Presentations -
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Application of Atmospheric Pressure Plasma to Rapid Dry Etching of Polymer Contamination on Floor International conference
Y Sakamoto, T Tsutsumi, M Hori
Interfinish 2020 World Congress
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Application of Atmospheric Pressure Plasma to Rapid Dry Etching of Polymer Contamination on Floor International conference
Y Sakamoto, T Tsutsumi, M Hori
Interfinish 2020 World Congress
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Development of the nanocarbon coating process on metal surfaces via in-liquid plasma International conference
Ma. Shanlene, D.C. Dela Vega, Hiroki Kondo, Takayoshi Tsutsumi, Thi-Thuy-Nga Nguyen, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, Masaru Hori
Interfinish 2020 World Congress
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Numerical analysis of effects of applying voltage polarity on atmospheric pressure argon streamer discharge under pin-to-plane electrode geometry International conference
Y. Sato, K. Ishikawa, T. Tsutsumi, A. Ui, M. Akita, S. Oka and M. Hori
47th Conference on Plasma Physics
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Numerical analysis of effects of applying voltage polarity on atmospheric pressure argon streamer discharge under pin-to-plane electrode geometry International conference
Y. Sato, K. Ishikawa, T. Tsutsumi, A. Ui, M. Akita, S. Oka, M. Hori
47th Conference on Plasma Physics
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塩素吸着による窒化ガリウム原子層エッチングの表面反応の理想と現実
堤 隆嘉, 長谷川 将希, 中村 昭平, 谷出 敦，近藤 博基, 関根 誠, 石川 健治, 堀 勝
第227回 シリコンテクノロジー分科会 研究集会 2021.3.25
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塩素吸着による窒化ガリウム原子層エッチングの表面反応の理想と現実
堤 隆嘉, 長谷川 将希, 中村 昭平, 谷出 敦, 近藤 博基, 関根 誠, 石川 健治, 堀 勝
第227回 シリコンテクノロジー分科会 研究集会 2021.3.25
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塩素吸着を用いた窒化ガリウムの原子層エッチングプロセス特性のArイオンエネルギー依存性
堤 隆嘉、長谷川 将希、中村 昭平、谷出 敦、近藤 博基、関根 誠、石川 健治、堀 勝
2021年第68回応⽤物理学会春季学術講演会
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リモート酸素ラジカルによるグラフェンのエッチング反応の分析
胡 留剛、堤 隆嘉、蕭 世男、近藤 博基、石川 健治、関根 誠、堀 勝
2021年第68回応⽤物理学会春季学術講演会
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マイクロ放電ホローカソードプラズマを用いた真空紫外吸収分光用自己吸収光源の分光診断
竹田 圭吾、堤 隆嘉、平松 美根男、堀 勝
2021年第68回応⽤物理学会春季学術講演会
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Ar/C4F8/SF6を用いたガス変調サイクルプロセスにおける活性種の挙動
吉江 泰斗、三好 康史、堤 隆嘉、釘宮 克尚、石川 健治、堀 勝
2021年第68回応⽤物理学会春季学術講演会
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プラズマ誘起欠陥の発生と修復 ～少数キャリアライフタイムによる定量評価～
布村 正太、坂田 功、堤 隆嘉、堀 勝
2021年第68回応⽤物理学会春季学術講演会
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液中プラズマを用いたナノグラフェン合成における活性種の効果[II]
近藤 博基、濱地 遼、堤 隆嘉、石川 健治、関根 誠、堀 勝
第68回応⽤物理学会春季学術講演会
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Ar/C4F8/SF6を用いたガス変調サイクルプロセスにおける活性種の挙動
吉江 泰斗, 三好 康史, 堤 隆嘉, 釘宮 克尚, 石川 健治, 堀 勝
2021年第68回応⽤物理学会春季学術講演会
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プラズマ誘起欠陥の発生と修復 ～少数キャリアライフタイムによる定量評価～
布村 正太, 坂田 功, 堤 隆嘉, 堀 勝
2021年第68回応⽤物理学会春季学術講演会
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塩素吸着を用いた窒化ガリウムの原子層エッチングプロセス特性のArイオンエネルギー依存性
堤 隆嘉, 長谷川 将希, 中村 昭平, 谷出 敦, 近藤 博基, 関根 誠, 石川 健治, 堀 勝
2021年第68回応⽤物理学会春季学術講演会
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リモート酸素ラジカルによるグラフェンのエッチング反応の分析
胡 留剛, 堤 隆嘉, 蕭 世男, 近藤 博基, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝
2021年第68回応⽤物理学会春季学術講演会
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マイクロ放電ホローカソードプラズマを用いた真空紫外吸収分光用自己吸収光源の分光診断
竹田 圭吾, 堤 隆嘉, 平松 美根男, 堀 勝
2021年第68回応⽤物理学会春季学術講演会
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液中プラズマを用いたナノグラフェン合成における活性種の効果[II]
近藤 博基, 濱地 遼, 堤 隆嘉, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝
第68回応⽤物理学会春季学術講演会
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Design of removal process of SnO2 on glass by H2/Ar plasma at atmospheric pressure and medium pressure International conference
Thi-Thuy-Nga Nguyen, Minoru Sasaki, Takayoshi Tsutsumi, Kenji Ishikawa and Masaru Hori
13th International Symposium on Advanced Plasma Science and Its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 14th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science （ISPlasma2021/IC-PLANTS2021） 2021.3.9