Presentations -
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Random forest model for property control of plasma International conference
J. Kurokawa, T. Tsutsumi, K. Ishikawa, H. Kondo, M. Sekine, M. Hori
The 42nd International Symposium on Dry Process (DPS2021)
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Transient effects in cyclic processes on fabrications of high-aspect-ratio trenches International conference
T. Yoshie, T. Tsutsumi, K. Ishikawa, M. Hori
The 42nd International Symposium on Dry Process (DPS2021)
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Selective plasma-enhanced atomic layer etching of SiO using a silane coupling agent International conference
A. Osonio, T. Tsutsumi, B. Mukherjee, R. Borude, N. Kobayashi, M. Hori
The 42nd International Symposium on Dry Process (DPS2021)
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Control of Interface Layers for Selective Atomic Layer Etching Invited International conference
Takayoshi Tsutsumi, R. Vervuurt, N. Kobayashi, and Masaru Hori
67th AVS International Symposium and Exhibitio
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Control of Interface Layers for Selective Atomic Layer Etching Invited International conference
Takayoshi Tsutsumi, R. Vervuur, N. Kobayashi, Masaru Hori
67th AVS International Symposium and Exhibitio
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Ar/C4F8/SF6を用いたガス変調サイクルプロセスにおける活性種の挙動2
吉江 泰斗、堤 隆嘉、石川 健治、堀 勝
第82回 応用物理学会秋季学術講演会
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カーボンナノウォールの光透過率に対する壁密度および高さの効果
射場 信太朗、近藤 博基、石川 健治、堤 隆嘉、平松 美根男、関根 誠、堀 勝
第82回 応用物理学会秋季学術講演会
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窒化ガリウムのプラズマエッチング中その場分光エリプソメトリー観測
南 吏玖、石川 健治、堤 隆嘉、近藤 博基、関根 誠、小田 修、堀 勝
第82回 応用物理学会秋季学術講演会
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原子層エッチングの反応素過程とその設計、制御
石川 健治、Nguyen Thi-Thuy-Nga、堤 隆嘉、蕭 世男、近藤 博基、関根 誠、堀 勝
第82回 応用物理学会秋季学術講演会
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螺旋状窒素プラズマ中の窒素原子密度計測
西尾 亮佑、梶田 信、大野 哲靖、田中 宏彦、浅岡 晃次、堤 隆嘉、堀 勝
第82回 応用物理学会秋季学術講演会
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C3H6 / H2プラズマを用いたアモルファスカーボン成膜において水素ガス流量比が膜特性に与える影響
黒川 純平、光成 正、堤 隆嘉、近藤 博基、関根 誠、石川 健治、堀 勝
第82回 応用物理学会秋季学術講演会
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プラズマ誘起欠陥の発生と修復 ～モバイル水素の役割と考察～
布村 正太、坂田 功、堤 隆嘉、堀 勝
第82回 応用物理学会秋季学術講演会
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Ar/C4F8/SF6を用いたガス変調サイクルプロセスにおける活性種の挙動2
吉江 泰斗, 堤 隆嘉, 石川 健治, 堀 勝
第82回 応用物理学会秋季学術講演会
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C3H6 / H2プラズマを用いたアモルファスカーボン成膜において水素ガス流量比が膜特性に与える影響
黒川 純平, 光成 正, 堤 隆嘉, 近藤 博基, 関根 誠, 石川 健治, 堀 勝
第82回 応用物理学会秋季学術講演会
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カーボンナノウォールの光透過率に対する壁密度および高さの効果
射場 信太朗, 近藤 博基, 石川 健治, 堤 隆嘉, 平松 美根男, 関根 誠, 堀 勝
第82回 応用物理学会秋季学術講演会
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原子層エッチングの反応素過程とその設計、制御
石川 健治, Nguyen Thi-Thuy-Nga, 堤 隆嘉, 蕭 世男, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝
第82回 応用物理学会秋季学術講演会
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プラズマ誘起欠陥の発生と修復 ～モバイル水素の役割と考察～
布村 正太, 坂田 功, 堤 隆嘉, 堀 勝
第82回 応用物理学会秋季学術講演会
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窒化ガリウムのプラズマエッチング中その場分光エリプソメトリー観測
南 吏玖, 石川 健治, 堤 隆嘉, 近藤 博基, 関根 誠, 小田 修, 堀 勝
第82回 応用物理学会秋季学術講演会
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螺旋状窒素プラズマ中の窒素原子密度計測
西尾 亮佑, 梶田 信, 大野 哲靖, 田中 宏彦, 浅岡 晃次, 堤 隆嘉, 堀 勝
第82回 応用物理学会秋季学術講演会
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Development of the nanocarbon coating process on metal surfaces via in-liquid plasma International conference
Ma. Shanlene D.C. Dela Vega, Hiroki Kondo, Takayoshi Tsutsumi, Thi-Thuy-Nga Nguyen, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, Masaru Hori
Interfinish 2020 World Congress