講演・口頭発表等 - 石川 健治
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Real-time electron-spin-resonance measurement of plasma induced surface interactions 国際会議
Naoya Sumi, Kenji Ishikawa, Akihiko Kono, Hideo Horibe, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Makoto Sekine and Masaru Hori
3rd International Symposium on Advance Plasma Science and its Application (ISPlasma2010)
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(INVITED) Surface analysis of chemical reactions during plasma etching
Kenji Ishikawa, et al.
133th Workshop on Silicon Technology
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(INVITED) Real-time Electron-Spin-Resonance Study of Plasma-Surface interaction 国際会議
Kenji Ishikawa, Naoya Sumi, Akihiko Kono, Hideo Horibe, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Makoto Sekine and Masaru Hori
12th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics Joint Workshop
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(INVITED) In line Electron Spin Resonance Study of Plasma-Surface Interaction for plasma etching
Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, Masaru Hori
20th MRS-Japan Academic Symposium, Session A: Frontier of Nano-Materials Based on Advanced Plasma Technologies
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Polymer Surface Modification: Vibrational Sum Frequency Generation Study for Plasma Etching 国際会議
Kenji Ishikawa, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Makoto Sekine, Masaru Hori
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(INVITED) In line electron spin resonance observation of surface reactions during plasma etching
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エタノールを用いた気液プラズマによるカーボンナノ材料の作製
萩野達也，乾裕俊，加納浩之，石川建治，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 14a-ZK-6"
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単一カーボンナノウォールの電気特性
神田貴幸，山川晃司，竹田圭吾，石川健冶，近藤博基，平松美根男，関根誠，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16a-ZQ-6"
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カーボンナノウォールの成長に対する基板形状の効果
渡邊均，近藤博基，石川健治，竹田圭吾，関根誠，堀勝，平松美根男
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16p-ZM-3"
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和周波振動分光(SFG)によるポリフッ化ビニリデンの分極配向特性評価
石川健治，河野昭彦，堀邊英夫，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 14a-K-2"
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Spatial distribution measurement of the electron temperature and density of 60 Hz nonequilibrium atmospheric pressure plasma by laser Thomson scattering
賈鳳東，鷲見直也，石川健治，加納浩之，乾裕俊，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 15p-D-4"
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プラズマによるGaNエッチング損傷と反応機構の解析
陳尚，米谷亮祐，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，加納浩之，徳田豊，関根誠，節原裕一，江川孝志，天野浩，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 17a-ZA-3"
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高精度Cl2プラズマビームを用いたGaNエッチング表面反応の解明
米谷亮祐，陳尚，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，関根誠，江川孝志，節原裕一，天野浩，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 17a-ZA-2"
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リアルタイム電子スピン共鳴によるプラズマ誘起表面反応の解析
鷲見直也，石川健冶，河野昭彦，堀邊英夫，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16p-ZA-13"
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O2プラズマ曝露によるポーラスSiOCH 膜へのダメージ発生メカニズム
浅野高平，山本洋，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，関根誠，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16p-ZA-12"
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二周波容量結合型エッチングプラズマにおける上部電極へのDCバイアス印加効果(III)
山口剛，竹田圭吾，輿水地塩，近藤博基，石川健治，関根誠，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16p-ZA-9"
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サブナノメーター形状揺らぎ制御有機膜エッチングのための主要因子の解明
鈴木俊哉，竹田圭吾，近藤博基，石川健治，関根 誠，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16p-ZA-8"
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C5HF7/O2/ArプラズマによるArFレジスト表面ラフネス発生抑制機構
山本洋，宮脇雄大，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，関根誠，堀勝，伊東安曇，松本裕一
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16p-ZA-6"
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ガスデザインに基づいたSiO2膜エッチングとその機構解明（III）
宮脇雄大，近藤祐介，竹田圭吾，伊東安曇，松本裕一，近藤博基，石川健治，関根誠，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16p-ZA-5"
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フルオロカーボンプラズマビームによるフォトレジスト表面改質層の解析
竹内拓，尼崎新平，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，豊田浩孝，関根誠，堀勝，康松潤，沢田郁夫
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16p-ZA-4"