Presentations -
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Dynamic deformation modeling for the interfaces of growing, etching, and depositing under the switching flow in TSSG-SiC growth Invited International conference
Xin Liu and Toru Ujihara
The 11th International Workshop on Modeling in Crystal Growth(IWMCG11) 2024.9.24
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Data assimilation for crystal growth simulation incorporating multiple uncertainties using machine learning International conference
Kentaro Kutsukake, Shion Takeno, Masato Ota, Ichiro Takeuchi and Toru Ujihara
The 11th International Workshop on Modeling in Crystal Growth(IWMCG11) 2024.9.24
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機械学習を用いた離散不純物によるMOSFET閾値電圧ばらつきの統計的な解析
関 翔太, 長田 圭一, 髙石 将輝, 笠原 亮太郎, 沓掛 健太朗, 宇治原 徹
第85回応用物理学会秋季学術講演会 2024.9.20
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連続工程の全体最適化のための最適化手法の検討
笠原 亮太郎，沓掛 健太朗，原田 俊太，宇治原 徹
第85回応用物理学会秋季学術講演会 2024.9.20
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SiC溶液成長法における潜在空間を利用した長時間プロセスの最適化
坂本 隆直，沓掛 健太朗，原田 俊太，宇治原 徹
第85回応用物理学会秋季学術講演会 2024.9.20
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SiC溶液成長法における多結晶生成要因の検討
杉浦大輝、村山健太、沓掛健太朗、原田俊太、宇治原徹
第43回 結晶成長討論会 2024.9.12
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SiC溶液成長法における溶媒インクルージョンの３次元形状の解明と形成メカニズムの分析
伊藤貴洋、周惠琴、沓掛健太郎、原田俊太、宇治原徹
第43回 結晶成長討論会 2024.9.12
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SiC溶液成長法の長時間プロセスにおける坩堝の形状変化に対応したシーケンス最適化に向けて
坂本 隆直, 沓掛 健太朗, 原田 俊太, 宇治原 徹
第43回 結晶成長討論会 2024.9.12
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AI を活用した SiC 溶液成長技術の開発 Invited
宇治原 徹
日本セラミックス協会 第37回秋季シンポジウム 2024.9.10
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Molecular Dynamics Simulation of Si-Cr-C Solutions: The Effect of Al Addition on SiC Solution Growth International conference
Takumi Fukunaga, Ryo Iwasa, Takahiro Kawamura, Shota Seki, Shunta Harada, and Toru Ujihara
2024 International Conference on Solid State Devices and Materials(SSDM2024) 2024.9.3
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Dynamic deformation modeling for the interfaces of growing, etching, and depositing in TSSG-SiC International conference
Xin Liu and Toru Ujihara
8th European Conference of Crystal Growth(ECCG8) 2024.7.22
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Si-Cr溶液の分子動力学シミュレーション： Al添加がSiC結晶成長に与える影響の検討
福永拓実, 岩佐零, 河村貴宏, 関翔太, 原田俊太, 宇治原徹
第16回ナノ構造エピタキシャル成長講演会 2024.5.31
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人間参加型選好ベイズ最適化の半導体製造プロセス開発への応用
松田 凌芽, 霜田 大貴, 吉田 拓未, 竹野 思温, 沓掛 健太朗, 宇治原 徹, 竹内 一郎
第71回応用物理学会春季学術講演会 2024.3.25
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シリコン中の不純物増速拡散の機械学習
霜田 大貴, 沓掛 健太朗, 宇治原 徹
第71回応用物理学会春季学術講演会 2024.3.25
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AlNウィスカの耐水性向上に寄与する酸化膜形態の解明
古川 喜一、原田 俊太、宇治原 徹
日本セラミックス協会2024年年会 2024.3.16
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AI を活用した SiC 溶液成長技術の開発と今後の展望
宇治原徹
データ駆動コンソーシアムセミナー 2024.1.29
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プロセスインフォマティクスを用いた高品質SiC結晶成長技術の開発と展開 Invited
宇治原徹
電子光技術シンポジウム 2023.12.18
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溶液の組成がDNA修飾ナノ粒子結晶 の品質およびサイズに与える影響
張力東，小島憧子，周幸儀 ，太田昇，関口博史，原田 俊太，宇治原徹， 塚本勝男，田川美穂
第52回結晶成長国内会議（JCCG-52） 2023.12.4
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4H-SiC溶液成長シミュレーションの機 械学習における転移学習によるデータ数削減
甘原，党一帆，沓掛健太 朗，原田俊太，田川美穂， 宇治原徹
第52回結晶成長国内会議（JCCG-52） 2023.12.6
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SiC溶液成長における溶質と不純物の 結合安定性の第一原理計算による解析
関翔太，河村貴宏，原田俊 太，田川美穂，宇治原徹
第52回結晶成長国内会議（JCCG-52） 2023.12.5