講演・口頭発表等 - 鈴木 陽香
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流動液体プラズマ処理装置を用いたAgナノ粒子の長時間安定合成
山口 和也, 鈴木 陽香, 笹井 建典, 豊田 浩孝
第82回応用物理学会秋季学術講演会 2021年9月22日 応用物理学会
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ECRプラマを用いた高伝導性カーボン薄膜成膜, 第82回応用物理学会秋季学術講演会
Bae Hansin, 濱口 育未, 鈴木 陽香, 笹井 建典, 豊田 浩孝
第82回応用物理学会秋季学術講演会 2021年9月12日 応用物理学会
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大気圧長尺マイクロ波ラインプラズマによる広幅高速アッシング処理
岩田 悠揮, 小笠原 知裕, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
令和3年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 2021年9月7日 電気学会東海支部
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イメージング法による容量結合型プラズマから電極へ入射する高速粒子の角度分布計測
市川景太, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
令和3年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 2021年9月7日 電気学会東海支部
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二周波容量結合型フルオロカーボンプラズマ中のラジカル計測
関 悠斗, 久保井 宗一, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
令和3年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 2021年9月7日 電気学会東海支部
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表面波プラズマを用いた高導電性炭素膜の高速堆積
濱口 育未, Bae Hansin, 笹井 建典, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
令和3年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 2021年9月7日 電気学会東海支部
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表面波プラズマによるグラファイトライクカーボン膜の高速成膜
BAE Hansin, 疋田 和也, 鈴木 陽香, 笹井 建典, 豊田 浩孝
第68回応用物理学会春季学術講演会 2021年3月18日
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液温制御による流動液体プラズマ処理装置の長時間安定運転と Ag ナノ粒子合成
山口 和也, 鈴木 丈, 鈴木 陽香, 笹井 建典, 豊田 浩孝
第68回応用物理学会春季学術講演会 2021年3月19日
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パルスマイクロ波励起大気圧酸素添加アルゴンプラズマによる広幅アッシング処理
小笠原 知裕, 岩田 悠揮, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
第68回応用物理学会春季学術講演会 2021年3月18日
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絶縁ライナー付誘導結合型プラズマへの微小接地電極挿入におけるプラズマ変動
千葉 行徳, 久蔵 学, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
第68回応用物理学会春季学術講演会 2021年3月19日
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Wide-area and High-speed Deposition of Graphitic Film by Microwave Surface Wave Plasma with High Power Pulse 国際会議
Hansin Bae, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai, and Hirotaka Toyoda
13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/14th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 2021年3月9日
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Deuterium Depth Profile of Plasma-Exposed Solid/Liquid Tin 国際会議
Kota Tamura, Haruka Suzuki, Suguru Masuzaki, Masayuki Tokitani, Junichi Miyazawa, Hirotaka Toyoda
13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/14th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 2021年3月8日
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Time-dependent Measurement of Charge Density at Bottom of High-aspect Hole in a Capacitively-coupled Plasma 国際会議
Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Keita Ichikawa, Manh Hung Chu, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda
13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/14th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 2021年3月8日
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Ashing Treatment of Polyimide Film by Atmospheric-pressure Microwave LinePlasma with Ar/O2 国際会議
Haruka Suzuki, Tomohiro Ogasawara, Yuki Iwata, and Hirotaka Toyoda
13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/14th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 2021年3月8日
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Effect of grounded electrode on plasma propety in ICP with floating liner 国際会議
Manabu Kyuzo, Yukinori Chiba, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda
13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/14th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 2021年3月8日
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パルス変調容量結合プラズマにおける高アスペクト比ホール中蓄積電荷の時間変化
森山 誠, 中原 尚哉, 市川景太, Chu Manh Hung, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
第38回プラズマプロセシング研究会 2021年1月29日
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表面波プラズマを用いたグラファイト様炭素膜の大面積高速堆積
ベ ハンシン, 鈴木 陽香, 笹井 建典, 豊田 浩孝
第38回プラズマプロセシング研究会 2021年1月29日
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重水素プラズマ照射スズ中における重水素の深さ分布測定
田村 晃汰, 鈴木 陽香, 増崎 貴, 時谷 政行, 宮澤 順一, 豊田 浩孝
プラズマ・核融合学会 第37回年会 2020年12月2日
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大気圧マイクロ波プラズマの大面積かつ高速表面処理への応用
鈴木 陽香, 小笠原 知裕, Chu Manh Hung, 岩田 悠揮, 豊田 浩孝
プラズマ・核融合学会 第37回年会 2020年12月3日
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High speed and wide area conductive carbon film deposition by surface-wave plasma
H.Bae, K.Hikita, H.Suzuki, K.Sasai, H.Toyoda
プラズマ・核融合学会 第37回年会 2020年12月3日