論文 - 豊田 浩孝
-
Refractory Organic Solute Decomposition in Water using Microwave Plasma 査読有り
Tatsuo Ishijima, Ryota Saito, Hiroyasu Sugihara, and Hirotaka Toyoda
Transactions of the Materials Research Society of Japan 36 巻 ( 3 ) 頁： 475-478 2011年3月
-
Influence of temperature and pressure on solute decomposition efficiency by microwave-excited plasma 査読有り
R. Saito , H. Sugiura , T. Ishijima, H. Toyoda
Current Applied Physics 11 巻 ( 5 ) 頁： S195-S198 2011年3月
-
Pulsed plasma-polymerized alkaline anion-exchange membranes for potential application in direct alcohol fuel cells
Chengxu Zhang, Jue Hu, Jie Cong, Yanping Zhao, Wei Shen, Hirotaka Toyoda, Masaaki Nagatsuc, Yuedong Menga
Journal of Power Sources 196 巻 頁： 5386–5393 2011年2月
-
Effect of O Ion Beam Irradiation during RF-Magnetron Sputtering on Characteristics of CoFeB-MgO Magnetic Tunnel Junctions 査読有り
Kazunaga Ono, Norikazu Ohshima, Kazuya Goto, Hiroki Yamamoto, Tadashi Morita, Keizo Kinoshita, Tatsuo Ishijima, and Hirotaka Toyoda
Jpn. J. Appl. Phys. 50 (2011) 023001 50 巻 頁： 023001 2011年2月
-
Plasma-grafted alkaline anion-exchange membranes based on polyvinyl chloride for potential application in direct alcohol fuel cell
Jue Hu, Chengxu Zhang, Jie Cong, Hirotaka Toyoda, Masaaki Nagatsu, Yuedong Meng
196 巻 頁： 4483–4490 2011年1月
-
Novel Antenna Coupler Design for Production of Meter-ScaleHigh-Density Planar Surface Wave Plasma 査読有り
Tatsuo Ishijima, Yasunori Nojiri, Hirotaka Toyoda, Hideo Sugai
49 巻 頁： 086002 2010年8月
-
Efficient production of microwave bubble plasma in water for plasma processing in liquid 査読有り
T. Ishijima, H. Sugiura, R. Saito, H. Toyoda, H. Sugai
Plasma Sources Sci. Technol. 015010 19 巻 頁： 015010 2010年
-
Spatial Variation of Negative Oxygen Ion Energy Distribution in RF Magnetron Plasma with Oxide Target 査読有り
T. Ishijima, K. Goto, N. Ohshima, K. Kinoshita, and H. Toyoda
Jpn. J. Appl. Phys. 48 巻 頁： 116004 2009年11月
-
メタルスパッタリングプラズマの高度化とその最新動向
豊田浩孝（分担執筆）
電気学会技術報告書 1162 巻 頁： pp.11~14 2009年7月
-
Rapid treatment of polyimide film surfaces using high-density microwave plasma for enhancement of Cu layer adhesion 査読有り
Y. Takagi , Y. Gunjo , H. Toyoda , H. Sugai
Vacuum, 83 巻 頁： 501–505 2008年10月
-
Effect of Sputtering Deposition Process on Magnetic Properties on Magnetic Multilayers 査読有り
Y. Maeda, Y. Suzuki, Y. Sakashita, S. Iwata, T. Kato, S. Tsunashima, H. Toyoda and H. Sugai
Jpn. J. Appl. Phys. 47 巻 ( 10 ) 頁： 7879-7885 2008年10月
-
Surface Modification of Fluorocarbon Polymer Film by High Density Microwave Plasma 査読有り
K. Ishikawa, T. ishijima, K. Sasai, H. Toyoda and H. Sugai
Transactions of the Materials Research Society of Japan 33 巻 ( 3 ) 頁： 683-686 2008年9月
-
Characteristics of Low-energy Atom and Molecule Beams Generated by the Charge Exchange Reaction 査読有り
Y. Hara, S. Takashima, K. Yamakawa, S. Den, H. Toyoda, M. Sekine, M. Hori
J. Appl. Phys. 103 巻 ( 5 ) 頁： 053301 1-5 2008年5月
-
Deposition of polycrystalline SiGe by surface wave excited plasma 査読有り
Y. Takanishi, T. Okayasu, H. Toyoda, H. Sugai
Thin Solid Films Vol., pp. 516 巻 頁： 3554-3557 2008年4月
-
スパッタプラズマ中の高エネルギー粒子計測と制御 査読有り
豊田浩孝
真空 51 巻 ( 4 ) 頁： 258-263 2008年4月
-
Suppression of Super High-Energy Species by VHF-DC Superimposed Magnetron Sputter Plasma 査読有り
Y. Sakashita, Y. Takagi, T. Kato, H. Toyoda, S. Iwata, S. Tsunashima and H. Sugai
Transaction of Materials Research Society of Japan 32 巻 ( 2 ) 頁： 481-484 2007年12月
-
Suppression of High-Energy Backscattered Particles in Magnetron Plasma 査読有り
Yusuke Takagi, Hirotaka Toyoda, and Hideo Sugai
Jpn. J. Appl. Phys. 46 巻 ( 12 ) 頁： 7865-7869 2007年12月
-
Tunable Low-energy Ar Fast Atom Source with Large Diameter 査読有り
Y. Hara, S. Takashima, K. Yamakawa, S. Den, H. Toyoda, M. Hori
Appl. Phys.Lett. 91 巻 ( 23 ) 頁： 23502 1-3 2007年12月
-
High-Speed μc-Si Films Deposition and Large-Grain Poly-Si Films Deposition by Surface Wave Discharge 査読有り
Y. Hotta, H. Toyoda and H. Sugai
Thin Solid Films 515 巻 頁： 4983-4987 2007年4月
-
Role of atomic nitrogen during GaN growth by plasma-assisted molecular beam epitaxy revealed by appearance mass spectrometry 査読有り
J. Osaka, M. Senthil Kumar, H. Toyoda, T. Ishijima, H. Sugai and T. Mizutani
APPLIED PHYSICS LETTERS 90 巻 頁： 172114 1-3 2007年4月