Presentations -

液中プラズマを用いたナノグラフェン合成における活性種の効果

近藤 博基, 濱地 遼, 堤 隆嘉, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝

第81回応用物理学会秋季学術講演会 

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Event date： 2020.9

Language：Japanese   Presentation type：Oral presentation (general)  

Country：Japan  

Analysis of Ion Energy Dependence of Depth Profile of GaN by In-situ Surface Analysis International conference

Masaki Hasagawa‚ Takayoshi Tsutsumi, Atsushi Tanide‚ Shohei Nakamura, Hiroki Kondo‚ Kenji Ishikawa‚ Masaru Hori

20th International Conference on Atomic Layer Deposition  2020.6.29 

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Event date： 2020.6 - 2020.7

Language：English   Presentation type：Oral presentation (general)  

Analysis of Ion Energy Dependence of Depth Profile of GaN by In-situ Surface Analysis International conference

Masaki Hasagawa‚, Takayoshi Tsutsumi, Atsushi Tanide‚, Shohei Nakamura, Hiroki Kondo‚, Kenji Ishikawa‚, Masaru Hori

20th International Conference on Atomic Layer Deposition  2020.6.29 

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Event date： 2020.6 - 2020.7

Language：English   Presentation type：Oral presentation (general)  

プラズマプロセス中の基板温度分布の経時変化の解析

堤 隆嘉、石川 健治、近藤 博基、関根 誠、堀 勝

2020年第67回応用物理学会春季学術講演会 

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Event date： 2020.3

Language：Japanese   Presentation type：Poster presentation  

Arイオン照射窒化ガリウム表面の塩素吸着層のイオンエネルギー依存性 (2)

長谷川 将希、堤 隆嘉、谷出 敦、近藤 博基、関根 誠、石川 健治、堀 勝

2020年第67回応用物理学会春季学術講演会 

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Event date： 2020.3

Language：Japanese   Presentation type：Oral presentation (invited, special)  

液中プラズマを用いたナノグラフェン合成における照射時間依存性 [II]

近藤 博基、濱地 遼、 堤 隆嘉,、石川 健治、関根 誠、堀 勝

2020年第67回応用物理学会春季学術講演会 

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Event date： 2020.3

Language：Japanese   Presentation type：Oral presentation (general)  

液中プラズマを用いたナノグラフェン合成における照射時間依存性[Ⅰ]

濱地 遼、近藤 博基、堤 隆嘉、石川 健治、関根 誠、堀 勝

2020年第67回応用物理学会春季学術講演会 

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Event date： 2020.3

Language：Japanese   Presentation type：Oral presentation (general)  

プラズマ誘起欠陥の発生と修復 ～Arイオン照射の効果～

布村 正太、中根 一也、堤 隆嘉、松原 浩司、堀 勝

2020年第67回応用物理学会春季学術講演会 

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Event date： 2020.3

Language：Japanese   Presentation type：Oral presentation (general)  

極低温領域におけるCHF3ガス凝縮層を用いたエッチングプロセスの研究

羽澄 匡広, スガンサマラー セルヴァラジ, 蕭 世男, 関根 誠, 林 久貴, 佐々木 俊行, 阿部 知央, 堤 隆嘉, 石川 健治, 堀 勝

2020年第67回応用物理学会春季学術講演会 

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Event date： 2020.3

Language：Japanese   Presentation type：Oral presentation (general)  

プラズマ表面処理が自己集積化膜の分子配向に及ぼす影響

織田 祥成、堤 隆嘉、石川 健治、堀 勝

2020年第67回応用物理学会春季学術講演会 

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Event date： 2020.3

Language：Japanese   Presentation type：Oral presentation (general)  

Arイオン照射窒化ガリウム表面の塩素吸着層のイオンエネルギー依存性 (2)

長谷川 将希, 堤 隆嘉, 谷出 敦, 近藤 博基, 関根 誠, 石川 健治, 堀 勝

2020年第67回応用物理学会春季学術講演会 

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Event date： 2020.3

Language：Japanese   Presentation type：Oral presentation (invited, special)  

プラズマプロセス中の基板温度分布の経時変化の解析

堤 隆嘉, 石川 健治, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝

2020年第67回応用物理学会春季学術講演会 

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Event date： 2020.3

Language：Japanese   Presentation type：Poster presentation  

極低温領域におけるCHF3ガス凝縮層を用いたエッチングプロセスの研究

羽澄 匡広, スガンサマラー セルヴァラジ, 蕭 世男, 関根 誠, 林 久貴, 佐々木 俊行, 阿部 知央, 堤 隆嘉, 石川 健治, 堀 勝

2020年第67回応用物理学会春季学術講演会 

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Event date： 2020.3

Language：Japanese   Presentation type：Oral presentation (general)  

プラズマ誘起欠陥の発生と修復 ～Arイオン照射の効果～

布村 正太, 中根 一也, 堤 隆嘉, 松原 浩司, 堀 勝

2020年第67回応用物理学会春季学術講演会 

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Event date： 2020.3

Language：Japanese   Presentation type：Oral presentation (general)  

プラズマ表面処理が自己集積化膜の分子配向に及ぼす影響

織田 祥成, 堤 隆嘉, 石川 健治, 堀 勝

2020年第67回応用物理学会春季学術講演会 

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Event date： 2020.3

Language：Japanese   Presentation type：Oral presentation (general)  

液中プラズマを用いたナノグラフェン合成における照射時間依存性 [II]

近藤 博基, 濱地 遼, 堤 隆嘉, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝

2020年第67回応用物理学会春季学術講演会 

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Event date： 2020.3

Language：Japanese   Presentation type：Oral presentation (general)  

液中プラズマを用いたナノグラフェン合成における照射時間依存性[Ⅰ]

濱地 遼, 近藤 博基, 堤 隆嘉, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝

2020年第67回応用物理学会春季学術講演会 

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Event date： 2020.3

Language：Japanese   Presentation type：Oral presentation (general)  

Termination of Dangling Bonds in Amorphous Carbon Films by Hydrogen Atoms International conference

Yasuyuki Ohashi, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Takayoshi Tsutsumi and Masaru Hori

12th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/13th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2020/IC-PLANTS2020) 

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Event date： 2020.3

Language：English   Presentation type：Oral presentation (general)  

Formation of Spherical Sn Particles from SnO2 Film by Atmospheric-Pressure Plasma International conference

Thi-Thuy-Nga Nguyen, Minoru Sasaki, Hidefumi Odaka, Takayoshi Tsutsumi, Kenji Ishikawa and Masaru Hori

12th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/13th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2020/IC-PLANTS2020) 

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Event date： 2020.3

Language：English   Presentation type：Poster presentation  

Etching Process Using CHF3 Gas Condensed Layer in Cryogenic Region International conference

Masahiro Hazumi, Suganthamalar Selvaraj, Shih-Nan Hsiao, Chihiro Abe, Toshiyuki Sasaki, Hisataka Hayashi, Takayoshi Tsutsumi, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine and Masaru Hori

12th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/13th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2020/IC-PLANTS2020) 

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Event date： 2020.3

Language：English   Presentation type：Poster presentation