講演・口頭発表等 - 石川 健治
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Real-time electron-spin-resonance measurement of plasma induced surface interactions 国際会議
Naoya Sumi, Kenji Ishikawa, Akihiko Kono, Hideo Horibe, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Makoto Sekine and Masaru Hori
3rd International Symposium on Advance Plasma Science and its Application (ISPlasma2010)
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(INVITED) Surface analysis of chemical reactions during plasma etching
Kenji Ishikawa, et al.
133th Workshop on Silicon Technology
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(INVITED) Real-time Electron-Spin-Resonance Study of Plasma-Surface interaction 国際会議
Kenji Ishikawa, Naoya Sumi, Akihiko Kono, Hideo Horibe, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Makoto Sekine and Masaru Hori
12th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics Joint Workshop
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(INVITED) In line Electron Spin Resonance Study of Plasma-Surface Interaction for plasma etching
Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, Masaru Hori
20th MRS-Japan Academic Symposium, Session A: Frontier of Nano-Materials Based on Advanced Plasma Technologies
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Polymer Surface Modification: Vibrational Sum Frequency Generation Study for Plasma Etching 国際会議
Kenji Ishikawa, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Makoto Sekine, Masaru Hori
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(INVITED) In line electron spin resonance observation of surface reactions during plasma etching
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エタノールを用いた気液プラズマによるカーボンナノ材料の作製
萩野達也，乾裕俊，加納浩之，石川建治，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 14a-ZK-6"
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カーボンナノウォールの成長に対する基板形状の効果
渡邊均，近藤博基，石川健治，竹田圭吾，関根誠，堀勝，平松美根男
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16p-ZM-3"
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和周波振動分光(SFG)によるポリフッ化ビニリデンの分極配向特性評価
石川健治，河野昭彦，堀邊英夫，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 14a-K-2"
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単一カーボンナノウォールの電気特性
神田貴幸，山川晃司，竹田圭吾，石川健冶，近藤博基，平松美根男，関根誠，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16a-ZQ-6"
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Spatial distribution measurement of the electron temperature and density of 60 Hz nonequilibrium atmospheric pressure plasma by laser Thomson scattering
賈鳳東，鷲見直也，石川健治，加納浩之，乾裕俊，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 15p-D-4"
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Ｎ原子注入によるアモルファスカーボン膜の結晶性制御
九鬼淳，木野徳重，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，関根誠，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16p-ZF-2"
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水素ラジカル注入型プラズマ源を用いた微結晶シリコン薄膜の成膜
川嶋翔，阿部祐介，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，関根誠，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16a-ZF-8"
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非平衡大気圧プラズマによるミドリカビ殺菌速度の酸素ラジカル密度依存性
井関紗千子，太田貴之，伊藤昌文，加納浩之，東島康裕，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，関根誠，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 15p-D-17"
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非平衡大気圧プラズマにおける原子状ラジカルの挙動に関する研究
加藤正規，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，関根誠，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 15p-D-16"
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太陽電池用シリコン薄膜プラズマプロセスにおける水素原子表面損失確率（II）
阿部祐介，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，関根誠，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 15p-D-11"
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アモルファスカーボン膜の結晶構造に対する成長温度の効果
木野徳重，近藤博基，石川健治，関根誠，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16p-ZF-3"
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プラズマによるGaNエッチング損傷と反応機構の解析
陳尚，米谷亮祐，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，加納浩之，徳田豊，関根誠，節原裕一，江川孝志，天野浩，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 17a-ZA-3"
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高精度Cl2プラズマビームを用いたGaNエッチング表面反応の解明
米谷亮祐，陳尚，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，関根誠，江川孝志，節原裕一，天野浩，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 17a-ZA-2"
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リアルタイム電子スピン共鳴によるプラズマ誘起表面反応の解析
鷲見直也，石川健冶，河野昭彦，堀邊英夫，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16p-ZA-13"