講演・口頭発表等 - 堤 隆嘉
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Etching Selectivities of SiO2 and SiN Against a-C Films Using CF4/H2 with a Pseudo-Wet Plasma Etching Mechanism 国際会議
Yusuke Imai, S. Hsiao, M. Sekine, T. Tsutsumi, K. Ishikawa, M. Iwata, M. Tamura, Y. Iijima, T. Gohira, K. Matsushima, Y. Ohya, M. Hori,
AVS 69th International Symposium and Exhibition (AVS 69) 2023年11月6日
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Etching Selectivities of SiO2 and SiN Against a-C Films Using CF4/H2 with a Pseudo-Wet Plasma Etching Mechanism 国際会議
Yusuke Imai, S. Hsiao, M. Sekine, T. Tsutsumi, K. Ishikawa, M. Iwata, M. Tamura, Y. Iijima, T. Gohira, K. Matsushima, Y. Ohya, M. Hori
AVS 69th International Symposium and Exhibition (AVS 69) 2023年11月6日
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Transient behavior of cycle process in Ar plasma with alternately injected C4F8 and SF6 国際会議
T. Yoshie, K. Ishikawa, TTN Nguyen, S. Hsiao, T. Tsutsumi, M. Sekine, M. Hori
13th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE 2023) 2023年11月8日
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Transient behavior of cycle process in Ar plasma with alternately injected C4F8 and SF6 国際会議
T. Yoshie, K. Ishikawa, TTN Nguyen, S. Hsiao, T. Tsutsumi, M. Sekine, M. Hori
13th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE 2023) 2023年11月8日
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Plasma-based pseudo-wet mechanism for cryogenic SiO2 etching using hydrogen-contained fluorocarbon gases with an in-situ surface analysis 国際会議
S. Hsiao, M. Sekine, T. Tsutsumi, K. Ishikawa, M. Iwata, M. Tomura, Y. Iijima, T. Gohira, K. Matsushima, Y. Ohya, M. Hori
The 76th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC76) 2023年10月11日
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Plasma-based pseudo-wet mechanism for cryogenic SiO2 etching using hydrogen-contained fluorocarbon gases with an in-situ surface analysis 国際会議
S. Hsiao, M. Sekine, T. Tsutsumi, K. Ishikawa, M. Iwata, M. Tomura, Y. Iijima, T. Gohira, K. Matsushima, Y. Ohya, M. Hori
The 76th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC76) 2023年10月11日
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Plasma-Enhanced Deposition Mechanism of Hydrogenated Amorphous Carbon Analyzed ByCombining Reactive Species Measurement and Machine Learning 招待有り 国際会議
H. Kondo, T. Tsutsumi, K. Ishikawa, M. Sekine, H. Kousaka, M. Hori
244th ECS Meeting 2023年10月11日
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Selective removal of graphene by irradiation of remote oxygen plasma 国際会議
L. Hu, K. Ishikawa, T. Tsutsumi, TTN Nguyen, S. Hsiao, H. Kondo, M. Sekine, M. Hori
Global Plasma Forum in Aomori 2023年10月16日
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Plasma-Enhanced Deposition Mechanism of Hydrogenated Amorphous Carbon Analyzed ByCombining Reactive Species Measurement and Machine Learning 招待有り 国際会議
H. Kondo, T. Tsutsumi, K. Ishikawa, M. Sekine, H. Kousaka, M. Hori
244th ECS Meeting 2023年10月11日
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Selective removal of graphene by irradiation of remote oxygen plasma 国際会議
L. Hu, K. Ishikawa, T. Tsutsumi, TTN Nguyen, S. Hsiao, H. Kondo, M. Sekine, M. Hori
Global Plasma Forum in Aomori 2023年10月16日
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カーボンハードマスクのプラズマエッチング耐性に対する，成膜過程におけるイオン照射効果
安藤 悠介、近藤 博基、堤 隆嘉、石川 健治、関根 誠、堀 勝
第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023年9月21日
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CF4/H2プラズマによるSiO2,SiN,a-C膜の低温エッチング
今井 祐輔、蕭 世男、関根 誠、飯島 祐樹、須田 隆太郎、大矢 欣伸、木原 嘉英、堤 隆嘉、石川 健治、堀 勝
第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023年9月22日
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低温における絶縁膜の擬ウェットプラズマエッチング
蕭 世男、関根 誠、飯島 祐樹、須田 隆太郎、大矢 欣伸、木原 嘉英、堤 隆嘉、石川 健治、堀 勝
第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023年9月22日
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容量結合型パルスプラズマにおける負イオンの電極材料依存性
都地 一輝、堤 隆嘉、蕭 世男、関根 誠、石川 健治、堀 勝
第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023年9月22日
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プラズマ誘起欠陥の発生と修復 ～酸素プラズマがSiO2/Si界面に及ぼす影響～
布村 正太、堤 隆嘉、堀 勝
第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023年9月21日
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原子層エッチングにおけるプラズマ誘起欠陥へのラジカル吸着挙動
オソニオ アイラ ペラロ、堤 隆嘉、石川 健治、堀 勝
第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023年9月21日
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CF4/H2プラズマによるSiO2,SiN,a-C膜の低温エッチング
今井 祐輔, 蕭 世男, 関根 誠, 飯島 祐樹, 須田 隆太郎, 大矢 欣伸, 木原 嘉英, 堤 隆嘉, 石川 健治, 堀 勝
第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023年9月22日
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カーボンハードマスクのプラズマエッチング耐性に対する，成膜過程におけるイオン照射効果
安藤 悠介, 近藤 博基, 堤 隆嘉, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝
第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023年9月21日
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原子層エッチングにおけるプラズマ誘起欠陥へのラジカル吸着挙動
オソニオ アイラ ペラロ, 堤 隆嘉, 石川 健治, 堀, 勝
第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023年9月21日
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低温における絶縁膜の擬ウェットプラズマエッチング
蕭 世男, 関根 誠, 飯島 祐樹, 須田 隆太郎, 大矢 欣伸, 木原 嘉英, 堤 隆嘉, 石川 健治, 堀 勝
第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023年9月22日