研究者詳細 - 石川　健治

講演・口頭発表等 - 石川　健治

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液中プラズマによるダングリングボンド形成を通じた六方晶窒化ホウ素への官能基修飾

井上健一, 高木直人, 伊藤剛仁, 清水禎樹, 石川健治, 堀勝, 寺嶋和夫

第70回応用物理学会春季学術講演会 15p-PB03-8 2023年3月15日

プラズマ駆動型科学とは何か～プラズマプロセスの新展開に期待して～パネルディスカッション

石川健治, 浜口智志, 成田絵美, 白谷正治, 冨谷茂隆, 室賀駿, 佐藤孝紀, 野崎智洋, 吉田朋子

第70回応用物理学会春季学術講演会 16p-A402-10 2023年3月16日

非平衡大気圧プラズマがゼブラフィッシュに及ぼす影響とその機構解明

紅林佑弥, 石川健治, 田中宏昌, 秋山真一, 橋爪博司, 堀勝

第70回応用物理学会春季学術講演会 17p-A409-9 2023年3月17日

プラズマ活性乳酸リンゲル液によるがん細胞死経路上のオートファジー観察

山川太嗣, 石川健治, 橋爪博司, 田中宏昌, 堀勝

第70回応用物理学会春季学術講演会 17a-A409-6 2023年3月17日

カーボンナノウォール足場上での電気刺激重畳培養におけるヒト間葉系幹細胞の形態変化

小島悠暉, 近藤博基, 田中宏昌, 石川健治, 橋爪博司, 堀勝

第70回応用物理学会春季学術講演会 17a-A409-2 2023年3月17日

C2F4の電子物性とPTFEの生成機構

林俊雄, 石川健治, 関根誠, 堀勝, 兒玉直人, 豊田浩孝

第70回応用物理学会春季学術講演会 17p-A205-18 2023年3月17日

F2添加 Ar プラズマを用いた基板昇温下での AlGaN の原子層エッチング

中村昭平, 谷出敦, 灘原壮一, 石川健治, 小田修, 堀勝

第70回応用物理学会春季学術講演会 17p-A205-11 2023年3月17日

成膜パラメータの寄与度解析に基づく、水素化アモルファスカーボン薄膜のエッチ耐性の向上

安藤悠介, 近藤博基, 石川健治, 堤隆嘉, 関根誠, 堀勝

第70回応用物理学会春季学術講演会 17a-A205-7 2023年3月17日

ウエハプロセスのグリーン化イノベーションに向けた戦略的挑戦招待有り

堀勝、関根誠、石川健治

第83回応用物理学会秋季学術講演会 21p-B104-3 2022年9月21日

プラズマ活性乳酸リンゲル液によるマクロファージの形質発現誘導

出野雄大、柏倉慧史、田中宏昌、石川健治、橋爪博司、中村香江、豊國伸哉、水野正明、梶山広明、堀勝

第83回応用物理学会秋季学術講演会 20a-A106-7 2022年9月20日

イオン照射角制御によるカーボンナノウォールの配向成長

射場信太朗、近藤博基、石川健治、堤隆嘉、平松美根男、関根誠、堀勝

第83回応用物理学会秋季学術講演会 23p-B102-5 2022年9月23日

プラズマ活性溶液による細胞運命の制御招待有り

田中宏昌、水野正明、石川健治、梶山広明、豊國伸哉、吉川史隆、堀勝

第83回応用物理学会秋季学術講演会 21p-B200-5 2022年9月21日

非平衡大気圧プラズマを用いた陸上養殖実現に向けた基礎的研究

紅林佑弥、石川健治、田中宏昌、秋山真一、橋爪博司、堀勝

第83回応用物理学会秋季学術講演会 20p-A106-13 2022年9月20日

水素化アモルファスカーボン薄膜の合成機構における活性種の寄与度の機械学習を用いた解析

近藤博基、黒川純平、堤隆嘉、関根誠、石川健治、堀勝

第83回応用物理学会秋季学術講演会 23a-B101-3 2022年9月23日

プラズマアシスト熱サイクル法を用いたSiGeのセルフリミティング性サイクルエッチング

篠田和典、三浦勝哉、前田賢治、伊澤勝、NGUYEN Thi-Thuy-Nga、石川健治、堀勝

第83回応用物理学会秋季学術講演会 22p-A406-4 2022年9月22日

ラジカル注入型プラズマ励起化学気相堆積法で成長したカーボンナノウォールの3次元構造解析

近藤博基、尾崎敦士、堤隆嘉、関根誠、石川健治、堀勝、平松美根男

第69回応用物理学会春季学術講演会　24p-D114-6 2022年3月24日

稲穂への低温プラズマ照射がもたらす酒造品種玄米の品質向上

橋爪博司、北野英己、水野寛子、阿部明子、三田薫、蕭世男、湯浅元気、東野里江、田中宏昌、石川健治、松本省吾、榊原均、仁川進、前島正義、水野正明、堀勝

第69回応用物理学会春季学術講演会　25p-E105-13 2022年3月24日

網羅的解析に基づくプラズマ活性溶液による細胞死の機構解明

田中宏昌、水野正明、石川健治、橋爪博司、中村香江、梶山広明、吉川史隆、岡崎康昌、豊國伸哉、堀勝

第69回応用物理学会春季学術講演会　25a-E105-8 2022年3月24日

プラズマ照射乳酸リンゲル液の抗腫瘍成分の評価

伊藤大貴、岩田直幸、石川健治、橋爪博司、中村香江、ミロンカメリア、田中宏昌、梶山広明、豊國伸哉、水野正明、堀勝

第69回応用物理学会春季学術講演会　25a-E105-7 2022年3月24日

流液への照射によるプラズマ活性溶液の作製と短寿命活性種の測定

柏倉慧史、岩田直幸、石川健治、橋爪博司、田中宏昌、堀勝

第69回応用物理学会春季学術講演会　25a-E105-6 2022年3月24日

中性酸素ラジカル源を用いたポリエチレンテレフタレートの生分解速度の向上

五藤大智、岩田直幸、石川健治、橋爪博司、田中宏昌、伊藤昌文、堀勝

第69回応用物理学会春季学術講演会　25a-E105-1 2022年3月24日

C3H6/H2プラズマを用いた水素化アモルファスカーボン成膜における成膜前駆体と膜特性の相関関係

黒川純平、光成正、近藤博基、堤隆嘉、関根誠、石川健治、堀勝

第69回応用物理学会春季学術講演会　25p-E104-13 2022年3月24日

C4F8/SF6ガス変調サイクルにおいてバイアス印加位相がエッチング形状に及ぼす影響

吉江泰斗、堤隆嘉、石川健治、近藤博基、関根誠、堀勝

第69回応用物理学会春季学術講演会　25a-E104-7 2022年3月24日

Ar/F2プラズマとBCl3の交互供給によるAlGaN原子層エッチングでの組成比制御

中村昭平、谷出敦、木村貴弘、灘原壮一、石川健治、小田修、堀勝

第69回応用物理学会春季学術講演会　25a-E104-5 2022年3月24日

窒化ガリウムの基板昇温時サイクルエッチング特性

南吏玖、中村昭平、谷出敦、石川健治、堤隆嘉、近藤博基、関根誠、堀勝

第69回応用物理学会春季学術講演会　25a-E104-4 2022年3月24日

プラズマ励起化学気相堆積法におけるカーボンナノウォールの配向成長に対するイオン照射角度の効果

射場信太朗、近藤博基、石川健治、堤隆嘉、平松美根男、関根誠、堀勝

第69回応用物理学会春季学術講演会　24p-D114-8 2022年3月24日

高効率エクソソーム解析に向けたカーボンナノウォールテンプレートの表面電位制御

橋本拓海、近藤博基、田中宏昌、石川健治、堤隆嘉、関根誠、安井隆雄、馬場嘉信、平松美根男、堀勝

第69回応用物理学会春季学術講演会　24p-D114-7 2022年3月24日

低温プラズマ処理による高品質イチゴ果実の安定性生産

橋爪博司、松本省吾、坪田憲紀、三田薫、水野寛子、阿部明子、湯浅元気、東野里江、田中宏昌、石川健治、伊藤昌文、北野英己、榊原均、仁川進、大熊隆之、前島正義、水野正明、堀勝

The 39th Symposium on plasma processing / 34th Symposium on Plasma Science for Materials (SPP39/SPSM34)　L024-AM-A-03 2022年1月24日

C2F6/H2混合ガスを用いてラジカル注入型プラズマ励起化学気相堆積法により成長させたカーボンナノウォールのモフォロジー制御

橋本拓海、近藤博基、石川健治、堤隆嘉、関根誠、平松美根男、堀勝

The 39th Symposium on plasma processing / 34th Symposium on Plasma Science for Materials (SPP39/SPSM34)　S025-B-08 2022年1月24日

液中プラズマプロセスを用いたエタノール内金属基板上へのナノグラフェンの成膜

デラヴェガマイアシャンリン、近藤博基、堤隆嘉、グエンティ・トゥイーンガ、石川健治、関根誠、ヴァスケズマグダレノジュニア、堀勝

The 39th Symposium on plasma processing / 34th Symposium on Plasma Science for Materials (SPP39/SPSM34)　S025-A-11 2022年1月24日

カーボンナノウォールの形態と高さが光透過率に及ぼす影響

射場信太朗、近藤博基、石川健治、関根誠、堤隆嘉、平松美根男、堀勝

The 39th Symposium on plasma processing / 34th Symposium on Plasma Science for Materials (SPP39/SPSM34)　S025-A-10 2022年1月24日

原子状酸素ラジカル処理したポリエチレンテレフタレートの生分解

五藤大智、岩田直幸、石川健治、橋爪博司、田中宏昌、伊藤昌文、上坂裕之、堀勝

The 39th Symposium on plasma processing / 34th Symposium on Plasma Science for Materials (SPP39/SPSM34)　S025-A-02 2022年1月24日

プラズマ活性乳酸リンゲル液によるがん細胞死の分子機構

田中宏昌、水野正明、石川健治、橋爪博司、中村香江、岡崎康昌、豊國伸哉、梶山広明、吉川史隆、堀勝

The 39th Symposium on plasma processing / 34th Symposium on Plasma Science for Materials (SPP39/SPSM34)　L024-AM-A-05 2022年1月24日

Functional nitrogen science for plasma-processing in life and matter 招待有り国際会議

Kenji Ishikawa, Toshiro Kaneko, and Masaru Hori

2021年12月12日 Material Research Society of Japan

Optical transmission of carbon nanowalls from ultra-violet region to infra-red region 国際会議

Shintaro Iba, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Takayoshi Tsutsumi, Makoto Sekine, Mineo Hiramatsu, and Masaru Hori

Material Research Meeting (MRM 2020) 2021年12月12日

Enhancement of biodegradation technology of polyethylene terephthalate with plasma-pretreatment 国際会議

Daichi Goto, Naoyuki Iwata, Kenji Ishikawa, Hiroshi Hashizume, Hiromasa Tanaka, Masafumi Ito, and Masaru Hori

31st Material Research Society in Japan (MRS-J) 2021年12月12日

Plasma-biological reaction networks and aqueous radical chemistry 招待有り国際会議

Kenji Ishkawa, Camelia Miron, Takashi Kondo, Hiromasa Tanaka, and Masaru Hori

31st Material Research Society in Japan (MRS-J) 2021年12月12日

Cellular Respiration System Affected by Low-temperature Plasma 国際会議

Hiromasa Tanaka, Shogo Maeda, Shogo Matsumura, Masaaki Mizuno, Kenji Ishikawa, Masafumi Ito, Hiroshi Hashizume, Mikako Ito, Kinji Ohno, Kae Nakamura, Hiroaki Kajiyama, Fumitaka Kikkawa, Yasumasa Okazaki, Shinya Toyokuni, and Masaru Hori

31st Material Research Society in Japan (MRS-J) 2021年12月12日

Effects of cold plasma treatment with rice seedlings in a paddy on yield and grain quality for different cultivars 国際会議

Hiroshi Hashizume, Hidemi Kitano, Hiroko Mizuno, Akiko Abe, Kaoru Sanda, Genki Yuasa, Satoe Tohno, Hiromasa Tanaka, Kenji Ishikawa, Shogo Matsumoto, Hitoshi Sakakibara, Susumu Nikawa, Masayoshi Maeshima, Masaaki Mizuno, and Masaru Hori

31st Material Research Society in Japan (MRS-J) 2021年12月12日

Anti-tumor effect of plasma-activated solution produced by the flowing system 国際会議

Satoshi Kashiwagura, Naoyuki Iwata, Kenji Ishikawa, Hiroshi Hashizume, Camelia Miron, Kae Nakamura, Hiromasa Tanaka, Hiroaki Kajiyama, Shinya Toyokuni, Masaaki Mizuno, and Masaru Hori

31st Material Research Society in Japan (MRS-J) 2021年12月12日

Production of plasma-activated Ringer's lactate solution with regulated surrounding atmosphere 国際会議

Daiki Ito, Naoyuki Iwata, Kenji Ishikawa, Hiroshi Hashizume, Kae Nakamura, Camelia Miron, Hiromasa Tanaka, Hiroaki Kajiyama, Shinya Toyokuni, Masaaki Mizuno, and Masaru Hori

31st Material Research Society in Japan (MRS-J) 2021年12月12日

Growth promotion of cultured feed Artemia irradiated with low-temperature plasma 国際会議

Takumi Yamauchi, Naoyuki Iwata, Kenji Ishikawa, Hiroshi Hashizume, Hiromasa Tanaka, Shin'ichi Akiyama, and Masaru Hori

31st Material Research Society in Japan (MRS-J) 2021年12月12日

Rebound Tailing Pulse method for water reformation 国際会議

Naohiro Shimizu, Ranjit Borude, Reiko Tanaka, Kenji Ishikawa, Osamu Oda, Hiroki Hosoe, Satoru Ino, Yosuke Inoue, and Masaru Hori

31st Material Research Society in Japan (MRS-J) 2021年12月12日

Transient effects in cyclic processes on fabrications of high-aspect-ratio trenches 国際会議

Taito Yoshie, Takayoshi Tsutsumi, Kenji Ishikawa, and Masaru Hori

42nd International Symposium on Dry Process (DPS) 2021年11月18日

Atomic layer etching of GaN using F2-added Ar plasma removal of BCl3 modified layer at high temperature 国際会議

Shohei Nakamura Atsushi Tanide, Takahiro Kimura, Soichi Nadahara, Kenji Ishikawa, and Masaru Hori

42nd International Symposium on Dry Process (DPS) 2021年11月18日

Random forest model for property control of plasma deposited hydrogenated amorphous carbon films 国際会議

Junpei Kurokawa, Takayoshi Tsutsumi, Kenji Ishikawa, Hiroki Kondo, Makoto Sekine, and Masaru Hori

42nd International Symposium on Dry Process (DPS) 2021年11月18日

Toward plasma cancer therapy and intracellular metabolic modifications by treatments using low-temperature plasma-activated solutions 招待有り国際会議

Kenji Ishkawa, Hiromasa Tanaka, Hiroaki Kajiyama, Shinya Toyokuni, Masaaki Mizuno, and Masaru Hori

30th International Toki Conference on Plasma and Fusion Research 2021年11月15日

Floating wire assisted plasma with vapor injection of liquid mixtures for etching titanium compounds 国際会議

Thi-Thuy-Nga Nguyen, Kazunori Shinoda, Hirotaka Hamamura, Kenji Maeda, Kenetsu Yokogawa, Masaru Izawa, Kenji Ishikawa, and Masaru Hori

67th AVS International Symposium and Exhibition 2021年10月24日

In-situ analysis of surface reactions for plasma-assisted thermal-cyclic atomic layer etching of tantalum nitride 国際会議

Kazunori Shinoda, M. Hasegawa, H. Hamamura, K. Maeda, K. Yokogawa, M. Izawa, Kenji Ishikawa, and Masaru Hori

67th AVS International Symposium and Exhibition 2021年10月24日

原子層エッチングの反応素過程とその設計、制御招待有り

石川健治, Nguyen Thi-Thuy-Nga, 堤隆嘉, 蕭世男, 近藤博基, 関根誠, 堀勝

第82回応用物理学会秋季学術講演会 11a-S301-5 2021年9月10日

カーボンナノウォールの光透過率に対する壁密度および高さの効果招待有り

射場信太朗, 近藤博基, 石川健治, 堤隆嘉, 平松美根男, 関根誠, 堀勝

第82回応用物理学会秋季学術講演会 13a-N323-8 2021年9月10日

C3H6/H2プラズマを⽤いたアモルファスカーボン成膜において水素ガス流量比が膜特性に与える影響招待有り

⿊川純平, 光成正, 堤隆嘉, 近藤博基, 関根誠, 石川健治, 堀勝

第82回応用物理学会秋季学術講演会 13p-N107-1 2021年9月10日

低温プラズマ照射した養殖餌料アルテミアの成⻑促進招待有り

山内拓海, 石川健治, 田中宏昌, 秋山真⼀, 橋爪博司, 堀勝

第82回応用物理学会秋季学術講演会 13p-N107-15 2021年9月10日

CNW細胞培養基板上のSiCコートが細胞増殖に与える影響招待有り

⼩野浩毅, ⼩出崇史, 石川健治, 田中宏昌, 近藤博基, 鳴瀧彩絵, ⾦勇, 安原重雄, 堀勝, 竹内和歌奈

第82回応用物理学会秋季学術講演会 13p-N107-1 2021年9月10日

酸素ラジカル照射したL-トリプトファン溶液の殺菌効果招待有り

岩田直幸, 石川健治, 橋爪博司, 田中宏昌, 伊藤昌文, 堀勝

第82回応用物理学会秋季学術講演会 12p-N204-6 2021年9月10日

流液への照射によるプラズマ活性溶液の大量作製と抗腫瘍効果の評価招待有り

柏倉慧史, 岩田直幸, 石川健治, 橋爪博司, カメリアミロン, 中村香江, 田中宏昌, 梶山広明, 豊國伸哉, 水野正明, 堀勝

第82回応用物理学会秋季学術講演会 12p-N204-4 2021年9月10日

Arパージ下でプラズマ照射した乳酸リンゲル液の抗腫瘍効果の評価招待有り

伊藤大貴, 岩田直幸, 石川健治, 橋爪博司, 中村香江, ミロンカメリア, 田中宏昌, 梶山広明, 豊國伸哉, 水野正明, 堀勝

第82回応用物理学会秋季学術講演会 12p-N204-3 2021年9月10日

プラズマ活性溶液及びプラズマ照射が細胞呼吸に与える影響招待有り

田中宏昌, 前田昌吾, 松村翔伍, 水野正明, 石川健治, 伊藤昌文, 橋爪博司, 伊藤美佳⼦, 大野欽司, 中村香江, 梶山広明, 吉川史隆, 岡崎泰昌, 豊國伸哉, 堀勝

第82回応用物理学会秋季学術講演会 12p-N204-2 2021年9月10日

ポリエチレンテレフタラートの新しい生分解プラズマ技術の開発招待有り

五藤大智, 岩田直幸, 石川健治, 橋爪博司, 田中宏昌, 伊藤昌文, 堀勝

第82回応用物理学会秋季学術講演会 12p-N204-1 2021年9月10日

Ar/C4F8/SF6を⽤いたガス変調サイクルプロセスにおける活性種の挙動招待有り

吉江泰斗, 堤隆嘉, 石川健治, 堀勝

第82回応用物理学会秋季学術講演会 12a-N102-3 2021年9月10日

窒化ガリウムのプラズマエッチング中その場分光エリプソメトリー観測招待有り

南吏玖, 石川健治, 堤隆嘉, 近藤博基, 関根誠, ⼩田修, 堀勝

第82回応用物理学会秋季学術講演会 12a-N102-2 2021年9月10日

Low-temperature plasma-activated solutions and metabolic modification 招待有り国際会議

Kenji Ishkawa, Hiromasa Tanaka, Hiroaki Kajiyama, Shinya Toyokuni, Masaaki Mizuno, and Masaru Hori

5th Asia Pacific Conference on Plasma Physics, Division of Plasma Physics, Association of Asia-Pacific Physical Societies (AAPPS-DPP2021) 2021年9月26日

High ionization of analytes for oxygen doped carbon nanowall in surface-assisted laser desorption ionization mass spectrometry (SALDI-MS) 国際会議

Kenji Ishikawa, Ryusei Sakai, Tomonori Ichikawa, Hiroki Kondo, Takayuki Ohta, Mineo Hiramatsu, and Masaru Hori

20th Interfinish World Congress (INTERFINISH2020) 2021年9月6日

Improvement of Hydrophilic Treatment of Atmospheric Pressure Plasma and its Oxygen Radical Densities 国際会議

Seigo Takashima, Takahiro Jindo, Kenji Ishikawa, and Masaru Hori

20th Interfinish World Congress (INTERFINISH2020) 2021年9月6日

Epitaxial growth of InN film on GaN template by radical-enhanced metalorganic chemical vapor deposition (REMOCVD) 国際会議

Frank Wilson Amalraj, Arun Kumar Dhasiyan, Naohiro Shimizu, Osamu Oda, Kenji Ishikawa, and Masaru Hori

20th Interfinish World Congress (INTERFINISH2020) 2021年9月6日

Deformation properties of carbon nanowalls analyzed by nanoindentation 国際会議

Swapnil Ghodke, Motoyuki Murashima, Dennis Christy, Ngo Van Nong, Osamu Oda, Noritsugu Umehara, Kenji Ishikawa, and Masaru Hori

20th Interfinish World Congress (INTERFINISH2020) 2021年9月6日

Nanosecond high-voltage pulse imposed chemical vapor deposition (ns HV CVD) of sparsely isolated carbon nanowalls 国際会議

Tomonori Ichikawa, Kenji Ishikawa, Naohiro Shimizu, and Masaru Hori

20th Interfinish World Congress (INTERFINISH2020) 2021年9月6日

Development of the nanocarbon coating process on metal surfaces via in-liquid plasma 国際会議

Ma. Shanlene D.C. Dela Vega, Hiroki Kondo, Takayoshi Tsutsumi, Thi-Thuy-Nga Nguyen, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, and Masaru Hori

20th Interfinish World Congress (INTERFINISH2020) 2021年9月6日

Development of new biodegradation technology by surface modification of polyethylene terephthalate using atmospheric pressure plasma 国際会議

Daichi Goto, Naoyuki Iwata, Kenji Ishikawa, Hiroshi Hashizume, Hiromasa Tanaka, Masafumi Ito, and Masaru Hori

20th Interfinish World Congress (INTERFINISH2020) 2021年9月6日

Cell Death Mechanisms by Plasma Activated Medium and Plasma Activated Ringer’s Lactate Solution 国際会議

Masaru Hori, Hiromasa Tanaka, Masaaki Mizuno, Kenji Ishikawa, Kae Nakamura, Hiroaki Kajiyama, Yasumasa Okazaki, Shinya Toyokuni, and Fumitaka Kikkawa

8th International Conference on Plasma Medicine (ICPM8) 2021年8月2日

Efficacy for Rice Plant Growth with Plasma Irradiation to Seeds 国際会議

Hiroshi Hashizume, Hidemi Kitano, Hiroko Mizuno, Akiko Abe, Genki Yuasa, Satoe Tohno, Hiromasa Tanaka, Kenji Ishikawa, Shogo Matsumoto, Hitoshi Sakakibara, Susumu Nikawa, Masayoshi Maeshima, Masaaki Mizuno, and Masaru Hori

8th International Conference on Plasma Medicine (ICPM8) 2021年8月2日

Dynamical Changes in Free-radical Signals of Seeds during Water Imbibition and Seed Germination: Analysis of Plasma-Irradiation Effects Using an Electron Spin Resonance (ESR) Technique 国際会議

Kenji Ishikawa, Ryo Arita, Takamasa Okumura, Pankaj Attri, Kazunori Koga, Ryoya Sato, Hayate Tanaka, Masaya Hiromatsu, Kayo Matsuo, Daisuke Yamashita, Kunihiro Kamataki, Naho Itagaki, Masaru Hori, and Masaharu Shiratani

8th International Conference on Plasma Medicine (ICPM8) 2021年8月2日

Analysis of Cellular Respiration in Plasma-activated Solutions-treated Cancer Cells 国際会議

Hiromasa Tanaka, Shogo Maeda, Masaaki Mizuno, Kenji Ishikawa, Kae Nakamura, Hiroaki Kajiyama, Yasumasa Okazaki, Shinaya Toyokuni, M. Ito, K. Ohno, Fumitaka Kikkawa, and Masaru Hori

8th International Conference on Plasma Medicine (ICPM8) 2021年8月2日

Numerical analysis of high-electron-density atmospheric pressure argon streamer under pin-to-plane electrode geometry: Effects of applying voltage polarity 国際会議

Yosuke Sato, Kenji Ishikawa, Takayoshi Tsutsumi, A. Ui, M. Akita, S. Oka, and Masaru Hori

47th Conference on Plasma Physics (EPS47) 2021年6月21日

Dependency of bactericidal effect in oxygen-radical exposed E. coli suspension containing L-tryptophan on its concentration 国際会議

Naoyuki Iwata, Kenji Ishikawa, Hiroshi Hashizume, Hiromasa Tanaka, Jun-Seok Oh, Masafumi Ito and Masaru Hori

13th International Symposium on Advanced Plasma Science and Its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 14th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2021/IC-PLANTS2021) 2021年3月8日

A comparative study on inn growth at very high frequencies (VHF) by radical enhanced metalorganic chemical vapor deposition (REMOCVD) 国際会議

Frank Wilson Amalraj, Naohiro Shimizu, Osamu Oda, Kenji Ishikawa, and Masaru Hori

Effects of non-equilibrium atmospheric pressure plasma on aquaculture feed 国際会議

Takumi Yamauchi, Kenji Ishikawa, Hiromasa Tanaka, Shin'ichi Akiyama, Hiroshi Hashizume and Masaru Hori

Efficacy of plasma treatment in a paddy field for yield and grain quality of rice 国際会議

Kaoru Sanda, Hiroshi Hashizume, Hidemi Kitano, Hiroko Mizuno, Akiko Abe, Genki Yuasa, Satoe Tohno, Hiromasa Tanaka, Kenji Ishikawa, Shogo Matsumoto, Hitoshi Sakakibara, Susumu Nikawa, Masayoshi Maeshima, Masaaki Mizuno, and Masaru Hori

Dependence of nitrogen concentrations on cytotoxicity of air-free Ar-N2 mixed atmospheric pressure plasma-activated lactated solutions 国際会議

Daiki Ito, Kenji Ishikawa, Hiroshi Hashizume, Hiromasa Tanaka, Takayoshi Tsutsumi, Hiroki Kondo, Makoto Sekine, and Masaru Hori

Effects on substrate temperature on the etching behaviors of PECVD- and LPCVD-prepared SiN thin films with CF4/H2 plasmas 国際会議

Shih-Nan Hsiao, Thi-Thuy-Nga Nguyen, Takayoshi Tsutsumi, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, and Masaru Hori

Ion-attachment mass spectrometric analysis of odorous gas decomposition by atmospheric pressure plasma 国際会議

Tatsuyuki Moriyama, Yosuke Sato, Akio Ui, Shotaro Oka, Kenji Ishikawa, Takayoshi Tsutsumi and Masaru Hori

Study of etching process using gas condensed layer at cryogenic temperature 2. Evaluation of cycle etching using gas condensed layer 国際会議

Masahiro Hazumi, Suganthamalar Selvaraj, Shih-Nan Hsiao, Chihiro Abe, Toshiyuki Sasaki, Hisataka Hayashi, Takayoshi Tsutsumi, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, and Masaru Hori

Study of etching process using gas condensed layer at cryogenic temperature 1. Evaluation of CHF3 condensed layer thickness on SiO2 surface 国際会議

Suganthamalar Selvaraj, Masahiro Hazumi, Shih-Nan Hsiao, Chihiro Abe, Toshiyuki Sasaki, Hisataka Hayashi, Takayoshi Tsutsumi, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, and Masaru Hori

Pressure and flow rate dependence of active species in gas modulation cycle process using Ar/C4F8/SF6 国際会議

Taito Yoshie, Takayoshi Tsutsumi, Kenji Ishikawa, and Masaru Hori

Quantitative analyses of graphene layer etching using oxygen radicals generated in remote plasma for realization of atomic layer etching 国際会議

Liugang Hu, Takayoshi Tsutsumi, Thi-Thuy-Nga Nguyen, Shih-Nan Hsiao, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, and Masaru Hori

Atomic Layer Etching of GaN Using Cl2/Ar Plasma at 400℃ 国際会議

Shohei Nakamura, Atsushi Tanide, Takahiro Kimura, Soichi Nadahara, Kenji Ishikawa, and Masaru Hori

Initial growth kinetics of hydrogenated amorphous carbon films observed by real-time ellipsometry 国際会議

Jumpei Kurokawa, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Takayoshi Tsutsumi,Makoto Sekine and Masaru Hori

IR spectra of monosaccharide treated with atmospheric pressure plasma using sum frequency generation spectroscopy 国際会議

Yuta Yoshida, Takayuki Ohta, Kenji Ishikawa, and Masaru Hori

Measurements of negative ion density and plasma parameters in Ar/O2/C4F8 etching plasmas by Langmuir probe-assisted laser photodetachment 国際会議

B. B. Sahu, S.Hattori, T. Tsutsumi, N. Britun, Makoto Sekine, Kenji Ishikawa, H. Tanaka,T. Gohira, Y. Ohya, Noriyasu Ohno, and Masaru Hori

Selective killing effects of organics in plasma-activated Ringer's solutions 国際会議

Yuki Suda, Kenji Ishikawa, Hiroshi Hashizume, Hiromasa Tanaka and Masaru Hori

Reversible change in surface morphology of lipid bilayer induced by indirect plasma irradiation 国際会議

Hiroki Kondo, Takuya Tonami, Sotaro Yamaoka, Hiromasa Tanaka, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, Masafumi Ito and Masaru Hori

Enhancement of alcohol production of budding yeast by direct irradiation of nonequilibrium atmospheric pressure plasma 国際会議

Shogo Matsumura, Kenji Ishikawa, Hiromasa Tanaka, Hiroshi Hashizume, Masafumi Ito, and Masaru Hori

Effect of wall-to-wall distance of carbon nanowalls on survival yield in surface assisted laser desorption/ionization mass spectrometry 国際会議

Ryusei Sakai, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Takayuki Ohta, Mineo Hiramatsu, Naohiro Shimizu, and Masaru Hori

Quality increase of fruits with plasma treatment on strawberry cultivation 国際会議

Hiroshi Hashizume, Shogo Matsumoto, Kenki Tsubota, Kaoru Sanda, Hiroko Mizuno, Akiko Abe, Genki Yuasa, Satoe Tohno, Hiromasa Tanaka, Kenji Ishikawa, Masafumi Ito, Hidemi Kitano, Hitoshi Sakakibara, Susumu Nikawa, Takayuki Okuma, Masayoshi Maeshima,Masaaki Mizuno, and Masaru Hori

Design of removal process of SnO2 on glass by H2/Ar plasma at atmospheric pressure and medium pressure 国際会議

Thi-Thuy-Nga Nguyen, Minoru Sasaki, Takayoshi Tsutsumi, Kenji Ishikawa, and Masaru Hori

Crystalline structures and local electrical conductivity at crossing points of carbon nanowalls 国際会議

Atsushi Ozaki, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Takayoshi Tsutsumi, Makoto Sekine, Mineo Hiramatsu and Masaru Hori

Plasma applications for agriculture from seeds to field 国際会議

Hiroshi Hashizume, Hiroko Mizuno, Akiko Abe, Kenki Tsubota, Genki Yuasa, Satoe Tohno, Mikiko Kojima, Yumiko Takebayashi, Hiromasa Tanaka, Kenji Ishikawa, Masafumi Ito, Hidemi Kitano, Shogo Matsumoto, Hitoshi Sakakibara, Takayuki Okuma, Susumu Nikawa, Masayoshi Maeshima, Masaaki Mizuno, and Masaru Hori

3rd international workshop on plasma agriculture (IWOPA3) Greifswald, Germany. online, March 1-3, 2021 2021年3月1日

Roles of seed pigments in responses of seeds to plasma treatment 国際会議

Kazunori Koga, Pankaj Attri, Ryo Arita, Ryoya Sato, Hayate Tanaka, Masaya Hiromatsu, Kayo Matsuo, Daisuke Yamashita, Kenji Ishikawa, Naho Itagaki, Kunihiro Kamataki, Masaharu Shiratani, and Vida Mildaziene

3rd international workshop on plasma agriculture (IWOPA3) Greifswald, Germany. online, March 1-3, 2021 2021年3月1日

Electron spin resonace study on germination dynamics of plasma-activated seeds of radish sprouts 国際会議

Kenji Ishikawa, Ryo Arita, Ryoya Sato, Hayate Tanaka, Masaya Hiromatsu, Tomoaki Yoshida, Pankaj Attri, Kunihiro Kamataki, Naho Itagaki, Daisuke Yamashita, Kayo Matsuo, Kazunori Koga, and Masaharu Shiratani

3rd international workshop on plasma agriculture (IWOPA3) Greifswald, Germany. online, March 1-3, 2021 2021年3月1日

(Plenary) Plasma-surface interactions in plasma etching of future device fabrication 国際会議

Kenji Ishikawa, Y. Miyawaki, T. Takeuchi, K. Takeda, S. Tajima, H. Kondo, T. Hayashi, M. Sekine, and M. Hori

The 16th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics

Plasma-Biological Surface Interaction for Food Hygiene: Real-time in situ electron spin resonance measurements 国際会議

Kenji Ishikawa, H. Mizuno, H. Tanaka, H. Hashizume, T. Ohta, M. Ito, K. Takeda, H. Kondo, M. Sekine, and M. Hori

The 34th International Symposium on Dry Process (DPS)

A High Temperature Plasma Etching of GaN and Its Reaction Mechanism 国際会議

R. Kometani, S. Chen, M. Liu, Kenji Ishikawa, H. Kondo, K. Takeda, T. Egawa, H. Amano, M. Sekine, and M. Hori

The 34th International Symposium on Dry Process (DPS)

Studies on Plasma Etching of Si3N4 in Capacitively Coupled Plasma employing C5HF7 国際会議

Y. Miyawaki, Y. Kondo, M. Sekine, Kenji Ishikawa, T. Hayashi, K. Takeda, A. Ito, H. Matsumoto, and M. Hori

The 34th International Symposium on Dry Process (DPS)

A reduction of degradation on ArF photoresist by C5HF7 plasma etching and its mechanism 国際会議

K. Asano, Y. Miyawaki, Kenji Ishikawa, M. Sekine, K. Takeda, A. Ito, H. Matsumoto, H. Kondo, and M. Hori

The 34th International Symposium on Dry Process (DPS)

Quantum chemical investigations for excitation dissociations of C5F8 and C5HF7 etching gases 国際会議

T. Hayashi, Kenji Ishikawa, M. Sekine, M. Hori

The 34th International Symposium on Dry Process (DPS)

Highly selective etching of gap-fill dielectrics over SiC and SiN by the dc-bias superposed dual-frequency CCP 国際会議

T. Komuro, K. Takeda, Kenji Ishikawa, M. Sekine, Y. Ohya, H. Kondo, and M. Hori

The 34th International Symposium on Dry Process (DPS)

Photon-stimulated surface reaction and generation of damage to hydrogenated silicon nitride in fluorocarbon plasma 国際会議

M. Fukasawa, H. Matsugai, T. Honda, Y. Miyawaki, Y. Kondo, K. Takeda, H. Kondo, Kenji Ishikawa, M. Sekine, K. Nagahata, F. Uesawa, M. Hori, and T. Tatsumi

The 34th International Symposium on Dry Process (DPS)

An in-situ sequential H and N radical exposure process for recovery of plasma-damaged GaN 国際会議

Z. Liu, S. Chen, Y. Lu, R. Kometani, Kenji Ishikawa, H. Kano, K. Takeda, H. Kondo, M. Sekine, T. Egawa, H. Amano, and M. Hori

The 34th International Symposium on Dry Process (DPS)

High performances of microcrystalline Si thin film formation for a solar cell by measurement and control of hydrogen radicals in the SiH4/H2 plasma 国際会議

Y. Abe, A. Fukushima, Y. Lu, Y. Kim, K. Takeda, H. Kondo, Kenji Ishikawa, M. Sekine, and M. Hori

The 34th International Symposium on Dry Process (DPS)

Evaluation of gas-surface reaction dynamics during the plasmaless Si etching using NO/F2 gas mixture 国際会議

S. Tajima, T. Hayashi, Kenji Ishikawa, M. Sekine, and M. Hori

The 34th International Symposium on Dry Process (DPS)

(INVITED) Real time In Situ Electron Spin Resonance (ESR) Study of Free Radicals on Materials Created by Plasmas 国際会議

Kenji Ishikawa,

American Vacuum Society (AVS)

Investigation of Plasma-Surface Interactions Between Hydrogen Radical and Chemically Amplified Photoresist 国際会議

Arkadiusz Malinowski, Makoto Sekine, Kenji Ishikawa,

American Vacuum Society (AVS)

Evaluation of Surface Chemical Bonding State and Surface Roughness of Chemical Dry Etched Si using NO and F2 Gas Mixture 国際会議

Satomi Tajima, Toshio Hayashi, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, and Masaru Hori

American Vacuum Society (AVS)

Control of Surface Properties on Plasma-Etched Gallium Nitride (GaN) 国際会議

Makoto Sekine, Ryosuke Kometani, Kenji Ishikawa,

American Vacuum Society (AVS)

Subsequent Temporal Change of Gaseous H and N Radical Density in Plasma after Different Processes 国際会議

Toshiya Suzuki, Kenji Ishikawa,

American Vacuum Society (AVS)

(Coburn Winters Finalist) Mechanism of Generating Ions and Radicals in Fluorocarbon Plasma Investigated by Reaction Model Analysis 国際会議

Yusuke Kondo, Kenji Ishikawa,

American Vacuum Society (AVS)

Measurement of activated species generated by 60 Hz excited atmospheric pressure Ar plasma in atmospheric gas 国際会議

Keigo Takeda, Jerome Jolibois, Kenji Ishikawa, Hiromasa Tanaka, Hiroyuki Kano, Makoto Sekine, and Masaru Hori

65th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC)

Reaction model for etching surface interacted with hydrofluorocarbon plasmas 国際会議

Kenji Ishikawa, Yusuke Kondo, Yudai Miyawaki, Toshio Hayashi, Makoto Sekine, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, and Masaru Hori

65th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC)

Study on synthesis processes and crystallinity changes of nanographene materials synthesized by alcohol liquid-plasma 国際会議

Hiroki Kondo, Tatusya Hagino, Keigo Takeda, Kenji Ishikawa, Hiroyuki Kano, Makoto Sekine, and Masaru Hori

65th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC)

Precise plasma process control based on combinatorial plasma etching 国際会議

Makoto Sekine, Toshiya Suzuki, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Yuichi Setsuhara, Masaharu Shiratani, and Masaru Hori

65th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC)

Temperature measurement of substrate with a thin film using low-coherence interference 国際会議

Takayoshi Tsutsumi, Takehiro Hiraoka, Keigo Takeda, Kenji Ishikawa, Hiroki Kondo, Takayuki Ohta, Masafumi Ito, Makoto Sekine, and Masaru Hori

65th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC)

(Invited) Healing Process of Plasma Damaged Gallium Nitride (GaN) 国際会議

Kenji Ishikawa, Shang Chen,

International conference on emerging advanced nanomaterials (ICEAN)

Study of the decomposition mechanism of PMMA-type polymers by hydrogen radicals 国際会議

Yu Arai, Yusuke Noto, Yousuke Goto, Seiji Takahashi, Akihiko Kono, Tatsuo Ishijima, Kenji Ishikawa, Masaru Hori, and Hideo Horibe

7th International Conference on Hot-Wire Chemical Vapor Deposition (HWCVD-7)

Estimation of activation energies for decomposition reaction of polymer by hydrogen radicals generated using hot-wire catalyzer 国際会議

Akihiko Kono, Yu Arai, Yousuke Goto, Seiji Takahashi, Kenji Ishikawa, Masaru Hori, and Hideo Horibe

7th International Conference on Hot-Wire Chemical Vapor Deposition (HWCVD-7)

Real-time electron-spin-resonance measurement of plasma induced surface interactions 国際会議

Naoya Sumi, Kenji Ishikawa, Akihiko Kono, Hideo Horibe, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Makoto Sekine and Masaru Hori

3rd International Symposium on Advance Plasma Science and its Application (ISPlasma2010)

(INVITED) Surface analysis of chemical reactions during plasma etching

Kenji Ishikawa, et al.

133th Workshop on Silicon Technology

(INVITED) Real-time Electron-Spin-Resonance Study of Plasma-Surface interaction 国際会議

Kenji Ishikawa, Naoya Sumi, Akihiko Kono, Hideo Horibe, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Makoto Sekine and Masaru Hori

12th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics Joint Workshop

(INVITED) In line Electron Spin Resonance Study of Plasma-Surface Interaction for plasma etching

Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, Masaru Hori

20th MRS-Japan Academic Symposium, Session A: Frontier of Nano-Materials Based on Advanced Plasma Technologies

Polymer Surface Modification: Vibrational Sum Frequency Generation Study for Plasma Etching 国際会議

Kenji Ishikawa, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Makoto Sekine, Masaru Hori

(INVITED) In line electron spin resonance observation of surface reactions during plasma etching

エタノールを用いた気液プラズマによるカーボンナノ材料の作製

萩野達也，乾裕俊，加納浩之，石川建治，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝

"2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 14a-ZK-6"

単一カーボンナノウォールの電気特性

神田貴幸，山川晃司，竹田圭吾，石川健冶，近藤博基，平松美根男，関根誠，堀勝

"2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16a-ZQ-6"

カーボンナノウォールの成長に対する基板形状の効果

渡邊均，近藤博基，石川健治，竹田圭吾，関根誠，堀勝，平松美根男

"2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16p-ZM-3"

和周波振動分光(SFG)によるポリフッ化ビニリデンの分極配向特性評価

石川健治，河野昭彦，堀邊英夫，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝

"2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 14a-K-2"

Spatial distribution measurement of the electron temperature and density of 60 Hz nonequilibrium atmospheric pressure plasma by laser Thomson scattering

賈鳳東，鷲見直也，石川健治，加納浩之，乾裕俊，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝

"2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 15p-D-4"

サブナノメーター形状揺らぎ制御有機膜エッチングのための主要因子の解明

鈴木俊哉，竹田圭吾，近藤博基，石川健治，関根　誠，堀勝

"2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16p-ZA-8"

C5HF7/O2/ArプラズマによるArFレジスト表面ラフネス発生抑制機構

山本洋，宮脇雄大，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，関根誠，堀勝，伊東安曇，松本裕一

"2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16p-ZA-6"

ガスデザインに基づいたSiO2膜エッチングとその機構解明（III）

宮脇雄大，近藤祐介，竹田圭吾，伊東安曇，松本裕一，近藤博基，石川健治，関根誠，堀勝

"2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16p-ZA-5"

フルオロカーボンプラズマビームによるフォトレジスト表面改質層の解析

竹内拓，尼崎新平，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，豊田浩孝，関根誠，堀勝，康松潤，沢田郁夫

"2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16p-ZA-4"

ラジカルが発生し易いエッチングガスと分子構造

林俊雄，石川健治，関根誠，堀勝，河野明廣，鄒弘綱

"2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16p-ZA-2"

C3F6O代替ガスを用いた絶縁膜の高速エッチングとその機構解明

近藤祐介，宮脇雄大，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，林俊雄，関根誠，岡本秀一，堀勝

"2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16p-ZA-1"

Radical Transport Simulation under Roof on Substrate in Processing Plasma

アルカディウスマリノフスキ，堀勝，関根誠，石川健治，近藤博基，山本洋，竹内拓也，鈴木俊哉，宮脇雄大，リディアルカシャック，アンジェイヤクボフスキ，ダニエルトマシェフスキ

"2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16a-ZA-7"

SF6/O2プラズマを用いたSiエッチング機構

尼崎新平，竹内拓也，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，関根誠，堀勝，櫻井典子，林久貴，酒井伊都子，大岩徳久

"2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会（長崎大学）,16a-ZA-3"

H2/Ar大気圧プラズマによる酸化銅還元反応の検討

乾裕俊，吉田直史，竹田圭吾，近藤博基，石川健治，関根誠，堀勝

"2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会（長崎大学）,16p-ZF-10"

アモルファスカーボン膜の結晶構造に対する成長温度の効果

木野徳重，近藤博基，石川健治，関根誠，堀勝

"2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16p-ZF-3"

Ｎ原子注入によるアモルファスカーボン膜の結晶性制御

九鬼淳，木野徳重，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，関根誠，堀勝

"2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16p-ZF-2"

水素ラジカル注入型プラズマ源を用いた微結晶シリコン薄膜の成膜

川嶋翔，阿部祐介，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，関根誠，堀勝

"2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16a-ZF-8"

非平衡大気圧プラズマによるミドリカビ殺菌速度の酸素ラジカル密度依存性

井関紗千子，太田貴之，伊藤昌文，加納浩之，東島康裕，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，関根誠，堀勝

"2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 15p-D-17"

非平衡大気圧プラズマにおける原子状ラジカルの挙動に関する研究

加藤正規，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，関根誠，堀勝

"2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 15p-D-16"

太陽電池用シリコン薄膜プラズマプロセスにおける水素原子表面損失確率（II）

阿部祐介，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，関根誠，堀勝

"2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 15p-D-11"

二周波容量結合型エッチングプラズマにおける上部電極へのDCバイアス印加効果(III)

山口剛，竹田圭吾，輿水地塩，近藤博基，石川健治，関根誠，堀勝

"2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16p-ZA-9"

プラズマによるGaNエッチング損傷と反応機構の解析

陳尚，米谷亮祐，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，加納浩之，徳田豊，関根誠，節原裕一，江川孝志，天野浩，堀勝

"2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 17a-ZA-3"

高精度Cl2プラズマビームを用いたGaNエッチング表面反応の解明

米谷亮祐，陳尚，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，関根誠，江川孝志，節原裕一，天野浩，堀勝

"2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 17a-ZA-2"

リアルタイム電子スピン共鳴によるプラズマ誘起表面反応の解析

鷲見直也，石川健冶，河野昭彦，堀邊英夫，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝

"2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16p-ZA-13"

O2プラズマ曝露によるポーラスSiOCH 膜へのダメージ発生メカニズム

浅野高平，山本洋，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，関根誠，堀勝

"2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16p-ZA-12"

Modification of Si-O-Si Structure in Porous SiOCH Films by O2 plasma 国際会議

Hiroshi Yamamoto, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, Masaru Hori

The 11th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics, Ramada Jeju Hotel, Jeju, Korea

Control in optical properties of amorphous carbon films synthesized by plasma enhanced chemical vapor deposition for solar cell applications

International Symposium on Technology Evolution for Silicon Nano-Electronics, Tokyo Institute of Technology, Tokyo, Japan

イオン照射誘起深い準位欠陥の水素ラジカルによる不活性化

陳尚，永江陽一，石川健治，中井雅文，加納浩之，竹田圭吾，近藤博基，徳田豊，関根誠，堀勝

2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会（東海大学）, 17p-D-7

反応性プラズマ中におけるC2F4の解離過程

林俊雄，石川健治，関根誠，堀勝，河野明廣，鄒弘綱

2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会（東海大学）, 19a-ZB-11

O2プラズマおよびCO2プラズマによるレジストアッシング機構

阿部祐介，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，関根誠，堀勝

2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会（東海大学）, 18p-ZD-2

SF6/O2プラズマによるフォトレジスト表面改質層の解析

竹内拓也，尼崎新平，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，関根誠，堀勝

2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会（東海大学）, 18p-ZD-3

ガスデザインに基づいたSiO2膜エッチングとその機構解明（II）

宮脇雄大，竹田圭吾，伊東安曇，中村昌洋，石川健治，関根誠，堀勝

2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会（東海大学）, 18p-ZD-9

ポーラスSiOCH膜プラズマ処理後の大気曝露の影響(II)

鈴木俊哉，山本洋，竹田圭吾，近藤博基，石川健治，関根誠，堀勝

2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会（東海大学）, 18p-ZD-10

誘導結合型H2/N2プラズマによる有機low-k薄膜のための小型コンビナトリアルプラズマエッチングプロセス

堀勝，チャンソンムン，竹田圭吾，関根誠，節原裕一，白谷正治，石川健治，近藤博基

2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会（東海大学）, 18p-ZD-18

和周波振動分光によるプラズマ処理表面の解析

石川健治，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝

2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会（東海大学）, 19a-R-14

反応性プラズマ中におけるc-C4F8の解離過程

林俊雄，石川健治，関根誠，堀勝，河野明廣，鄒弘綱

2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会（東海大学）, 18a-ZD-10

プラズマCVD法における微結晶シリコン薄膜形成のメカニズム解明

川嶋翔，阿部祐介，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，関根誠，堀　　勝

2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会（東海大学）, 19a-ZB-8

ポーラスSiOCH low-k膜へのH2/N2プラズマアッシングダメージ発生機構の解明(II)

山本洋，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，関根誠，堀勝，上夏井健，林久貴，酒井伊都子，大岩徳久

2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会（東海大学）, 18a-ZD-8

Dissociation channel of c-C4F8 to CF2 radical in reactive plasma

The 3rd International Conference on PLAsma-Nano Technology & Science (IC-PLANTS2010), Meijo University, Nagoya Japan

Quasi-Bragg grating with sub-wavelength particles

The 3rd International Conference on PLAsma-Nano Technology & Science (IC-PLANTS2010), Meijo University, Nagoya Japan

Radical Kinetics in N2-H2 Plasma Generated by Novel High Density Radical Source