講演・口頭発表等 - 堤 隆嘉
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Behavior of Hydrogen Atom in Atmospheric Pressure Micro-Hollow Cathode Discharge 国際会議
Keigo Takeda, Takayoshi Tsutsumi, Mineo Hiramatsu, Masaru Hori
12th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-12)
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Random forest model for property control of plasma 国際会議
J. Kurokawa, T. Tsutsumi, K. Ishikawa, H. Kondo, M. Sekine, and M. Hori
The 42nd International Symposium on Dry Process (DPS2021)
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Selective plasma-enhanced atomic layer etching of SiO using a silane coupling agent 国際会議
A. Osonio, T. Tsutsumi, B. Mukherjee, R. Borude, N. Kobayashi, M. Hori
The 42nd International Symposium on Dry Process (DPS2021)
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Transient effects in cyclic processes on fabrications of high-aspect-ratio trenches 国際会議
T. Yoshie, T. Tsutsumi, K. Ishikawa, M. Hori
The 42nd International Symposium on Dry Process (DPS2021)
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Control of Interface Layers for Selective Atomic Layer Etching 招待有り 国際会議
Takayoshi Tsutsumi, R. Vervuurt, N. Kobayashi, and Masaru Hori
67th AVS International Symposium and Exhibitio
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Ar/C4F8/SF6を用いたガス変調サイクルプロセスにおける活性種の挙動2
吉江 泰斗、堤 隆嘉、石川 健治、堀 勝
第82回 応用物理学会秋季学術講演会
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カーボンナノウォールの光透過率に対する壁密度および高さの効果
射場 信太朗、近藤 博基、石川 健治、堤 隆嘉、平松 美根男、関根 誠、堀 勝
第82回 応用物理学会秋季学術講演会
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窒化ガリウムのプラズマエッチング中その場分光エリプソメトリー観測
南 吏玖、石川 健治、堤 隆嘉、近藤 博基、関根 誠、小田 修、堀 勝
第82回 応用物理学会秋季学術講演会
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原子層エッチングの反応素過程とその設計、制御
石川 健治、Nguyen Thi-Thuy-Nga、堤 隆嘉、蕭 世男、近藤 博基、関根 誠、堀 勝
第82回 応用物理学会秋季学術講演会
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螺旋状窒素プラズマ中の窒素原子密度計測
西尾 亮佑、梶田 信、大野 哲靖、田中 宏彦、浅岡 晃次、堤 隆嘉、堀 勝
第82回 応用物理学会秋季学術講演会
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C3H6 / H2プラズマを用いたアモルファスカーボン成膜において水素ガス流量比が膜特性に与える影響
黒川 純平、光成 正、堤 隆嘉、近藤 博基、関根 誠、石川 健治、堀 勝
第82回 応用物理学会秋季学術講演会
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プラズマ誘起欠陥の発生と修復 ~モバイル水素の役割と考察~
布村 正太、坂田 功、堤 隆嘉、堀 勝
第82回 応用物理学会秋季学術講演会
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Development of the nanocarbon coating process on metal surfaces via in-liquid plasma 国際会議
Ma. Shanlene D.C. Dela Vega, Hiroki Kondo, Takayoshi Tsutsumi, Thi-Thuy-Nga Nguyen, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, Masaru Hori
Interfinish 2020 World Congress
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Application of Atmospheric Pressure Plasma to Rapid Dry Etching of Polymer Contamination on Floor 国際会議
Y Sakamoto, T Tsutsumi, M Hori
Interfinish 2020 World Congress
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Numerical analysis of effects of applying voltage polarity on atmospheric pressure argon streamer discharge under pin-to-plane electrode geometry 国際会議
Y. Sato, K. Ishikawa, T. Tsutsumi, A. Ui, M. Akita, S. Oka and M. Hori
47th Conference on Plasma Physics
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塩素吸着による窒化ガリウム原子層エッチングの表面反応の理想と現実
堤 隆嘉, 長谷川 将希, 中村 昭平, 谷出 敦,近藤 博基, 関根 誠, 石川 健治, 堀 勝
第227回 シリコンテクノロジー分科会 研究集会 2021年3月25日
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液中プラズマを用いたナノグラフェン合成における活性種の効果[II]
近藤 博基、濱地 遼、堤 隆嘉、石川 健治、関根 誠、堀 勝
第68回応⽤物理学会春季学術講演会
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塩素吸着を用いた窒化ガリウムの原子層エッチングプロセス特性のArイオンエネルギー依存性
堤 隆嘉、長谷川 将希、中村 昭平、谷出 敦、近藤 博基、関根 誠、石川 健治、堀 勝
2021年第68回応⽤物理学会春季学術講演会
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リモート酸素ラジカルによるグラフェンのエッチング反応の分析
胡 留剛、堤 隆嘉、蕭 世男、近藤 博基、石川 健治、関根 誠、堀 勝
2021年第68回応⽤物理学会春季学術講演会
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マイクロ放電ホローカソードプラズマを用いた真空紫外吸収分光用自己吸収光源の分光診断
竹田 圭吾、堤 隆嘉、平松 美根男、堀 勝
2021年第68回応⽤物理学会春季学術講演会