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O2プラズマ曝露によるポーラスSiOCH 膜へのダメージ発生メカニズム
浅野高平，山本洋，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，関根誠，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16p-ZA-12"
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二周波容量結合型エッチングプラズマにおける上部電極へのDCバイアス印加効果(III)
山口剛，竹田圭吾，輿水地塩，近藤博基，石川健治，関根誠，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16p-ZA-9"
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サブナノメーター形状揺らぎ制御有機膜エッチングのための主要因子の解明
鈴木俊哉，竹田圭吾，近藤博基，石川健治，関根 誠，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16p-ZA-8"
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C5HF7/O2/ArプラズマによるArFレジスト表面ラフネス発生抑制機構
山本洋，宮脇雄大，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，関根誠，堀勝，伊東安曇，松本裕一
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16p-ZA-6"
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ガスデザインに基づいたSiO2膜エッチングとその機構解明（III）
宮脇雄大，近藤祐介，竹田圭吾，伊東安曇，松本裕一，近藤博基，石川健治，関根誠，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16p-ZA-5"
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フルオロカーボンプラズマビームによるフォトレジスト表面改質層の解析
竹内拓，尼崎新平，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，豊田浩孝，関根誠，堀勝，康松潤，沢田郁夫
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16p-ZA-4"
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ラジカルが発生し易いエッチングガスと分子構造
林俊雄，石川健治，関根誠，堀勝，河野明廣，鄒弘綱
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16p-ZA-2"
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C3F6O代替ガスを用いた絶縁膜の高速エッチングとその機構解明
近藤祐介，宮脇雄大，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，林俊雄，関根誠，岡本秀一，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16p-ZA-1"
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Radical Transport Simulation under Roof on Substrate in Processing Plasma
アルカディウス マリノフスキ，堀勝，関根誠，石川健治，近藤博基，山本洋，竹内拓也，鈴木俊哉，宮脇雄大，リディア ルカシャック，アンジェイ ヤクボフスキ，ダニエル トマシェフスキ
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）, 16a-ZA-7"
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SF6/O2プラズマを用いたSiエッチング機構
尼崎新平，竹内拓也，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，関根誠，堀勝，櫻井典子，林久貴，酒井伊都子，大岩徳久
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）,16a-ZA-3"
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H2/Ar大気圧プラズマによる酸化銅還元反応の検討
乾裕俊，吉田直史，竹田圭吾，近藤博基，石川健治，関根誠，堀勝
"2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会（長崎大学）,16p-ZF-10"
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Modification of Si-O-Si Structure in Porous SiOCH Films by O2 plasma International conference
Hiroshi Yamamoto, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, Masaru Hori
The 11th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics, Ramada Jeju Hotel, Jeju, Korea
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Control in optical properties of amorphous carbon films synthesized by plasma enhanced chemical vapor deposition for solar cell applications
International Symposium on Technology Evolution for Silicon Nano-Electronics, Tokyo Institute of Technology, Tokyo, Japan
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イオン照射誘起深い準位欠陥の水素ラジカルによる不活性化
陳尚，永江陽一，石川健治，中井雅文，加納浩之，竹田圭吾，近藤博基，徳田豊，関根誠，堀勝
2010年春季 第57回 応用物理学関係連合講演会（東海大学）, 17p-D-7
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プラズマCVD法における微結晶シリコン薄膜形成のメカニズム解明
川嶋翔，阿部祐介，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，関根誠，堀 勝
2010年春季 第57回 応用物理学関係連合講演会（東海大学）, 19a-ZB-8
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ポーラスSiOCH low-k膜へのH2/N2プラズマアッシングダメージ発生機構の解明(II)
山本洋，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，関根誠，堀勝，上夏井健，林久貴，酒井伊都子，大岩徳久
2010年春季 第57回 応用物理学関係連合講演会（東海大学）, 18a-ZD-8
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反応性プラズマ中におけるc-C4F8の解離過程
林俊雄，石川健治，関根誠，堀勝，河野明廣，鄒弘綱
2010年春季 第57回 応用物理学関係連合講演会（東海大学）, 18a-ZD-10
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反応性プラズマ中におけるC2F4の解離過程
林俊雄，石川健治，関根誠，堀勝，河野明廣，鄒弘綱
2010年春季 第57回 応用物理学関係連合講演会（東海大学）, 19a-ZB-11
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O2プラズマおよびCO2プラズマによるレジストアッシング機構
阿部祐介，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，関根誠，堀勝
2010年春季 第57回 応用物理学関係連合講演会（東海大学）, 18p-ZD-2
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SF6/O2プラズマによるフォトレジスト表面改質層の解析
竹内拓也，尼崎新平，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，関根誠，堀勝
2010年春季 第57回 応用物理学関係連合講演会（東海大学）, 18p-ZD-3