講演・口頭発表等 - 石川 健治
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C3F6O代替ガスを用いた絶縁膜の高速エッチングとその機構解明
近藤祐介，宮脇雄大，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，林俊雄，関根誠，岡本秀一，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16p-ZA-1"
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Radical Transport Simulation under Roof on Substrate in Processing Plasma
アルカディウス マリノフスキ，堀勝，関根誠，石川健治，近藤博基，山本洋，竹内拓也，鈴木俊哉，宮脇雄大，リディア ルカシャック，アンジェイ ヤクボフスキ，ダニエル トマシェフスキ
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16a-ZA-7"
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SF6/O2プラズマを用いたSiエッチング機構
尼崎新平，竹内拓也，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，関根誠，堀勝，櫻井典子，林久貴，酒井伊都子，大岩徳久
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）,16a-ZA-3"
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H2/Ar大気圧プラズマによる酸化銅還元反応の検討
乾裕俊，吉田直史，竹田圭吾，近藤博基，石川健治，関根誠，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）,16p-ZF-10"
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アモルファスカーボン膜の結晶構造に対する成長温度の効果
木野徳重，近藤博基，石川健治，関根誠，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16p-ZF-3"
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Ｎ原子注入によるアモルファスカーボン膜の結晶性制御
九鬼淳，木野徳重，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，関根誠，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16p-ZF-2"
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水素ラジカル注入型プラズマ源を用いた微結晶シリコン薄膜の成膜
川嶋翔，阿部祐介，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，関根誠，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16a-ZF-8"
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非平衡大気圧プラズマによるミドリカビ殺菌速度の酸素ラジカル密度依存性
井関紗千子，太田貴之，伊藤昌文，加納浩之，東島康裕，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，関根誠，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 15p-D-17"
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非平衡大気圧プラズマにおける原子状ラジカルの挙動に関する研究
加藤正規，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，関根誠，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 15p-D-16"
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太陽電池用シリコン薄膜プラズマプロセスにおける水素原子表面損失確率（II）
阿部祐介，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，関根誠，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 15p-D-11"
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二周波容量結合型エッチングプラズマにおける上部電極へのDCバイアス印加効果(III)
山口剛，竹田圭吾，輿水地塩，近藤博基，石川健治，関根誠，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16p-ZA-9"
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プラズマによるGaNエッチング損傷と反応機構の解析
陳尚，米谷亮祐，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，加納浩之，徳田豊，関根誠，節原裕一，江川孝志，天野浩，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 17a-ZA-3"
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高精度Cl2プラズマビームを用いたGaNエッチング表面反応の解明
米谷亮祐，陳尚，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，関根誠，江川孝志，節原裕一，天野浩，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 17a-ZA-2"
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リアルタイム電子スピン共鳴によるプラズマ誘起表面反応の解析
鷲見直也，石川健冶，河野昭彦，堀邊英夫，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16p-ZA-13"
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O2プラズマ曝露によるポーラスSiOCH 膜へのダメージ発生メカニズム
浅野高平，山本洋，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，関根誠，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16p-ZA-12"
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Modification of Si-O-Si Structure in Porous SiOCH Films by O2 plasma 国際会議
Hiroshi Yamamoto, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, Masaru Hori
The 11th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics, Ramada Jeju Hotel, Jeju, Korea
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Control in optical properties of amorphous carbon films synthesized by plasma enhanced chemical vapor deposition for solar cell applications
International Symposium on Technology Evolution for Silicon Nano-Electronics, Tokyo Institute of Technology, Tokyo, Japan
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イオン照射誘起深い準位欠陥の水素ラジカルによる不活性化
陳尚，永江陽一，石川健治，中井雅文，加納浩之，竹田圭吾，近藤博基，徳田豊，関根誠，堀勝
2010年春季 第57回 応用物理学関係連合講演会（東海大学）, 17p-D-7
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反応性プラズマ中におけるC2F4の解離過程
林俊雄，石川健治，関根誠，堀勝，河野明廣，鄒弘綱
2010年春季 第57回 応用物理学関係連合講演会（東海大学）, 19a-ZB-11
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O2プラズマおよびCO2プラズマによるレジストアッシング機構
阿部祐介，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，関根誠，堀勝
2010年春季 第57回 応用物理学関係連合講演会（東海大学）, 18p-ZD-2