講演・口頭発表等 - 鈴木 陽香
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化学プローブを用いた長尺大気圧プラズマ生成活性ラジカルの可視化
松浦寛人, トラントラングエン, 胡敏, 仲野匠, 岩田悠揮, 鈴木陽香, 豊田浩孝
第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022年9月20日
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周波重畳容量結合型プラズマからRF電極へ入射する高速粒子入射角度分布のイメージング計測
市川 景太, 鈴木 陽香, 飯野 大輝, 福水 裕之, 栗原 一彰, 豊田 浩孝
第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022年9月22日
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プラズマの生成と制御 招待有り
鈴木陽香
第16回プラズマエレクトロニクス インキュベーションホール 2022年9月11日 公益社団法人 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
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二周波容量結合型Ar/C4F8/O2パルスプラズマ中のイオン時分解計測
加藤 閣人, 関 悠斗, 久保井 宗一, 鈴木 陽香, 豊田 浩孝
令和4年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 2022年8月29日
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二周波重畳容量結合型プラズマから電極へ入射する高速粒子のイメージング法を用いた角度分布計測
市川景太, 鈴木陽香, 豊田浩孝
第69回応用物理学会春期学術講演会 2022年3月25日 応用物理学会
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水シールド環境下でのマイクロ波励起水蒸気プラズマの生成と応用
鈴木陽香, 豊田浩孝
第69回応用物理学会春期学術講演会 2022年3月23日 応用物理学会
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質量分析法を用いた二周波容量結合型 Ar/C4F8/O2パルスプラズマ中イオンの時分解計測
市関悠斗、加藤閣人、久保井宗一、鈴木陽香、豊田浩孝
第69回応用物理学会春期学術講演会 2022年3月25日 応用物理学会
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Ar/O2大気圧マイクロ波プラズマにより処理したポリイミドフィルムの表面分析
岩田 悠揮，小笠原 知裕，鈴木 陽香，豊田 浩孝
第69回応用物理学会春期学術講演会 2022年3月26日 応用物理学会
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電子サイクロトロン共鳴プラズマ中の基板ステージへの負パルスバイアス電圧印加によるプラズマ密度増加
濱口育未，ベハンシン，笹井建典, 鈴木陽香，豊田浩孝
第69回応用物理学会春期学術講演会 2022年3月22日 応用物理学会
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Angular distribution of high-energy Ar ion and neutral in a 13.56 MHz capacitively-coupled plasma 国際会議
Keita Ichikawa, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
14th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials/15th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2022/IC-PLANTS2022) 2022年3月9日
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RF Voltage Division of in RF-biased High-density Plasma with Floating Liner 国際会議
Yukinori Chiba, Manabu Kyuzo, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
14th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials/15th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2022/IC-PLANTS2022) 2022年3月7日
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Radical measurements of Ar/C4F8 dual frequency capacitively-coupled plasma 国際会議
Yuto Seki, Haruhito Kato, Schuichi Kuboi, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
14th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials/15th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2022/IC-PLANTS2022) 2022年3月8日
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Bubbling Phenomenon of Sn-Bi-Li-Er Alloy under H2 Plasma Exposure 国際会議
Kota Tamura, Haruka Suzuki, Junichi Miyazawa, Suguru Masuzaki, Masayuki Tokitani, Hirotaka Toyoda
14th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials/15th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2022/IC-PLANTS2022) 2022年3月8日
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O Radical Measurement of Ar/O2 Microwave Plasma in Atmospheric Pressur 国際会議
Yuki Iwata, Tomohiro Ogasawara, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
14th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials/15th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2022/IC-PLANTS2022) 2022年3月7日
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Plasma density increase of electron cyclotron resonance plasma by high voltage pulse power application 国際会議
Ikumi Hamaguchi, Hansin Bae, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
14th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials/15th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2022/IC-PLANTS2022) 2022年3月7日
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高電圧バイアス印加Ar/C6H6ECRプラズマを用いた導電性炭素膜堆積における磁場構造の影響
濱口育未，ベハンシン, 笹井建典, 鈴木陽香，豊田浩孝
第39回プラズマプロセシング研究会/第24回プラズマ材料科学シンポジウム 2022年1月25日
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水素プラズマ照射下におけるスズ-ビスマス-リチウム-エルビウム 溶融合金の発泡現象
田村晃汰，鈴木陽香，宮澤順一，増崎貴，時谷政行，豊田浩孝
第39回プラズマプロセシング研究会/第24回プラズマ材料科学シンポジウム 2022年1月25日
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真空紫外原子吸光分光法による 大気圧マイクロ波Ar/O2プラズマのO原子密度計測
岩田悠揮，小笠原知裕，鈴木陽香，堤隆嘉，堀勝，豊田浩孝
第39回プラズマプロセシング研究会/第24回プラズマ材料科学シンポジウム 2022年1月24日
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容量結合型プラズマにおける電極入射高速粒子角度分布のイメージング計測
市川景太，チュマンフン，森山誠，中原尚哉，鈴木陽香，豊田浩孝
第39回プラズマプロセシング研究会/第24回プラズマ材料科学シンポジウム 2022年1月25日
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超高周波容量結合型Ar/C4F8/O2プラズマにおける イオンおよび中性ラジカル種の測定
関悠斗，加藤閣人，久保井宗一，鈴木陽香，豊田浩孝
第39回プラズマプロセシング研究会/第24回プラズマ材料科学シンポジウム 2022年1月24日