講演・口頭発表等 - 鈴木 陽香
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二周波重畳容量結合型プラズマにおけるRF電極入射高エネルギー粒子の角度分布評価
市川 景太、Chu Manh Hung、森山 誠、鈴木 陽香、飯野 大輝、福水 裕之、栗原 一彰、豊田 浩孝
第71回応用物理学会春期学術講演会 2024年3月22日 公益社団法人 応用物理学会
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On-Off及びHigh-Low変調VHFプラズマ照射下のキャピラリープレート底部の電荷蓄積におけるデューティー比の影響
赤塚勇大，鈴木陽香，森山誠，飯野大輝，福水裕之，栗原一彰，豊田浩孝
第71回応用物理学会春期学術講演会 2024年3月25日 公益社団法人 応用物理学会
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二周波重畳容量結合型プラズマにおけるイオン角度分布のエネルギー分解計測
川村 隼也、金 度漢、鈴木 陽香、飯野 大輝、福水 裕之、栗原 一彰、豊田 浩孝
第71回応用物理学会春期学術講演会 2024年3月22日 公益社団法人 応用物理学会
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高速ガス流を用いた弱減圧マイクロ波プラズマの絶縁破壊電力及び放電維持電力
中林 賢二、小川 泰那、鈴木 陽香、豊田 浩孝
第71回応用物理学会春期学術講演会 2024年3月24日 公益社団法人 応用物理学会
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Swirl flow introduction for stabilized discharge in a liquid-flow plasma system 国際会議
Kengo Yunoki, Haruka Suzuki,2Kensuke Sasai, Suguru Masuzaki, Hiromi Hayashi,Takanori Murase,Sho Nakagawa,Yuto Yanagihara,Hirotaka Toyoda
16th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials/17th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2024/IC-PLANTS2024) 2024年3月4日
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Ion composition in Ar/C4F8/O2 pulsed capacitively-coupled plasma evaluated using ion production rates from time-resolved electron density measurements 国際会議
Haruhito Kato, Shuichi Kuboi, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
16th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials/17th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2024/IC-PLANTS2024) 2024年3月5日
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テレセントリックレンズを用いて撮影された画像からのプラズマ発光強度3次元空間分布の評価
鈴木陽香、原田健汰、久蔵学、豊田浩孝
第41回プラズマプロセシング研究会(SPP-41) 2024年1月25日 公益社団法人 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
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On-OffおよびHigh-Low変調VHFプラズマにおけるキャピラリープレート底部の電荷蓄積挙動比較
赤塚勇大，鈴木陽香，森山誠，飯野大輝，福水裕之，栗原一彰，豊田浩孝
第41回プラズマプロセシング研究会(SPP-41) 2024年1月24日 公益社団法人 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
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二周波重畳容量性結合型Arプラズマにおけるイオン角度分布のエネルギー分解計測
川村 隼也、金 度漢、鈴木 陽香、飯野 大輝、福水 裕之、栗原 一彰、豊田 浩孝
第41回プラズマプロセシング研究会(SPP-41) 2024年1月24日 公益社団法人 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
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多方向画像からの3次元プラズマ空間構造の評価
鈴木陽香、原田健汰、久蔵学、豊田浩孝
第40回 プラズマ・核融合学会 年会 2023年11月30日 一般社団法人 プラズマ・核融合学会
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気体流による減圧形成を応⽤した放電易化におけるノズル電極の構造検討
小川泰那、中林賢二、鈴木陽香、豊田浩孝
第40回 プラズマ・核融合学会 年会 2023年11月29日 一般社団法人 プラズマ・核融合学会
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Effect of collisions in a sheath on angular distributions of high-speed particles incident on an RF electrode from a dual-frequency capacitively-coupled plasma 国際会議
Shunya Kawamura, Haruka Suzuki, Daiki Iino, Hiroyuki Fukumizu, Kazuaki Kurihara, Hirotaka Toyoda
The 44th International Symposium on Dry Process (DPS2023) 2023年11月22日 44th International Symposium on Dry Process(DPS2023) Organizing Committee
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Quantitative evaluation of ion composition in Ar/C4F8/O2 pulsed capacitively-coupled plasma based on electron impact ionization rates 国際会議
Haruhito Kato , Yudai Akatsuka , Shuichi Kuboi , Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda
The 44th International Symposium on Dry Process (DPS2023) 2023年11月22日 44th International Symposium on Dry Process(DPS2023) Organizing Committee
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Influence of Ion Composition on High Aspect Ratio Etching in Pulse-operated Ar/C4F8/O2 DF-CCP 国際会議
Shuichi Kuboi, Yudai Akatsuka, Haruhito Kato, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda
The 44th International Symposium on Dry Process (DPS2023) 2023年11月21日 44th International Symposium on Dry Process(DPS2023) Organizing Committee
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高周波プラズマの生成制御とプロセス ～減圧から大気圧まで～ 招待有り
鈴木陽香
第34回プラズマエレクトロニクス講習会 2023年11月17日 公益社団法人 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
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Production and Application of High-density Microwave Plasma in Contact with Flowing Liquid 招待有り 国際会議
Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
13th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2023) 2023年11月7日
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気液プラズマの環境応用 招待有り
鈴木陽香
グリーン・DXプラズマコンソーシアム2023年度実習 2023年10月27日
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Ar/C4F8/O2容量結合型パルスプラズマにおける放電開始直後の電離レートをもとにしたイオン組成の定量的評価
加藤 閣⼈, ⾚塚 勇⼤, 久保井 宗⼀, 鈴⽊ 陽⾹, 豊⽥ 浩孝
第84回応⽤物理学会秋季学術講演会 2023年9月22日 公益社団法人 応用物理学会
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高周波電極へ入射する高エネルギー粒子角度分布のイメージング計測
豊田 浩孝、市川 景太、チュ マンフン、森山 誠、鈴木 陽香、飯野 大輝、福水 裕之、栗原 一彰
第84回応⽤物理学会秋季学術講演会 2023年9月20日 公益社団法人 応用物理学会
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複数視野像を⽤いたプラズマ3次元構造評価の試み
原⽥ 健汰, 久蔵 学, 鈴⽊ 陽⾹, 豊⽥ 浩孝
第84回応⽤物理学会秋季学術講演会 2023年9月21日 公益社団法人 応用物理学会