論文 - 豊田 浩孝
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Effects of Carbon Wall on the Bahaviour of Heliotron-E Plasmas 査読有り
N. Noda, T. Mizuuchi, H. Toyoda, S. Yoshida, H. Sugai et al.
J. Nucl. Mater. 162-164 巻 頁： 769-775 1989年
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Hydrogen Release and Retention Dynamics of Amorphous Carbon Layers Exposed to a Hydrogen/Helium Plasma 査読有り
S. Yoshida, H. Sugai, H. Toyoda
Jpn. J. Appl. Phys 28 巻 ( 6 ) 頁： 1101-1108 1989年
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Genaration of a Large Electron Beam for Plasma Processing, 査読有り
H. Sugai, N. Yabuoshi, H. Toyoda
Jpn. J. Appl. Phys. 28 巻 ( 5 ) 頁： L868-870 1989年
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Hydrogen Recycling Control by Helium Ion Bombardment onto Carbonized Surfaces 査読有り
H. Sugai, H. Toyoda, S. Ohshita, S. Yoshida, A. Sagara
J. Nucl. Meter. 162-164 巻 頁： 1035-1039 1989年
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Carbonization Experiment by ECR Discharge in JIPPT-IIU 査読有り
Y.Sakamoto, H. Amemiya, H. Toyoda, H. Sugai et al.
J. Nucl. Mater. 162-164 巻 頁： 783-786 1989年
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Mass Spectroscopic Investigation of the CH3 Radicals in a Methane RF Discharge 査読有り
H. Toyoda, H. Kojima, H. Sugai
Applied Physics Letters 54 巻 ( 16 ) 頁： 1507-1509 1989年
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Hydrogen Retention and Release Dynamics of Amorphous Carbon Filsm Exposed to a Hydrogen Plasma 査読有り
H. Sugai, S. Yoshida, H. Toyoda
Applied Physics Letters 54 巻 ( 15 ) 頁： 1412-1414 1989年
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In situ Boron Coating and its Removal by Glow Discharge Processes 査読有り
H. Toyoda, T. Isozumi, H. Sugai, T. Okuda
Journal of Nuclear Materials 162-164 巻 頁： 732-736 1989年
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Observation of CH2 Radical and Comparison with CH3 Radical in a RF Methane Discharge 査読有り
H. Kojima, H. Toyoda, H. Sugai
Applied Physics Letters 55 巻 ( 13 ) 頁： 1292-1294 1989年
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Formation of CH Radical by Surface Bombardment in a Methane/Argon DC Discharge 査読有り
Y. Yamashita, H. Toyoda, H. Sugai
Jpn. J. Appl. Phys. 28 巻 ( 9 ) 頁： L1647-1650 1989年
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Control of Hydrogen Content of Boron Films Produced by a DC Toroidal Discharge 査読有り
H. Toyoda, H. Sugai, T. Isozumi, T. Okuda
Applied Physics Letters 51 巻 ( 11 ) 頁： 798-800 1987年
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イオン束を制御した水素化アモルファスシリコンの生成と成膜過程 査読有り
豊田浩孝, 菅井秀郎, 吉田 明, 奥田孝美
応用物理 55 巻 ( 7 ) 頁： 718-726 1986年
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Hydrogenated Amorphous Silicon Formation by Flux Control and Hydrogen Effects on the Growth Mechanism 査読有り
H. Toyoda, H. Sugai, K. Kato, A. Yoshida, T. Okuda
Appl. Phys. Lett. 48 巻 ( 24 ) 頁： 1648-1650 1986年
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Ion and Radical Contributions to a Si : H Film Formation in a DC Toroidal Discharge 査読有り
H. Sugai, H. Toyoda, A. Yoshida, T. Okuda
Applied Physics Letters 46 巻 ( 11 ) 頁： 1048-1050 1985年
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プラズマイオン分析器の開発 査読有り
菅井秀郎, 小島啓明, 森 直生, 豊田浩孝, 奥田孝美
核融合研究 51 巻 ( 3 ) 頁： 221-240 1984年
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A Mass Spectrometer for Boundary Plasma Diagnostics 査読有り
H. Kojima, H. Sugai, T. Mori, H. Toyoda, T. Okuda
J. Nucl. Mater 128-129 巻 頁： 965-968 1984年