講演・口頭発表等 - 鈴木 陽香
-
スロット励起大気圧マイクロ波プラズマCVDによるSiO2薄膜形成
石川 翔太, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
平成29年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
-
スロット励起大気圧マイクロ波プラズの電力消費に関する電磁界シミュレーョン
鈴木 陽香, 小池 洋右, 田村 宥人, 馬場 賀己, 豊田 浩孝
第78回応用物理学会秋季学術講演会
-
大気圧マイクロ波ラインプラズマにおける電力吸収機構
田村 宥人, 小池 洋右, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
第78回応用物理学会秋季学術講演会
-
水流により遮蔽された空間での水蒸気マイクロ波プラズ生成
仙波 輝, 小池 洋右, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
第78回応用物理学会秋季学術講演会
-
マイクロ波インライン液体処理における反応領域のその場計測
堤 和紀, 藤村 昇平, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
第78回応用物理学会秋季学術講演会
-
Improvement of SiO2 film properties synthesized by plasma-enhanced chemical vapor deposition using slot-type microwave plasma with O2/TEOS 国際会議
Shota Ishikawa, Masaki Yamamoto, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
The 15th International Conference on Advanced Materials
-
Meter -scale microwave plasma production with various discharge gases for large-area surface treatment under atmospheric pressur 招待有り 国際会議
Haruka Suzuki
The 15th International Conference on Advanced Materials
-
高速表面処理に向けた新しい大気圧プラズマ源の開発 招待有り
鈴木陽香
プラズマ材料科学153委員会30周年記念講演会
-
Optical measurement of meter-scale microwave line plasma under atmospheric pressure 国際会議
Haruka Suzuki, Yuto Tamura, Yaoki Inomata, Hirotaka Toyoda
XXXIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases
-
Quantitative Evaluation of High-Energy Oxygen Negative Ion Flux in DC Magnetron Sputtering of Indium-Tin-Oxide 国際会議
Hirotaka Toyoda, Hansin Bae, Taku Suyama, Kenta Setaka, Haruka Suzuki
XXXIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases
-
Microwave Plasma Production inside the Micro-gap with Meter-scale Length 招待有り 国際会議
Haruka Suzuki
9th International Workshop on Microplasmas 2017
-
Development of atmospheric pressure microwave plasma source for large-area surface treatment 招待有り 国際会議
Haruka Suzuki
The 22th Korea-Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics & The 9th Workshop for NU-SKKU Joint Institute for Plasma-Nano Materials
-
マイクロ波励起メートル級大気圧プラズマの生成とその特性 招待有り
鈴木陽香, 田村宥人, 猪俣弥雄起, 関根誠, 堀勝, 豊田浩孝
第64回応用物理学会春季学術講演会
-
マイクロ波インライン液体処理における反応領域の空間分布計測
堤 和紀 滝藤 奨, 藤村 昇平, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
第64回応用物理学会春季学術講演会
-
水流により遮蔽された空間での大気圧プラズマジェット生成
仙波 輝, 小池 洋右, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
第64回応用物理学会春季学術講演会
-
マイクロ波励起長尺大気圧プラズマにおけるプラズマ維持機構の検討
田村 宥人, 猪俣 弥雄起, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
第64回応用物理学会春季学術講演会
-
Long-scale N2 line plasma production under atmospheric pressure 国際会議
Haruka Suzuki, Yuto Tamura, Yaoki Inomata, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda
9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanotaterials (ISPlasma) / 10th International Conference on Plasma-Nanotechnology & Science (IC-PLANTS)
-
Shielding of plasma jets from ambient air by water flow 国際会議
Hikaru Senba, Yosuke Koike, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanotaterials (ISPlasma) / 10th International Conference on Plasma-Nanotechnology & Science (IC-PLANTS)
-
Measurement of Directional Heat Flux Component in VHF-Magnetron Sputtering 国際会議
Hansin Bae, Taku Suyama, Kenta Setaka, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanotaterials (ISPlasma) / 10th International Conference on Plasma-Nanotechnology & Science (IC-PLANTS)
-
Film quality improvement in slot-type microwave plasma CVD of SiO2 国際会議
Masaki Yamamoto, Shota Ishikawa, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanotaterials (ISPlasma) / 10th International Conference on Plasma-Nanotechnology & Science (IC-PLANTS)