研究者詳細 - 豊田　浩孝

論文 - 豊田　浩孝

分割表示 156 件中 121 - 140 件目／全件表示 >>

Measurement of Absolute Hydrogen Dissociation in a Diamond Deposition System 査読有り

M.A. Childs, K.L. Menningen, H. Toyoda, Y. Ueda, L.W. Anderson, J.E. Lawler

Phys. Lett. A 194 巻頁： 119123 1994年

Ultraviolet Spectroscopy of Gaseous Spacies in a Hot Filament Diamond Deposition System When C2H2 and H2 are the Input Gases. 査読有り

H. Toyoda, M.A. Childs, K.L. Menningen, L.W. Anderson, J.E. Lawler

J. Appl. Phys. 75 巻 ( 6 ) 頁： 3142-3150 1994年

Absolute Radical Density Measurements in a CH4-H2 d.c. Discharge 査読有り

K.L. Menningen, M.A. Childs, H. Toyoda, Y. Ueda, L.W. Anderson, J.E. Lawler

Diamond and Related Mater 3 巻頁： 422-425 1994年

Evaluation of a Substrate Pretreatment for Hot Filament CVD 査読有り

K.L. Menningen, M.A. Childs, H. Toyoda, L.W. Anderson, J.E. Lawler

J. Mater. Res. 9 巻 ( 4 ) 頁： 915-920 1994年

Cross Section Measurements for Electron-Impact Dissociation of CHF3 into Neutral and Ionic Radicals, 査読有り

M. Goto, K. Nakamura, H. Toyoda, H. Sugai

Jpn. J. Appl. Phys., 33 巻 ( 6A ) 頁： 3602-3607 1994年

プラズマによる表面改質とラジカル計測査読有り

200 巻頁： 403-411 1993年

CF₄エッチングプラズマにおけるCF₃ CF₂ラジカルの空間分布と表面損失査読有り

32 巻 ( 3A ) 頁： L353-L356 1993年

CF₄エッチングプラズマへの水素添加によるCF₂,CF₃のふるまいの劇的変化査読有り

32 巻 ( 5A ) 頁： L690-L693 1993年

Methyl Radical Production in a Hot Filament CVD System 査読有り

K.L. Menningen, M.A. Childs, P. Chevako, H. Toyoda, L.W. Anderson, J.E. Lawler

Chem. Phys. Lett 204 巻 ( 5-6 ) 頁： 573-577 1993年

Appearance Mass Spectrometry of Neutral Radicals in Radio Frequency Plasmas 査読有り

H. Sugai, H. Toyoda

Journal of Vacuum Science and Technology A10 巻 ( 4 ) 頁： 1193-12004 1992年

プラズマ界面における異常発光とフラグメンテーション査読有り

片寄恭一, 豊田浩孝, 菅井秀郎

核融合研究 67 巻 ( 1 ) 頁： 51-61 1992年

In-situ Boron Nitride Coating and Comparison with Existing Boronization 査読有り

M. Yamage, T. Ejima, H. Toyoda, H. Sugai

J. Nucl. Mater. 196-198 巻頁： 618-621 1992年

High Speed Cleaning of Boronized Wall with a CF₄ Containing Plasma 査読有り

H. Toyoda, A. Hanami, M. Yamage, H. Sugai

Japanese Journal of Applied Physics 30 巻 ( 3B ) 頁： L514-517 1991年

Interactions of Bulk-Boronized Graphites with Deuterium Plasmas in the PISCES-B Facility 査読有り

Y. Hirooka, R.W. Conn, H. Toyoda, H. Sugai et al.

Fusion Technol 19 巻頁： 2059-2069 1991年

Electron Impact Dissociation of Methane into CH3 and CH2 Radicals, II. Absolute Cross Sections 査読有り

T. Nakano, H. Toyoda, H. Sugai

Jpn. J. Appl. Phys. 30 巻 ( 11A ) 頁： 2912-2915 1991年

Electron Impact Dissociation of Methane into CH3 and CH2 Radicals, I. Relative Cross Sections 査読有り

T. Nakano, H. Toyoda, H. Sugai

Jpn. J. Appl. Phys. 30 巻 ( 11A ) 頁： 2908-2911 1991年

Spatial Distribution of CH₂ and CH₂ Radicals in a Methane RF Discharge 査読有り

H. Sugai, H. Kojima, A. Ishida, H. Toyoda

Applied Physics Letters 56 巻 ( 26 ) 頁： 2616-2618 1990年

Ion-Induced Radical Production on Surfaces during Deposition of Hydrogenated Amorphous Carbon 査読有り

Y. Yamashita, K. Katayose, H. Toyoda, H. Sugai

Journal of Applied Physics 68 巻 ( 7 ) 頁： 3735-3737 1990年

RF Plasma Production at Ultralow Pressure with Surface Magnetic Confinement 査読有り

T. Shirakawa, H. Toyoda, H. Sugai

Jpn. J. Appl. Phys. 29 巻 ( 6 ) 頁： L1015-1018 1990年

Rapid Cleaning of Boronized Walls with a Chlorine/Hydrogen Glow Discharge 査読有り

H. Toyoda, A. Hanami, H. Sugai

Jpn. J. Appl. Phys. 29 巻 ( 7 ) 頁： 1322-1323 1990年

　前のページ - 次のページ　

<豊田 浩孝>

論文 - 豊田 浩孝

<豊田　浩孝>

論文 - 豊田　浩孝