講演・口頭発表等 - 鈴木 陽香
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改良導波管および連続発振マイクロ波電力によるメートル級長尺大気圧ラインプラズマの効率的生成
鈴木陽香, 田村宥人, 猪俣弥雄起, 伊藤仁, 関根誠, 堀勝, 豊田浩孝
第３４回 プラズマプロセシング研究会/第２９回 プラズマ材料科学シンポジウム
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インラインマイクロ波プラズマ処理の高流速化による有機物分解効率の向上
堤 和紀, 滝藤 奨, 藤村 昇平, 伊藤 美智子, 高島 成剛, 鈴木 陽香, 豊田浩孝
第34回プラズマプロセシング研究会／第29回プラズマ材料科学シンポジウム（合同会議）
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ITOターゲットを用いたVHF重畳DCマグネトロンプラズマにおける熱フラックスの空間分布
Bae Hansin, 巣山 拓, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
第34回プラズマプロセシング研究会／第29回プラズマ材料科学シンポジウム（合同会議）
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長尺ラインプラズマ生成のための改良型導波管の電磁界シミュレーション
堤 和紀, 滝藤 奨, 藤村 昇平, 伊藤 美智子, 高島 成剛, 鈴木 陽香, 豊田浩孝
第34回プラズマプロセシング研究会／第29回プラズマ材料科学シンポジウム（合同会議）
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マグネトロンプラズマ中の高エネルギー負イオンフラックス評価
豊田 浩孝, 巣山 拓, Bae Hansin, 鈴木 陽香
プラズマ・核融合学第33回会年会
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Plasma-enhanced chemical vapor deposition of SiO2 films by slot type microwave plasma with O2/TEOS 国際会議
Haruka Suzuki, Masaki Yamamoto, Hirotaka Toyoda
38th International Symposium on Dry Process
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Evaluation of O- Ion Flux in a VHF-DC Magnetron Plasma under ITO Sputtering Process 国際会議
Haruka Suzuki, Masaki Yamamoto, and Hirotaka Toyoda
38th International Symposium on Dry Process
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100% N2 atmospheric-pressure microwave-line-plasma production with a modi ed waveguide structure 国際会議
69th Annual Gaseous Electronics Conference
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High speed deposition of SiO2 lm by slot-type microwave CVD system 国際会議
Hirotaka Toyoda, Masaki Yamamoto, Haruka Suzuki
69th Annual Gaseous Electronics Conference
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Improvement of Liquid Treatment Efficiency using Microwave In-Line Plasma System with Narrow Flow Path 国際会議
Haruka Suzuki, Sho Takitou, Hirotaka Toyoda
The 6th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP2016)
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改良型導波管構造によるマイクロ波励起純窒素大気圧ラインプラズマの生成
鈴木陽香, 田村宥人, 伊藤仁, 関根誠, 堀勝, 豊田浩孝
第77回応用物理学会秋季学術講演会
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ITOマグネトロンスパッタにおける酸素負イオンフラックス評価
巣山 拓, Bae Hansin, 瀬高 健太, 笹井 建典, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
第77回応用物理学会秋季学術講演会
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O2/TEOS スロット型マイクロ波プラズマCVD によるSiO2膜形成
山本 匡毅, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
第77回応用物理学会秋季学術講演会
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窒素ガスを用いたマイクロ波大気圧ラインプラズマの生成
田村 宥人, 鈴木 陽香, 伊藤 仁, 関根 誠, 堀 勝, 豊田 浩孝
平成28年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
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Evaluation of O- Ion Flux in VHF-DC Magnetron Sputtering
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High-Speed-Camera Observation of Plasma Behavior in Atmospheric-Pressure Microwave Line Plasma 国際会議
7th International Workshop on Plasma Spectroscopy (IPS 2016)
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Two-Dimensional Atomic Absorption Spectroscopy of Plasma-Stimulated Zn Atom Desorption from ZnSO4 Solution 国際会議
Hirotaka Toyoda, Takafumi Takaba, Haruka Suzuki
7th International Workshop on Plasma Spectroscopy (IPS2016)
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スロット内生成マイクロ波プラズマを用いた高速プラズマCVD
山本 匡毅, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
第63回応用物理学会春季学術講演会
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Low Pressure Sustainment of Surface-Wave Microwave Plasma with Modified Microwave Coupler (MMC-SWP) 国際会議
Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
8th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma)/9th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (IC-PLANTS)
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大気圧マイクロ波放電による長尺ラインプラズマの生成と基礎特性
鈴木 陽香, 中野 優, 伊藤 仁, 関根 誠, 堀 勝, 豊田 浩孝
第32回プラズマ・核融合学会年会