講演・口頭発表等 - 堤 隆嘉
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Behaviors of Charged Species in Afterglow of Dual Frequency Pulsed Capacitively Coupled Plasma with a Synchronous Negative DC-bias 国際会議
T. Tsutsumi, T. Ueyama, K. Ishikawa, H. Kondo, M. Sekine, Y. Ohya, M. Hori
AVS 65th INTERNATIONAL SYMPOSIUM & EXHIBITION 2018
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Fundamental Studies of Plasma Species with Organic Materials of Varying Hydrogen and Oxygen Composition by Computational and Experimental Approaches 国際会議
Y. Fukunaga, P. Ventzek, B. Lane, A. Ranjan, M. Sekine, T. Tsutsumi, H. Kondo, K. Ishikawa, R. Upadhyay, L. L. Raja, G. Hartmann, G. S. Hwang, M. Hori
AVS 65th INTERNATIONAL SYMPOSIUM & EXHIBITION 2018
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Fine Temperature Monitoring of Si Wafer for Plasma Processing 招待有り 国際会議
Masafumi Ito, Takayuki Ohta, Takayoshi Tsutsumi, Masaru Hori
AIMES2018
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Si系材料のフルオロカーボンプラズマ支援原子層エッチング 招待有り
堤 隆嘉、近藤 博基、石川 健治、関根 誠、小林 伸好、堀 勝
第79回応用物理学会秋季学術講演会
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Cl2プラズマによるGaN高温エッチングのH2添加効果
大道貴裕、 谷出敦、 石川健治、 堤隆嘉、 近藤博基、 関根誠、 堀勝
第79回 応用物理学会秋季学術講演会
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原子状水素によるアモルファスカーボン膜の欠陥終端機構
大橋 靖之, 杉浦 啓嗣, 近藤 博基, 石川 健治, 堤 隆嘉, 関根 誠, 堀 勝
第79回 応用物理学会秋季学術講演会
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蓚酸カルシウム結晶化過程のプラズマ照射単糖溶液中活性有機物質
岡部 萌、石川 健治、田中 宏昌、橋爪 博司、堤 隆嘉、近藤 博基、関根 誠、堀 勝
第79回 応用物理学会秋季学術講演会
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高電位試験時における白金微粒子担持カーボンナノウォール電極の分極特性の変化
今井 駿, 近藤 博基, 石川 健治, 堤 隆嘉, 平松 美根男, 関根 誠, 堀 勝
第79回 応用物理学会秋季学術講演会
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カーボンナノウォール足場上での電気刺激下細胞培養における分化制御機構
市川 知範, 近藤 博基, 橋爪 博司, 田中 宏昌, 堤 隆嘉, 石川 健治, 堀 勝
第79回 応用物理学会秋季学術講演会
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In-situ表面解析手法による水素プラズマのSiNx表面改質機構
中根一也、ルネイ ヘリンカス ヨセフ フェーフィート、堤隆嘉、小林明子、小林伸好、堀勝
第79回 応用物理学会秋季学術講演会
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シュードコリシスティス藻培養への大気圧プラズマ処理効果
加藤拓海,細井祐吾, 山岡壮太郎, 橋爪博司, 石川健治, 田中宏昌, 堤隆嘉,近藤博基, 関根誠, 堀勝
第79回 応用物理学会秋季学術講演会
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液中プラズマによるナノグラフェン合成におけるヒロドキシル基の効果
近藤 博基、安藤 睦、石川 健治、堤 隆嘉、平松 美根男、関根 誠、堀 勝
第79回 応用物理学会秋季学術講演会
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プラズマ活性ラクテック(PAL)で培養したHeLa細胞応答メカニズム
前田 昌吾、細井 祐吾、石川 健治、橋爪 博司、田中 宏昌、堤 隆嘉、近藤 博基、関根 誠、堀 勝
第79回 応用物理学会秋季学術講演会
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プラズマプロセス制御による線幅10 nmの高アスペクト有機薄膜パターン形成
福永 裕介、堤 隆嘉、石川 健治、近藤 博基、関根 誠、堀 勝
第79回 応用物理学会秋季学術講演会
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ガス滞在時間に依存した成膜前駆体の生成に基づくアモルファスカーボン膜中のsp2炭素結合の制御
杉浦 啓嗣、大橋 靖之、賈 凌雲、近藤 博基、石川 健治、堤 隆嘉、竹田 圭吾、関根 誠、堀 勝
第79回 応用物理学会秋季学術講演会
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Etching of glass by floating-wire assisted atmospheric pressure plasma
Thi-Thuy-Nga Nguyen, Minoru Sasaki, Hidefumi Odaka, Takayoshi Tsutsumi, Kenji Ishikawa, Masaru Hori
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Arイオン照射窒化ガリウム表面の塩素吸着挙動
長谷川将希,堤隆嘉,谷出敦,近藤博基,関根誠,石川健治,堀勝
第79回 応用物理学会秋季学術講演会
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Liquid phase plasma assisted synthesis of Tin oxide - Graphene composite
Ranjit Borude, Kenji Ishikawa, Takayoshi Tsutsumi, Hiroki Kondo, Masaru Hori
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Aqueous Reactions of Radicals in Non-equilibrium Atmospheric Pressure Plasma-activated Lactec Solutions
Yang Liu,Kaede Katsuno,Yugo Hosoi,Kenji Ishikawa,Hiroshi Hashizume,Hiromasa Tanaka,Takayoshi Tsutsumi,Hiroki Kondo,Makoto Sekine,Masaru Hori
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In situ Quantitative Analysis of Chlorine Adsorption on Ion-irradiated GaN for Atomic Layer Etching 国際会議
Masaki Hasegawa, Takayoshi Tsutsumi, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Masaru Hori
5th International Atomic Layer Etching Workshop