講演・口頭発表等 - 鈴木 陽香
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[第3回ダイバーシティ＆インクルージョン賞 女性研究者研究奨励賞 受賞記念講演] 高周波放電を用いた大気圧高密度プラズマ源の開発と応用に関する研究 招待有り
鈴木 陽香
2025年第72回応用物理学会春季学術講演会 公益社団法人応用物理学会
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Time-resolved measurement of ion composition in a pulse modulated Ar/C4F8/O2 dual- frequency capacitively coupled plasma using mass spectrometry 招待有り 国際会議
Haruka Suzuki, Shuichi Kuboi, Haruhito Kato, Yuto Seki, Yudai Akatsuka, Hirotaka Toyoda
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二周波重畳容量結合型プラズマの電極への正パルス電圧印加が高アスペクト比ホール底部の電荷蓄積に与える影響
菊池 拓哉，赤塚 勇大, 鈴木 陽香，森山 誠，田村 晃汰, 久保井 宗一, 飯野 大輝，福水 裕之，栗原 一彰，豊田 浩孝
2025年第72回応用物理学会春季学術講演会 公益社団法人応用物理学会
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プラズマ空間分布再構築における電極間⽅向の⾼分解能化
泉 涼太, 鈴⽊ 陽⾹, 豊⽥ 浩孝
2025年第72回応用物理学会春季学術講演会 公益社団法人応用物理学会
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機械学習を用いたAr イオンビームプロファイルの解析
金 度漢，川村 隼也，内藤 真誉，鈴木 陽香，飯野 大輝，福水 裕之，栗原 一彰，豊田 浩孝
2025年第72回応用物理学会春季学術講演会 公益社団法人応用物理学会
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二周波容量結合型Ar/Kr プラズマにおける質量およびエネルギー分解イオン角度分布の計測
内藤 真誉, 川村 隼也，Kim Dohan,藤谷 航大, 鈴木 陽香, 飯野 大輝，福水 裕之，栗原 一彰，豊田 浩孝
2025年第72回応用物理学会春季学術講演会 公益社団法人応用物理学会
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Reconstruction of three-dimensional plasma emission structure based on multi-view images 国際会議
Ryota Izumi, Manabu Kyuzo, Hayato Yoshikawa, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
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Influence of air-exposure on surface composition of plasma-exposed polyethylene terephthalate film 国際会議
Tomoya Murase, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
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流動液体マイクロ波プラズマを用いた高効率銀ナノ粒子合成プロセス
高辻乃輔、柚木健吾、鈴木陽香、笹井建典、豊田浩孝
第42回プラズマプロセシング研究会(SPP-42)
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入射角可変型高エネルギーイオン照射装置の開発
渡邉 隆斗，鈴木陽香，豊田浩孝
第42回プラズマプロセシング研究会(SPP-42)
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電荷重畳法を用いたトレンチチャージングシミュレーション
菊池 拓哉，鈴木陽香，豊田浩孝
第42回プラズマプロセシング研究会(SPP-42)
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電荷重畳法による高アスペクト比ホールのチャージングシミュレーション 国際会議
菊池 拓哉,鈴木 陽香,豊田 浩孝
第34回日本MRS年次大会
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多視点画像を⽤いたプラズマの3次元構造解析
泉 涼太, 鈴⽊ 陽⾹, 藤井 俊彰, 豊⽥ 浩孝
第41回年会プラズマ核融合学会
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Energy-resolved measurement of ion angular distribution in dual-frequency capacitively-coupled Ar plasma incident on an RF electrode 国際会議
S. Kawamura, M. Naito, D. Kim, H. Suzuki, D. Iino, H. Fukumizu, K. Kurihara and H. Toyoda
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Influence of Ion Incident Energy on Charge Accumulation at the Bottom of High Aspect Ratio Holes in Dual-Frequency Capacitively-Coupled Plasma 国際会議
Y. Akatsuka, H. Suzuki, M. Moriyama, K. Tamura, S. Kuboi, D. Iino, H. Fukumizu, K. Kurihara, and H. Toyoda
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多方向視野像を用いた不均一プラズマ発光の再構築
鈴木 陽香、泉 涼太、久蔵 学、豊田 浩孝
2024年 第85回応⽤物理学会秋季学術講演会
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入射エネルギー及び入射角度可変プラズマ引き出し型イオンビーム源の開発
渡邉 隆斗 ，鈴木 陽香，豊田 浩孝
令和6年度電気・電子・情報関係学会 東海支部連合大会
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多視点画像を基にした不均一プラズマ分布の再構築
泉 涼太, 久蔵 学, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
令和6年度電気・電子・情報関係学会 東海支部連合大会
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電荷重畳法によるトレンチ内のチャージングシミュレーション
菊池 拓哉，鈴木 陽香，豊田 浩孝
令和6年度電気・電子・情報関係学会 東海支部連合大会
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Angular distribution measurement of high-energy argon neutrals and ions incident on RF electrode of a capacitively-coupled plasma 招待有り 国際会議
H. Toyoda, S. Kawamura, D.H. Kim, H. Suzuki, D. Iino, H. Fukumizu, K. Kurihara