) of SiO2 via surface fluorination and argon bombardment 国際会議
A.P. Osonio, T. Tsutsumi, B. Mukherjee, R. Borude, N. Kobayashi, and M. Hori
AAPPS_DPP
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In-situ measurements of plasma-induced defects and radical adsorption in ALE 国際会議
T. Tsutsumi, M. Sekine, K. Ishikawa, M. Hori
AAPPS_DPP
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Advanced Semiconductor Plasma Processes Pioneered by Understanding and Controlling Plasma-Surface Interactions 招待有り 国際会議
Masaru Hari, M. Sekine, T. Tsutsumi, K. Ishikawa
AVS70
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Behavior of Radical Adsorption on Plasma Induced Defect for Atomic Layer Etching 招待有り 国際会議
OSONIO Airah Peraro, TSUTSUMI Takayoshi, ISHIKAWA Kenji and MASARU Hori
ICMSEP2024
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Effect of bias voltage on etching reaction of SiO2 in cryogenic process with HF contained plasmas 国際会議
Yusuke Imai, Shih-Nan Hsiao, Makoto Sekine, Kenji Ishikawa, Takayoshi Tsutsumi, Yuki Iijima and Masaru Hori
VASSCAA-12&TVS-2024
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電子線支援原子層エッチングにおけるGaN表面フッ素化反応
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エピタキシャル成長した Si0.7Ge0.3 および Si 薄膜におけるH2 希釈 CF4 ガスによるドライエッチングの選択性評価
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CF4/H2プラズマによるSiO2低温エッチングのRFバイアス依存性
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高アスペクト比ホール内におけるラジカルの付着確率の輸送への影響
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紫外光照射時のGaN表面エッチング反応機構
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プラズマ誘起欠陥の発生と修復～アニールにおける雰囲気ガスの効果～
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ALD代替に向けたダメージレスALEプロセス 招待有り
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Plasma-based pseudo-wet etching for SiN using hydrogencontained fluorocarbon gases at cryogenic temperatures 国際会議
Shih-Nan Hsiaoa, Yusuke Imaia, Makoto Sekinea, Takayoshi Tsutsumia, Kenji Ishikawaa, Yuki Iijimab, Ryutaro Sudab, Masahiko Yokoib, Maju Tomurab, Yoshihide Kiharab and Masaru Hori
2nd International Workshop on Plasma Cryo Etching Processes
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Chemical Reaction Analysis for Plasma-Enhanced Atomic Layer Process 招待有り 国際会議
Takayoshi Tsutsumi
The 1ST Global Forum and International Workshop in Hybrid mode on Industrial Plasma Processes and Diagnostics 2024 (IPPD 2024)
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プラズマ誘起欠陥の発生と修復～RIE-SiO2に伴うSiO2 / Si界面の欠陥評価～
布村 正太, 堤 隆嘉, 深沢 正永, 堀 勝
第71回応用物理学会春期学術講演会 2024年3月24日
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パルスプラズマにおける負イオンエネルギー分布の時間 分解測定
都地 一輝, 堤 隆嘉, 蕭 世男, 関根 誠, 堀 勝, 石川 健治
第71回応用物理学会春期学術講演会 2024年3月24日
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カーボンハードマスクの膜特性に対する基板バイアス寄 与度の局所的顕在化
安藤 悠介, 近藤 博基, 堤 隆嘉, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝
第71回応用物理学会春期学術講演会 2024年3月24日
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カーボンハードマスクの膜特性に対する基板バイアス寄 与度の局所的顕在化
安藤 悠介, 近藤 博基, 堤 隆嘉, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝
第71回応用物理学会春期学術講演会 2024年3月24日
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プラズマ誘起欠陥の発生と修復～RIE-SiO2に伴うSiO2 / Si界面の欠陥評価～
布村 正太, 堤 隆嘉, 深沢 正永, 堀 勝
第71回応用物理学会春期学術講演会 2024年3月24日
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パルスプラズマにおける負イオンエネルギー分布の時間 分解測定
都地 一輝, 堤 隆嘉, 蕭 世男, 関根 誠, 堀 勝, 石川 健治
第71回応用物理学会春期学術講演会 2024年3月24日