講演・口頭発表等 - 鈴木　陽香

流動液体プラズマ処理装置を⽤いたAgナノ粒⼦合成における⽣成性能評

柚⽊ 健吾, 鈴⽊ 陽⾹, 笹井 建典, 豊⽥ 浩孝

第84回応⽤物理学会秋季学術講演会  2023年9月19日  公益社団法人 応用物理学会

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開催年月日： 2023年9月

記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

開催地：熊本城ホール  

二周波容量結合型Ar/C₄F₈/O₂パルスプラズマの電子密度時分解計測

赤塚勇大，加藤閣人，久保井宗一，鈴木陽香，豊田浩孝

令和5年度電気・電子・情報関係学会 東海支部連合大会  2023年8月29日 

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開催年月日： 2023年8月

記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

開催地：豊橋技術科学大学  

高速ガス流を用いた弱減圧マイクロ波プラズマ生成にむけた減圧形成シミュレーション

中林 賢二，小川 泰那，鈴木 陽香 ，豊田 浩孝

令和5年度電気・電子・情報関係学会 東海支部連合大会  2023年8月29日 

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開催年月日： 2023年8月

記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

開催地：豊橋技術科学大学  

Influence of pulse-off time on time-varying ion composition in a pulse-operated Ar/C₄F₈/O₂ dual-frequency capacitively coupled plasma 国際会議

Shuichi Kuboi, Haruhito Kato, Yuto Seki, Yudai Akatsuka, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

25th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC25)  2023年5月22日 

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開催年月日： 2023年5月

記述言語：英語   会議種別：ポスター発表  

開催地：Miyako Messe, Kyoto  

旋回流による流動液体プラズマ処理装置の放電部の電極保護

柚木 健吾, 鈴木 陽香, 笹井 建典, 増崎 貴, 林 浩己, 村瀬 尊則, 中川 翔, 柳原 悠人, 豊田 浩孝

第70回応用物理学会春期学術講演会  2023年3月18日 

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開催年月日： 2023年3月

記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

国名：日本国  

高速ガス流を用いた減圧形成によるマイクロ波放電の易化

小川 泰那, 岩田 悠揮, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

第70回応用物理学会春期学術講演会  2023年3月15日 

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開催年月日： 2023年3月

記述言語：日本語   会議種別：ポスター発表  

国名：日本国  

二周波重畳容量結合型プラズマにおけるシース内衝突がRF電極入射粒子の角度分布に及ぼす影響

川村 隼也, 市川 景太, 鈴木 陽香, 飯野大輝, 福水裕之, 栗原一彰, 豊田浩孝

第70回応用物理学会春期学術講演会  2023年3月17日 

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開催年月日： 2023年3月

記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

国名：日本国  

二周波容量結合型Ar/C₄F₈/O₂プラズマにおける電力変調方式がイオン組成に与える影響

加藤閣人, 赤塚勇大, 関悠斗, 久保井宗一, 鈴木陽香, 豊田浩孝

第70回応用物理学会春期学術講演会  2023年3月16日 

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開催年月日： 2023年3月

記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

国名：日本国  

Time dependent nanoparticle density measurement in a liquid-flow plasma process 国際会議

Kengo Yunoki, Haruka Suzuki, Kensuke Sasai and Hirotaka Toyoda

15th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials/16th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2023/IC-PLANTS2023)  2023年3月7日 

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開催年月日： 2023年3月

記述言語：英語   会議種別：ポスター発表  

開催地：Gifu University, Gifu   国名：日本国  

Microwave plasma production under air-flow-induced reduced pressure 国際会議

Taina Ogawa, Yuki Iwata, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

15th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials/16th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2023/IC-PLANTS2023)  2023年3月6日 

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開催年月日： 2023年3月

記述言語：英語   会議種別：ポスター発表  

開催地：Gifu University, Gifu   国名：日本国  

Power absorption of high negative pulse power to an electron cyclotron plasma 国際会議

Ikumi Hamaguchi, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

15th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials/16th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2023/IC-PLANTS2023)  2023年3月6日 

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開催年月日： 2023年3月

記述言語：英語   会議種別：ポスター発表  

開催地：Gifu University, Gifu   国名：日本国  

Imaging measurement of angular distribution of high-speed particles from a dual-frequency capacitively-coupled plasma incident on an RF electrode 国際会議

K. Ichikawa, H. Suzuki, D. Iino, H. Fukumizu, K. Kurihara, H. Toyoda

43rd International Symposium on Dry Process (DPS2022)  2022年11月25日 

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開催年月日： 2022年11月

記述言語：英語   会議種別：口頭発表（一般）  

国名：日本国  

Time-resolved measurement of Ionic composition change in Pulse-modulated Ar/C₄F₈/O₂ DF-CCP 国際会議

Shuichi Kuboi, Haruhito Kato, Yuto Seki, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

43rd International Symposium on Dry Process (DPS2022)  2022年11月24日 

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開催年月日： 2022年11月

記述言語：英語   会議種別：口頭発表（一般）  

国名：日本国  

Time-resolved measurement of ion composition in a dual-frequency capacitively-coupled pulsed plasma 国際会議

Y. Seki, H. Kato, S. Kuboi, H. Suzuki, and H. Toyoda

43rd International Symposium on Dry Process (DPS2022)  2022年11月25日 

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開催年月日： 2022年11月

記述言語：英語   会議種別：ポスター発表  

国名：日本国  

パルス変調二周波容量結合型Ar/C₄F₈/O₂プラズマにおけるイオン組成変化の時間分解測定

鈴木 陽香, 関 悠斗, 加藤 閣人, 久保井 宗一, 豊田 浩孝

第39回プラズマ・核融合学会年会  2022年11月22日 

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開催年月日： 2022年11月

記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

国名：日本国  

Continuous liquid treatment by high-density microwave plasma in flowing liquid 国際会議

Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

11th International conference on reactive plasmas/2022 Gaseous Electronics Conference (ICRP-11/GEC2022)  2022年10月6日 

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開催年月日： 2022年10月

記述言語：英語   会議種別：口頭発表（招待・特別）  

開催地：Sendai International Center, Sendai   国名：日本国  

Plasma Density Enhancement of an Electron Cyclotron Resonance Plasma with Pulse-biased stage 国際会議

Ikumi Hamaguchi, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

11th International conference on reactive plasmas/2022 Gaseous Electronics Conference (ICRP-11/GEC2022)  2022年10月5日 

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開催年月日： 2022年10月

記述言語：英語   会議種別：ポスター発表  

開催地：Sendai International Center, Sendai   国名：日本国  

Time-dependent Measurement of Ion Composition in Pulse-operated Ar/C₄F₈/O₂ Dual-frequency Capacitively-Coupled Plasma 国際会議

Yuto Seki, Haruhito Kato, Shuichi Kuboi, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda

11th International conference on reactive plasmas/2022 Gaseous Electronics Conference (ICRP-11/GEC2022)  2022年10月4日 

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開催年月日： 2022年10月

記述言語：英語   会議種別：ポスター発表  

開催地：Sendai International Center, Sendai   国名：日本国  

Hydrogen accumulation and surface bubbling of liquidized Sn-Bi-Li-Er alloy under hydrogen plasma exposure 国際会議

Kota Tamura, Haruka Suzuki, Junichi Miyazawa, Suguru Masuzaki, Masayuki Tokitani and Hirotaka Toyoda

11th International conference on reactive plasmas/2022 Gaseous Electronics Conference (ICRP-11/GEC2022)  2022年10月6日 

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開催年月日： 2022年10月

記述言語：英語   会議種別：口頭発表（一般）  

開催地：Sendai International Center, Sendai   国名：日本国  

二周波容量結合型Ar/C₄F₈/O₂プラズマのパルス運転がイオン組成に及ぼす影響

関 悠斗, 加藤 閣人, 久保井 宗一, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝

第83回応用物理学会秋季学術講演会  2022年9月22日 

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開催年月日： 2022年9月

記述言語：日本語   会議種別：口頭発表（一般）  

国名：日本国