論文 - 豊田 浩孝
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Investigation of the ion dese non-uniformity caused by sheath-lens focusing effect on silicon wafers 査読有り
N. Holtzer , E. Stamate, H. toyoda and H. Sugai
Thin Solid Films 515 巻 頁： 4887-4891 2007年4月
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Dependence of Giant Magnetoresitance in Cn/Cu Multilayers on Sputtering Condition 査読有り
Changchuan Chen, Y. Suzuki, T. Kato. S. Iwata, S. Tsunashima, H. Toyoda, H. Sugai
Japanese Juenal of Applied Physics 45 巻 ( 10B ) 頁： 8466-8468 2006年10月
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Generation processes of super-high-energy atoms and ions in magnetron sputtering plasma 査読有り
Y. Takagi, Y. Sakashita, H. Toyoda, and H. Sugai
Vacuum 80 巻 ( 6 ) 頁： 581-587 2006年3月
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Evidence of Direct SiO2 Etching by Fluorocarbon Molecules under Ion Bombardment 査読有り
N. Takada, H. Toyoda, I. Murakami and H. Sugai
Journal of Applied Physics 97 巻 ( 1 ) 頁： 013534 1-5 2005年
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バイアス光プローブによる反応性プラズマのEEDF測定 査読有り
豊田浩孝
プラズマ・核融合学会誌 81 巻 ( 7 ) 頁： 496-501 2005年
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High-energy ions and atoms sputtered and reflected from magnetron source for deposition of magnetic thin films 査読有り
H. Matsui, H. Toyoda and H. Sugai
J. Vac. Sci. Technol. A 23 巻 ( 4 ) 頁： 671-675 2005年
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Evidence of Radical-free Etching of SiO2 by Fluorocarbon Molecules under Ion Bombardment 査読有り
N. Takada, H. Toyoda and H. Sugai
Transacitons of the Materials Research Society of Japan 30 巻 ( 1 ) 頁： 319-322 2005年
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Beam Study of the Si and SiO2 Etching Processes by Energetic Fluorocarbon Ions 査読有り
H. Toyoda, H. Morishima, R. Fukute, Y. Hori, I .Murakami and H. Sugai
J. Appl. Phys. 95 巻 頁： 5172-5179 2004年
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Dramatic Reduction of Chemical Sputtering of Graphite under Intercalation of Lithium 査読有り
H. Yagi, H. Toyoda, H. Sugai
J. Nucl. Mater. 313-316 巻 頁： 284-287 2003年
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Wall Heating Effect on Crystallization of Low-Temperature Deposited Silicon Films from an Inductively-Coupled Plasma 査読有り
T. Kojima, A. Ohishi, H. Toyoda, M. Goto, M. Nishitani and H. Sugai
Jpn. J. Appl. Phys. 40 巻 ( 1 ) 頁： 322-325 2001年
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Rapid Diffusion of Lithium into Bulk Graphite in Lithium Conditioning 査読有り
N. Itou, H. Toyoda, K. Morita and H. Sugai
J. Nucl. Mater. 290-293 巻 頁： 381-385 2001年
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Radial Density Profile of Microwave Plasma for Wall Conditioning in a Purely Toroidal Magnetic Field 査読有り
H. Sugai, H. Toyoda, J. Ihde and J. Winter
J. Plasma and Fusion Research 77 巻 ( 2 ) 頁： 130-136 2001年
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Electron Energy Distribution Function and the Influence on Fluorocarbon Plasma Chemistry 査読有り
H. Sugai, I. Ghanashev, M. Hosokawa, K. Mizuno, K. Nakamura, H. Toyoda and K. Yamauchi
Plasma Sources Sci. Technol 10 巻 頁： 378-385 2001年
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Measurement of Electron-Impact-Dissociation Cross Section for Neutral Products 査読有り
H. Sugai, H. Toyoda
AIP Conf. Proc. 500 巻 頁： 349-358 2000年
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Laboratory Experiment on Lithium Chemistry and its Application to Effective Wall Conditioning 査読有り
S. Kato, M. Watanabe, H. Toyoda, H. Sugai
J. Nucl. Mater. 266-269 巻 頁： 406-411 1999年
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リチウムコンディショニングによる炭素不純物の抑制機構 査読有り
豊田浩孝、加藤伸一、菅井秀郎
プラズマ・核融合学会誌 75 巻 ( 4 ) 頁： 459-466 1999年
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気相および表面におけるラジカル生成のビーム実験 査読有り
豊田浩孝、菅井秀郎
プラズマ・核融合学会誌 75 巻 ( 7 ) 頁： 779-784 1999年
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壁コンディショニングの機能と将来の展望
豊田浩孝
プラズマ・核融合学会誌 75 巻 ( 4 ) 頁： 403-408 1999年
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Lower Temperature Deposition of Poly-Crystalline Silicon Films from a Modified Inductively-Coupled Silane Plasma
K. Goshima, H. Toyoda, T. Kojima, M. Nishitani, M. Kitagawa, H. Yamazoe, H. Sugai
Jpn. J. Appl. Phys. 38 巻 ( 6A ) 頁： 3655-3659 1999年
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オプティカルマルチチャンネルアナライザによる高感度吸収分光計測 査読有り
豊田浩孝
応用物理 68 巻 ( 5 ) 頁： 551-552 1999年