研究者詳細 - 鈴木　陽香

講演・口頭発表等 - 鈴木　陽香

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[第3回ダイバーシティ＆インクルージョン賞　女性研究者研究奨励賞　受賞記念講演] 高周波放電を用いた大気圧高密度プラズマ源の開発と応用に関する研究招待有り

鈴木　陽香

2025年第72回応用物理学会春季学術講演会公益社団法人応用物理学会

Time-resolved measurement of ion composition in a pulse modulated Ar/C4F8/O2 dual- frequency capacitively coupled plasma using mass spectrometry 招待有り国際会議

Haruka Suzuki, Shuichi Kuboi, Haruhito Kato, Yuto Seki, Yudai Akatsuka, Hirotaka Toyoda

二周波重畳容量結合型プラズマの電極への正パルス電圧印加が高アスペクト比ホール底部の電荷蓄積に与える影響

菊池拓哉，赤塚勇大, 鈴木陽香，森山誠，田村晃汰, 久保井宗一, 飯野大輝，福水裕之，栗原一彰，豊田浩孝

2025年第72回応用物理学会春季学術講演会公益社団法人応用物理学会

プラズマ空間分布再構築における電極間⽅向の⾼分解能化

泉涼太, 鈴⽊陽⾹, 豊⽥浩孝

2025年第72回応用物理学会春季学術講演会公益社団法人応用物理学会

機械学習を用いたAr イオンビームプロファイルの解析

金度漢，川村隼也，内藤真誉，鈴木陽香，飯野大輝，福水裕之，栗原一彰，豊田浩孝

2025年第72回応用物理学会春季学術講演会公益社団法人応用物理学会

二周波容量結合型Ar/Kr プラズマにおける質量およびエネルギー分解イオン角度分布の計測

内藤真誉, 川村隼也，Kim Dohan,藤谷航大, 鈴木陽香, 飯野大輝，福水裕之，栗原一彰，豊田浩孝

2025年第72回応用物理学会春季学術講演会公益社団法人応用物理学会

Reconstruction of three-dimensional plasma emission structure based on multi-view images 国際会議

Ryota Izumi, Manabu Kyuzo, Hayato Yoshikawa, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

Influence of air-exposure on surface composition of plasma-exposed polyethylene terephthalate film 国際会議

Tomoya Murase, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

流動液体マイクロ波プラズマを用いた高効率銀ナノ粒子合成プロセス

高辻乃輔、柚木健吾、鈴木陽香、笹井建典、豊田浩孝

第42回プラズマプロセシング研究会(SPP-42)

入射角可変型高エネルギーイオン照射装置の開発

渡邉　隆斗，鈴木陽香，豊田浩孝

第42回プラズマプロセシング研究会(SPP-42)

電荷重畳法を用いたトレンチチャージングシミュレーション

菊池　拓哉，鈴木陽香，豊田浩孝

第42回プラズマプロセシング研究会(SPP-42)

電荷重畳法による高アスペクト比ホールのチャージングシミュレーション国際会議

菊池拓哉,鈴木陽香,豊田浩孝

第34回日本MRS年次大会

多視点画像を⽤いたプラズマの3次元構造解析

泉涼太, 鈴⽊陽⾹, 藤井俊彰, 豊⽥浩孝

第41回年会プラズマ核融合学会

Energy-resolved measurement of ion angular distribution in dual-frequency capacitively-coupled Ar plasma incident on an RF electrode 国際会議

S. Kawamura, M. Naito, D. Kim, H. Suzuki, D. Iino, H. Fukumizu, K. Kurihara and H. Toyoda

Influence of Ion Incident Energy on Charge Accumulation at the Bottom of High Aspect Ratio Holes in Dual-Frequency Capacitively-Coupled Plasma 国際会議

Y. Akatsuka, H. Suzuki, M. Moriyama, K. Tamura, S. Kuboi, D. Iino, H. Fukumizu, K. Kurihara, and H. Toyoda

多方向視野像を用いた不均一プラズマ発光の再構築

鈴木陽香、泉涼太、久蔵学、豊田浩孝

2024年第85回応⽤物理学会秋季学術講演会

入射エネルギー及び入射角度可変プラズマ引き出し型イオンビーム源の開発

渡邉隆斗，鈴木陽香，豊田浩孝

令和6年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会

多視点画像を基にした不均一プラズマ分布の再構築

泉涼太, 久蔵学, 鈴木陽香, 豊田浩孝

令和6年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会

電荷重畳法によるトレンチ内のチャージングシミュレーション

菊池拓哉，鈴木陽香，豊田浩孝

令和6年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会

Angular distribution measurement of high-energy argon neutrals and ions incident on RF electrode of a capacitively-coupled plasma 招待有り国際会議

H. Toyoda, S. Kawamura, D.H. Kim, H. Suzuki, D. Iino, H. Fukumizu, K. Kurihara

二周波重畳容量結合型プラズマにおけるRF電極入射高エネルギー粒子の角度分布評価

市川景太、Chu Manh Hung、森山誠、鈴木陽香、飯野大輝、福水裕之、栗原一彰、豊田浩孝

第71回応用物理学会春期学術講演会 2024年3月22日公益社団法人応用物理学会

On-Off及びHigh-Low変調VHFプラズマ照射下のキャピラリープレート底部の電荷蓄積におけるデューティー比の影響

赤塚勇大，鈴木陽香，森山誠，飯野大輝，福水裕之，栗原一彰，豊田浩孝

第71回応用物理学会春期学術講演会 2024年3月25日公益社団法人応用物理学会

二周波重畳容量結合型プラズマにおけるイオン角度分布のエネルギー分解計測

川村隼也、金度漢、鈴木陽香、飯野大輝、福水裕之、栗原一彰、豊田浩孝

第71回応用物理学会春期学術講演会 2024年3月22日公益社団法人応用物理学会

高速ガス流を用いた弱減圧マイクロ波プラズマの絶縁破壊電力及び放電維持電力

中林賢二、小川泰那、鈴木陽香、豊田浩孝

第71回応用物理学会春期学術講演会 2024年3月24日公益社団法人応用物理学会

Swirl flow introduction for stabilized discharge in a liquid-flow plasma system 国際会議

Kengo Yunoki, Haruka Suzuki,2Kensuke Sasai, Suguru Masuzaki, Hiromi Hayashi,Takanori Murase,Sho Nakagawa,Yuto Yanagihara,Hirotaka Toyoda

16th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials/17th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2024/IC-PLANTS2024) 2024年3月4日

Ion composition in Ar/C₄F₈/O₂ pulsed capacitively-coupled plasma evaluated using ion production rates from time-resolved electron density measurements 国際会議

Haruhito Kato, Shuichi Kuboi, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

テレセントリックレンズを用いて撮影された画像からのプラズマ発光強度3次元空間分布の評価

鈴木陽香、原田健汰、久蔵学、豊田浩孝

第41回プラズマプロセシング研究会(SPP-41) 2024年1月25日公益社団法人応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会

On-OffおよびHigh-Low変調VHFプラズマにおけるキャピラリープレート底部の電荷蓄積挙動比較

赤塚勇大，鈴木陽香，森山誠，飯野大輝，福水裕之，栗原一彰，豊田浩孝

第41回プラズマプロセシング研究会(SPP-41) 2024年1月24日公益社団法人応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会

二周波重畳容量性結合型Arプラズマにおけるイオン角度分布のエネルギー分解計測

川村隼也、金度漢、鈴木陽香、飯野大輝、福水裕之、栗原一彰、豊田浩孝

第41回プラズマプロセシング研究会(SPP-41) 2024年1月24日公益社団法人応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会

多方向画像からの3次元プラズマ空間構造の評価

鈴木陽香、原田健汰、久蔵学、豊田浩孝

第40回プラズマ・核融合学会年会 2023年11月30日一般社団法人　プラズマ・核融合学会

気体流による減圧形成を応⽤した放電易化におけるノズル電極の構造検討

小川泰那、中林賢二、鈴木陽香、豊田浩孝

第40回プラズマ・核融合学会年会 2023年11月29日一般社団法人　プラズマ・核融合学会

Effect of collisions in a sheath on angular distributions of high-speed particles incident on an RF electrode from a dual-frequency capacitively-coupled plasma 国際会議

Shunya Kawamura, Haruka Suzuki, Daiki Iino, Hiroyuki Fukumizu, Kazuaki Kurihara, Hirotaka Toyoda

The 44th International Symposium on Dry Process (DPS2023) 2023年11月22日 44th International Symposium on Dry Process(DPS2023) Organizing Committee

Quantitative evaluation of ion composition in Ar/C₄F₈/O₂ pulsed capacitively-coupled plasma based on electron impact ionization rates 国際会議

Haruhito Kato , Yudai Akatsuka , Shuichi Kuboi , Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

The 44th International Symposium on Dry Process (DPS2023) 2023年11月22日 44th International Symposium on Dry Process(DPS2023) Organizing Committee

Influence of Ion Composition on High Aspect Ratio Etching　in Pulse-operated Ar/C₄F₈/O₂ DF-CCP 国際会議

Shuichi Kuboi, Yudai Akatsuka, Haruhito Kato, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

The 44th International Symposium on Dry Process (DPS2023) 2023年11月21日 44th International Symposium on Dry Process(DPS2023) Organizing Committee

高周波プラズマの生成制御とプロセス～減圧から大気圧まで～招待有り

鈴木陽香

第34回プラズマエレクトロニクス講習会 2023年11月17日公益社団法人応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会

Production and Application of High-density Microwave Plasma in Contact with Flowing Liquid 招待有り国際会議

Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

13th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2023) 2023年11月7日

気液プラズマの環境応用招待有り

鈴木陽香

グリーン・DXプラズマコンソーシアム2023年度実習 2023年10月27日

Ar/C₄F₈/O₂容量結合型パルスプラズマにおける放電開始直後の電離レートをもとにしたイオン組成の定量的評価

加藤閣⼈, ⾚塚勇⼤, 久保井宗⼀, 鈴⽊陽⾹, 豊⽥浩孝

第84回応⽤物理学会秋季学術講演会 2023年9月22日公益社団法人応用物理学会

高周波電極へ入射する高エネルギー粒子角度分布のイメージング計測

豊田浩孝、市川景太、チュマンフン、森山誠、鈴木陽香、飯野大輝、福水裕之、栗原一彰

第84回応⽤物理学会秋季学術講演会 2023年9月20日公益社団法人応用物理学会

複数視野像を⽤いたプラズマ3次元構造評価の試み

原⽥健汰, 久蔵学, 鈴⽊陽⾹, 豊⽥浩孝

第84回応⽤物理学会秋季学術講演会 2023年9月21日公益社団法人応用物理学会

流動液体プラズマ処理装置を⽤いたAgナノ粒⼦合成における⽣成性能評

柚⽊健吾, 鈴⽊陽⾹, 笹井建典, 豊⽥浩孝

第84回応⽤物理学会秋季学術講演会 2023年9月19日公益社団法人応用物理学会

二周波容量結合型Ar/C₄F₈/O₂パルスプラズマの電子密度時分解計測

赤塚勇大，加藤閣人，久保井宗一，鈴木陽香，豊田浩孝

令和5年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 2023年8月29日

高速ガス流を用いた弱減圧マイクロ波プラズマ生成にむけた減圧形成シミュレーション

中林賢二，小川泰那，鈴木陽香，豊田浩孝

令和5年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 2023年8月29日

Influence of pulse-off time on time-varying ion composition in a pulse-operated Ar/C₄F₈/O₂ dual-frequency capacitively coupled plasma 国際会議

Shuichi Kuboi, Haruhito Kato, Yuto Seki, Yudai Akatsuka, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

25th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC25) 2023年5月22日

旋回流による流動液体プラズマ処理装置の放電部の電極保護

柚木健吾, 鈴木陽香, 笹井建典, 増崎貴, 林浩己, 村瀬尊則, 中川翔, 柳原悠人, 豊田浩孝

第70回応用物理学会春期学術講演会 2023年3月18日

高速ガス流を用いた減圧形成によるマイクロ波放電の易化

小川泰那, 岩田悠揮, 鈴木陽香, 豊田浩孝

第70回応用物理学会春期学術講演会 2023年3月15日

二周波重畳容量結合型プラズマにおけるシース内衝突がRF電極入射粒子の角度分布に及ぼす影響

川村隼也, 市川景太, 鈴木陽香, 飯野大輝, 福水裕之, 栗原一彰, 豊田浩孝

第70回応用物理学会春期学術講演会 2023年3月17日

二周波容量結合型Ar/C₄F₈/O₂プラズマにおける電力変調方式がイオン組成に与える影響

加藤閣人, 赤塚勇大, 関悠斗, 久保井宗一, 鈴木陽香, 豊田浩孝

第70回応用物理学会春期学術講演会 2023年3月16日

Time dependent nanoparticle density measurement in a liquid-flow plasma process 国際会議

Kengo Yunoki, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai and Hirotaka Toyoda

15th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials/16th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2023/IC-PLANTS2023) 2023年3月7日

Microwave plasma production under air-flow-induced reduced pressure 国際会議

Taina Ogawa, Yuki Iwata, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

Power absorption of high negative pulse power to an electron cyclotron plasma 国際会議

Ikumi Hamaguchi, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

Imaging measurement of angular distribution of high-speed particles from a dual-frequency capacitively-coupled plasma incident on an RF electrode 国際会議

K. Ichikawa, H. Suzuki, D. Iino, H. Fukumizu, K. Kurihara, H. Toyoda

43rd International Symposium on Dry Process (DPS2022) 2022年11月25日

Time-resolved measurement of Ionic composition change in Pulse-modulated Ar/C₄F₈/O₂ DF-CCP 国際会議

Shuichi Kuboi, Haruhito Kato, Yuto Seki, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

43rd International Symposium on Dry Process (DPS2022) 2022年11月24日

Time-resolved measurement of ion composition in a dual-frequency capacitively-coupled pulsed plasma 国際会議

Y. Seki, H. Kato, S. Kuboi, H. Suzuki, and H. Toyoda

43rd International Symposium on Dry Process (DPS2022) 2022年11月25日

パルス変調二周波容量結合型Ar/C₄F₈/O₂プラズマにおけるイオン組成変化の時間分解測定

鈴木陽香, 関悠斗, 加藤閣人, 久保井宗一, 豊田浩孝

第39回プラズマ・核融合学会年会 2022年11月22日

Continuous liquid treatment by high-density microwave plasma in flowing liquid 国際会議

Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

11th International conference on reactive plasmas/2022 Gaseous Electronics Conference (ICRP-11/GEC2022) 2022年10月6日

Plasma Density Enhancement of an Electron Cyclotron Resonance Plasma with Pulse-biased stage 国際会議

Ikumi Hamaguchi, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

11th International conference on reactive plasmas/2022 Gaseous Electronics Conference (ICRP-11/GEC2022) 2022年10月5日

Time-dependent Measurement of Ion Composition in Pulse-operated Ar/C₄F₈/O₂ Dual-frequency Capacitively-Coupled Plasma 国際会議

Yuto Seki, Haruhito Kato, Shuichi Kuboi, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

11th International conference on reactive plasmas/2022 Gaseous Electronics Conference (ICRP-11/GEC2022) 2022年10月4日

Hydrogen accumulation and surface bubbling of liquidized Sn-Bi-Li-Er alloy under hydrogen plasma exposure 国際会議

Kota Tamura, Haruka Suzuki, Junichi Miyazawa, Suguru Masuzaki, Masayuki Tokitani and Hirotaka Toyoda

11th International conference on reactive plasmas/2022 Gaseous Electronics Conference (ICRP-11/GEC2022) 2022年10月6日

二周波容量結合型Ar/C₄F₈/O₂プラズマのパルス運転がイオン組成に及ぼす影響

関悠斗, 加藤閣人, 久保井宗一, 鈴木陽香, 豊田浩孝

第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022年9月22日

化学プローブを用いた長尺大気圧プラズマ生成活性ラジカルの可視化

松浦寛人, トラントラングエン, 胡敏, 仲野匠, 岩田悠揮, 鈴木陽香, 豊田浩孝

第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022年9月20日

周波重畳容量結合型プラズマからRF電極へ入射する高速粒子入射角度分布のイメージング計測

市川景太, 鈴木陽香, 飯野大輝, 福水裕之, 栗原一彰, 豊田浩孝

第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022年9月22日

プラズマの生成と制御招待有り

鈴木陽香

第16回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール 2022年9月11日公益社団法人応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会

二周波容量結合型Ar/C₄F₈/O₂パルスプラズマ中のイオン時分解計測

加藤閣人, 関悠斗, 久保井宗一, 鈴木陽香, 豊田浩孝

令和4年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 2022年8月29日

二周波重畳容量結合型プラズマから電極へ入射する高速粒子のイメージング法を用いた角度分布計測

市川景太, 鈴木陽香, 豊田浩孝

第69回応用物理学会春期学術講演会 2022年3月25日応用物理学会

水シールド環境下でのマイクロ波励起水蒸気プラズマの生成と応用

鈴木陽香, 豊田浩孝

第69回応用物理学会春期学術講演会 2022年3月23日応用物理学会

質量分析法を用いた二周波容量結合型 Ar/C₄F₈/O₂パルスプラズマ中イオンの時分解計測

市関悠斗、加藤閣人、久保井宗一、鈴木陽香、豊田浩孝

第69回応用物理学会春期学術講演会 2022年3月25日応用物理学会

Ar/O₂大気圧マイクロ波プラズマにより処理したポリイミドフィルムの表面分析

岩田悠揮，小笠原知裕，鈴木陽香，豊田浩孝

第69回応用物理学会春期学術講演会 2022年3月26日応用物理学会

電子サイクロトロン共鳴プラズマ中の基板ステージへの負パルスバイアス電圧印加によるプラズマ密度増加

濱口育未，ベハンシン，笹井建典, 鈴木陽香，豊田浩孝

第69回応用物理学会春期学術講演会 2022年3月22日応用物理学会

Angular distribution of high-energy Ar ion and neutral in a 13.56 MHz capacitively-coupled plasma 国際会議

Keita Ichikawa, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

14th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials/15th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2022/IC-PLANTS2022) 2022年3月9日

RF Voltage Division of in RF-biased High-density Plasma with Floating Liner 国際会議

Yukinori Chiba, Manabu Kyuzo, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

Radical measurements of Ar/C₄F₈ dual frequency capacitively-coupled plasma 国際会議

Yuto Seki, Haruhito Kato, Schuichi Kuboi, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

Bubbling Phenomenon of Sn-Bi-Li-Er Alloy under H2 Plasma Exposure 国際会議

Kota Tamura, Haruka Suzuki, Junichi Miyazawa, Suguru Masuzaki, Masayuki Tokitani, Hirotaka Toyoda

O Radical Measurement of Ar/O₂ Microwave Plasma in Atmospheric Pressur 国際会議

Yuki Iwata, Tomohiro Ogasawara, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

Plasma density increase of electron cyclotron resonance plasma by high voltage pulse power application 国際会議

Ikumi Hamaguchi, Hansin Bae, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

高電圧バイアス印加Ar/C₆H₆ECRプラズマを用いた導電性炭素膜堆積における磁場構造の影響

濱口育未，ベハンシン, 笹井建典, 鈴木陽香，豊田浩孝

第39回プラズマプロセシング研究会/第24回プラズマ材料科学シンポジウム 2022年1月25日

水素プラズマ照射下におけるスズ-ビスマス-リチウム-エルビウム溶融合金の発泡現象

田村晃汰，鈴木陽香，宮澤順一，増崎貴，時谷政行，豊田浩孝

第39回プラズマプロセシング研究会/第24回プラズマ材料科学シンポジウム 2022年1月25日

真空紫外原子吸光分光法による大気圧マイクロ波Ar/O₂プラズマのO原子密度計測

岩田悠揮，小笠原知裕，鈴木陽香，堤隆嘉，堀勝，豊田浩孝

第39回プラズマプロセシング研究会/第24回プラズマ材料科学シンポジウム 2022年1月24日

容量結合型プラズマにおける電極入射高速粒子角度分布のイメージング計測

市川景太，チュマンフン，森山誠，中原尚哉，鈴木陽香，豊田浩孝

第39回プラズマプロセシング研究会/第24回プラズマ材料科学シンポジウム 2022年1月25日

超高周波容量結合型Ar/C₄F₈/O₂プラズマにおけるイオンおよび中性ラジカル種の測定

関悠斗，加藤閣人，久保井宗一，鈴木陽香，豊田浩孝

第39回プラズマプロセシング研究会/第24回プラズマ材料科学シンポジウム 2022年1月24日

大気圧長尺マイクロ波プラズマの連続・離散構造変化

豊田浩孝、鈴木陽香

「原子分子過程研究の最先端と先進的プラズマ分光計測」「原子分子データ応用フォーラムセミナー」合同研究会 2021年12月24日核融合科学研究所

Conductive carbon film deposition by microwave plasma with high voltage biasing 国際会議

Ikumi Hamaguchi, Hansin Bae, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

Material Research Meeting 2021 (MRM2021) 2021年12月16日

High-performance Ag nanoparticle production by novel liquid-flow plasma treatment device 国際会議

Kazuya Yamaguchi, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

Material Research Meeting 2021 (MRM2021) 2021年12月14日

Influence of metal exposure on the plasma potential in RF-biased high-density plasma with floating liner 国際会議

Yukinori Chiba, Manabu Kyuzo, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

The 12th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology(APSPT-12) 2021年12月9日

Spatial distribution measurement of atomic oxygen from atmospheric-pressure microwave line plasma by atomic absorption spectroscopy 国際会議

Tomohiro Ogasawara, Yuki Iwata, Haruka Suzuki, Takayoshi Tsutsumi, Masaru Hori, Hirotaka Toyoda

The 12th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology(APSPT-12) 2021年12月10日

パルスマイクロ波励起大気圧長尺酸素添加アルゴンプラズマ源の性能評価

小笠原知裕、岩田悠揮、鈴木陽香、豊田浩孝

第38回プラズマ・核融合学会年会 2021年11月22日プラズマ・核融合学会

高密度表面波プラズマを用いた銀ナノ粒子の溶融

疋田和也，笹井健典，鈴木陽香，豊田浩孝

第38回プラズマ・核融合学会年会 2021年11月22日プラズマ・核融合学会

水素プラズマ照射下でのスズおよびスズ合金からのスパッタリング計測

田村晃汰，鈴木陽香，宮澤順一，増崎貴，時谷政行，豊田浩孝

第38回プラズマ・核融合学会年会 2021年11月22日プラズマ・核融合学会

High Speed sp₂-rich Carbon Film Deposition with Surface-wave Microwave Plasma 国際会議

Hansin Bae, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai, Hirotaka Toyoda

42nd International Symposium Dry Process (DPS2021) 2021年11月19日

Influence of small grounded surface on plasma property in an inductively-coupled plasma with floating liner 国際会議

Manabu Kyuzo, Yukinori Chiba, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

42nd International Symposium Dry Process (DPS2021) 2021年11月19日

Investigation of Ar/O₂ atmospheric-pressure microwave line plasma and its application to Polyimide film ashing 国際会議

Haruka Suzuki, Tomohiro Ogasawara, Yuki Iwata, Hirotaka Toyoda

42nd International Symposium Dry Process (DPS2021) 2021年11月18日

Sputtering Behavior of Sn and Sn-based Alloy Under Hydrogen Plasma Exposure 国際会議

Kota Tamura, Haruka Suzuki, Junichi Miyazawa, Suguru Masuzaki, Masayuki Tokitani, Hirotaka Toyoda

The 30th International Toki Conference on Plasma and Fusion Research 2021年11月18日

Microwave application to liquid process in reduced pressure environment 国際会議

Hirotaka Toyoda, Kazuya Yamaguchi, Kengo Yunoki, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai

Workshop Japan-RUB 2021Bridging the Pandemic: Reigniting Cooperation on Plasma Research 2021年10月29日

Oxygen radical measurement in Ar/O₂ atmospheric pressure microwave line plasma 国際会議

Yuki Iwata, Tomohiro Ogasawara, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

Workshop Japan-RUB 2021Bridging the Pandemic: Reigniting Cooperation on Plasma Research 2021年11月25日

Conductive carbon deposition by surface wave plasma with high voltage pulse biasing 国際会議

Ikumi Hamaguchi, Hansin Bae, Haruka Suzuki,Kensuke Sasai, Hirotaka Toyoda

Workshop Japan-RUB 2021Bridging the Pandemic: Reigniting Cooperation on Plasma Research 2021年11月25日

Evaluation of charge density at hole bottom of capillary plates in a pulsed dual-frequency capacitively coupled plasma 国際会議

Haruka Suzuki, Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Hirotaka Toyoda

The 74th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC2021) 2021年10月7日

Highly conductive carbon film deposition by DC and microwave power superposition 国際会議

Hansin Bae, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

The 74th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC2021) 2021年10月5日

Fast and massive synthesis of silver nanoparticle by a liquid-flow plasma source using AgNO₃ solution 国際会議

Haruka Suzuki, Kazuya Yamaguchi, Kensuke Sasai, Hirotaka Toyoda

The 74th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC2021) 2021年10月5日

Time-resolved Measurement of Charge Density at the Bottom of High-aspect-ratio Holes in a Pulsed Capacitively Coupled Plasma 招待有り国際会議

H. Suzuki, M. Moriyama, N. Nakahara, K. Ichikawa, and H. Toyoda

5th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics (AAPPS-DPP2021) 2021年9月28日

Large Area Ashing Treatment of Polyimide Film by Atmospheric pressure Pulsed Microwave Line Plasma with Ar/O₂ 国際会議

T. Ogasawara, Y. Iwata, H. Suzuki, and H. Toyoda

5th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics (AAPPS-DPP2021) 2021年9月26日

流動液体プラズマ処理装置を用いたAgナノ粒子の長時間安定合成

山口和也, 鈴木陽香, 笹井建典, 豊田浩孝

第82回応用物理学会秋季学術講演会 2021年9月22日応用物理学会

ECRプラマを用いた高伝導性カーボン薄膜成膜, 第82回応用物理学会秋季学術講演会

Bae Hansin, 濱口育未, 鈴木陽香, 笹井建典, 豊田浩孝

第82回応用物理学会秋季学術講演会 2021年9月12日応用物理学会

大気圧長尺マイクロ波ラインプラズマによる広幅高速アッシング処理

岩田悠揮, 小笠原知裕, 鈴木陽香, 豊田浩孝

令和3年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 2021年9月7日電気学会東海支部

イメージング法による容量結合型プラズマから電極へ入射する高速粒子の角度分布計測

市川景太, 鈴木陽香, 豊田浩孝

令和3年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 2021年9月7日電気学会東海支部

二周波容量結合型フルオロカーボンプラズマ中のラジカル計測

関悠斗, 久保井宗一, 鈴木陽香, 豊田浩孝

令和3年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 2021年9月7日電気学会東海支部

表面波プラズマを用いた高導電性炭素膜の高速堆積

濱口育未, Bae Hansin, 笹井建典, 鈴木陽香, 豊田浩孝

令和3年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 2021年9月7日電気学会東海支部

表面波プラズマによるグラファイトライクカーボン膜の高速成膜

BAE Hansin, 疋田和也, 鈴木陽香, 笹井建典, 豊田浩孝

第68回応用物理学会春季学術講演会 2021年3月18日

液温制御による流動液体プラズマ処理装置の長時間安定運転と Ag ナノ粒子合成

山口和也, 鈴木丈, 鈴木陽香, 笹井建典, 豊田浩孝

第68回応用物理学会春季学術講演会 2021年3月19日

パルスマイクロ波励起大気圧酸素添加アルゴンプラズマによる広幅アッシング処理

小笠原知裕, 岩田悠揮, 鈴木陽香, 豊田浩孝

第68回応用物理学会春季学術講演会 2021年3月18日

絶縁ライナー付誘導結合型プラズマへの微小接地電極挿入におけるプラズマ変動

千葉行徳, 久蔵学, 鈴木陽香, 豊田浩孝

第68回応用物理学会春季学術講演会 2021年3月19日

Wide-area and High-speed Deposition of Graphitic Film by Microwave Surface Wave Plasma with High Power Pulse 国際会議

Hansin Bae, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai, and Hirotaka Toyoda

13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/14th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 2021年3月9日

Deuterium Depth Profile of Plasma-Exposed Solid/Liquid Tin 国際会議

Kota Tamura, Haruka Suzuki, Suguru Masuzaki, Masayuki Tokitani, Junichi Miyazawa, Hirotaka Toyoda

13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/14th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 2021年3月8日

Time-dependent Measurement of Charge Density at Bottom of High-aspect Hole in a Capacitively-coupled Plasma 国際会議

Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Keita Ichikawa, Manh Hung Chu, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/14th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 2021年3月8日

Ashing Treatment of Polyimide Film by Atmospheric-pressure Microwave LinePlasma with Ar/O₂ 国際会議

Haruka Suzuki, Tomohiro Ogasawara, Yuki Iwata, and Hirotaka Toyoda

13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/14th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 2021年3月8日

Effect of grounded electrode on plasma propety in ICP with floating liner 国際会議

Manabu Kyuzo, Yukinori Chiba, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/14th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science 2021年3月8日

パルス変調容量結合プラズマにおける高アスペクト比ホール中蓄積電荷の時間変化

森山誠, 中原尚哉, 市川景太, Chu Manh Hung, 鈴木陽香, 豊田浩孝

第38回プラズマプロセシング研究会 2021年1月29日

表面波プラズマを用いたグラファイト様炭素膜の大面積高速堆積

ベハンシン, 鈴木陽香, 笹井建典, 豊田浩孝

第38回プラズマプロセシング研究会 2021年1月29日

重水素プラズマ照射スズ中における重水素の深さ分布測定

田村晃汰, 鈴木陽香, 増崎貴, 時谷政行, 宮澤順一, 豊田浩孝

プラズマ・核融合学会　第37回年会 2020年12月2日

大気圧マイクロ波プラズマの大面積かつ高速表面処理への応用

鈴木陽香, 小笠原知裕, Chu Manh Hung, 岩田悠揮, 豊田浩孝

プラズマ・核融合学会　第37回年会 2020年12月3日

High speed and wide area conductive carbon film deposition by surface-wave plasma

H.Bae, K.Hikita, H.Suzuki, K.Sasai, H.Toyoda

プラズマ・核融合学会　第37回年会 2020年12月3日

パルスマイクロ波励起大気圧酸素添加アルゴンプラズマによる樹脂材料表面処理

小笠原知裕, 鈴木陽香, 豊田浩孝

プラズマ・核融合学会　第37回年会 2020年12月2日

パルス変調二周波重畳容量結合型プラズマにおけるキャピラリープレート下部の電荷密度評価

中原尚哉, 森山誠, 鈴木陽香, 豊田浩孝

プラズマ・核融合学会　第37回年会 2020年12月2日

Quantitative Evaluation of Hydrogen Retention of Solid and Liquid Tin by Thermal Desorption Spectroscopy 国際会議

Kota TAMURA1, Haruka SUZUKI1, Junichi MIYAZAWA2, Suguru MASUZAKI2, Hirotaka TOYODA1;2 1. Nagoya University 2. National Institute for Fusion Science

The 29th International Toki Conference on Plasma and Fusion Research 2020年10月28日

Evaluation of absolute charge density at the bottom of hole pattern using high aspect ratio capillary plate 国際会議

Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

The 73rd Annual Gaseous Electronics Conference 2020年10月7日

Film Surface Treatment with O₂/Ar Line Plasma under Atmospheric Pressure 国際会議

Haruka Suzuki, Hirotsugu Koma, Tomohiro Ogasawara, Manh Hung Chu, Hirotaka Toyoda

The 73rd Annual Gaseous Electronics Conference 2020年10月6日

パルス変調容量結合型プラズマにおけるキャピラリープレート下部の電荷密度変化

中原尚哉, 森山誠, 鈴木陽香, 豊田浩孝

第81回応用物理学会秋季学術講演会 2020年9月11日

パルス変調容量結合型プラズマにおけるキャピラリープレート下部の電荷密度の時分解計測

中原尚哉, 森山誠, 鈴木陽香, 豊田浩孝

令和2年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 2020年9月3日

誘導型結合プラズマ中の銀粒子挙動

疋田和也, べハンシン, 鈴木陽香, 笹井建典, 豊田浩孝

令和2年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 2020年9月4日

大気圧長尺マイクロ波ラインプラズマによる表面親水化処理

小笠原知裕, 小間浩嗣, 鈴木陽香, 豊田浩孝

令和2年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 2020年9月4日

パルス変調容量結合プラズマにおけるキャピラリープレート近傍のャージ量絶対評価

森山誠，中原尚哉，三矢晶洋，鈴木陽香，豊田浩孝

第67回応用物理学会春季学術講演会

アルカリ剤を用いたプラズマ合成 Agナノ粒子の再溶解抑制

鈴木丈, 鈴木陽香，豊田浩孝

第67回応用物理学会春季学術講演会

Heat flux evaluation of the atmospheric pressure microwave line plasma from spatio-temporal temperature measurement of the slot-plate

The 67th JSAP Spring Meeting

容量結合型プラズマ中におけるキャピラリープレート上部電位の推定

中原尚哉, 森山誠, 三矢晶洋, 鈴木陽香，豊田浩孝

第67回応用物理学会春季学術講演会

Temperature measurement of slot-plate in an atmospheric-pressure microwave linear plasma 国際会議

Manh Hung Chu, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

12th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/13th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science

Electromagnetic Analysis in a Long-scale Slot Plasma Excited by Microwave Travelling Wave 国際会議

Hirotsugu Koma, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

12th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/13th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science

Synthesis of silver nanoparticles by in line liquid process using microwave plasma source 国際会議

Jyo Suzuki, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai, Hirotaka Toyoda

12th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/13th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science

Quantitative Evaluation of Hydrogen Retention in Metal Tin using Thermal Desorption Spectroscopy 国際会議

Kota Tamura, Haruka Suzuki Junichi Miyazawa and Hirotaka Toyoda

12th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/13th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science

Spatial characteristics analysis of atmospheric pressure microwave plasma with FEM simulation 国際会議

Yoshiki Baba, Makoto Moriyama, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

12th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/13th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science

容量結合プラズマ中に設置されたエッチングホール模擬用キャピラリープレートの電位構造解析

森⼭誠, 中原尚哉, 三⽮晶洋, 鈴⽊陽⾹, 豊⽥浩孝

プラズマ・核融合学会　第36回年会

核融合炉ダイバー応用へ向けたスズの水素吸蔵量定量評価

田村晃汰，鈴木陽香，宮澤順一，豊田浩孝

プラズマ・核融合学会　第36回年会

potential structure of high-aspect-ratio capillary hole in a pulsed-VHF capactive coupled plasma 国際会議

M. Moriyama, A. Mitsuya, N. Nakahara, H. Suzuki, H. Toyoda

2019 International Symposium on DryProcess

Microscopic observation of an atmospheric-pressure microwave plasma produced in a meter-scale slot with sub-millimeter gap 国際会議

H. Toyoda, H. Koma, Y. Baba, M. Chu, H. Bae, H. Suzuki

The 72nd Annual Gaseous Electronics Conference

Space-resolved oxygen radical measurement of atmospheric pressure microwave line plasma using vacuum ultraviolet absorption spectroscopy 国際会議

H. Bae, H. Koma, H. Suzuki, H. Toyoda

The 72nd Annual Gaseous Electronics Conference

表面波プラズマ生成アンテナへのDCパルス電圧印加時における絶縁表面電位の時間変化

福田奨, 鈴木陽香, 村田祐也, 山本兼司, 豊田浩孝

第80回応用物理学会秋季学術講演会

パルスマイクロ波励起大気圧長尺スロットプラズマの時分解計測

チューマンフン，鈴木陽香，豊田浩孝

第80回応用物理学会秋季学術講演会

二周波重畳容量結合型プラズマ装置におけるファラデーカップを用いたイオンエネルギー分布の計測

三矢晶洋, 森山誠, 中原尚哉, 鈴木陽香, 豊田浩孝

第80回応用物理学会秋季学術講演会

電磁界シミュレーションによる進行波を用いた長尺スロットプラズマ内における電磁界分布の検討

小間浩嗣, 鈴木陽香, 豊田浩孝

第80回応用物理学会秋季学術講演会

⼆周波重畳容量結合型プラズマにおけるキャピラリープレート内の電位構造解析

森⼭誠, 三⽮晶洋, 中原尚哉, 鈴⽊陽⾹, 豊⽥浩孝

第80回応用物理学会秋季学術講演会

大気圧下におけるスロット励起マイクロ波O₂/Arプラズマの断面空間構造の空間分解観測

馬場賀己, 鈴木陽香, 豊田浩孝

第80回応用物理学会秋季学術講演会

二周波重畳容量結合型プラズマにおけるキャピラリープレート内の電位構造解析

中原尚哉, 森山誠，三矢晶洋，鈴木陽香，豊田浩孝, 栗原一彰，飯野大輝，福水裕之，林久貴，鈴木啓之

令和元年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会

High Speed Synthesis of Nanoparticles in Liquid Environment by In-Line Type Plasma Device

表面波プラズマ生成アンテナへのDC パルス電圧印可時における絶縁膜表面電位の考察

福田奨，鈴木陽香，村田祐也，山本兼司，豊田浩孝

令和元年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会

昇温脱離法を用いた固体スズ中の水素吸蔵量評価

田村晃汰，鈴木陽香，宮澤順一，豊田浩孝

令和元年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会

大気圧マイクロ波プラズマにおけるギャップ内ガス温度の空間分解計測

馬場賀己，鈴木陽香，豊田浩孝

令和元年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会

二周波重畳容量結合型プラズマ装置におけるファラデーカップを用いたイオンエネルギー分布の測定解析

三矢晶洋，森山誠，中原尚哉, 鈴木陽香, 豊田浩孝

令和元年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会

Oxygen Radical Flux Measurement of Atmospheric Pressure Microwave Line Plasma 国際会議

H. Bae, Y. Koike, H. Koma, H. Suzuki, H. Toyoda

AEPSE2019

Potential Control of Surface Wave Excited Plasma by Pulsed DC Voltage Applied to Plasma-Immersed Waveguide 国際会議

S. Fukuda, K. Udagawa, H. Suzuki, Y. Tauchi, H. Toyoda

XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG)

Measurement of ion energy in dual-frequency capacitive coupled plasma 国際会議

M. Moriyama, A. Mitsuya, N. Nakahara, H. Suzuki, H. Toyoda

XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG)

Large-area surface treatment using microwave plasma excited in meter-length slot with sub-millimeter gap 国際会議

Haruka Suzuki, Hirotsugu Koma, Manh Hung Chu, Hansin Bae, Yoshiki Baba, Hirotaka Toyoda

The 10th of International Workshop on Microplasmas (IWM-10)

Time-resolved microscopic measurement of slot excited atmospheric pressure microwave plasma 国際会議

Yoshiki Baba, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

The 10th of International Workshop on Microplasmas (IWM-10)

Development of Microwave Remote Plasma Source for New Surface Functionalization 国際会議

T. Okimoto, Yoshiyuki Isomura, Y. Ikari, Y. Tauchi, K. Nishiyama, Japan H. Toyoda, H. Suzuki

International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films(ICMCTF 2019)

Time-resolved Measurement of Cross-Sectional Structure of a Narrow Gap Plasma Produced by an Atmospheric Pressure Microwave Discharge 国際会議

Yoshiki Baba, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda