低温プラズマ科学研究センター

プラズマ応用科学、表面界面物性

低温プラズマ科学研究センター 半導体プロセス科学部門

低温プラズマ科学研究センター 半導体ナノプロセス研究部門

低温プラズマ科学研究センター 統括部門

ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 電子デバイス、電子機器

低温プラズマ科学研究センター プラズマバイオ部門

低温プラズマ科学研究センター サステナブル技術研究開発部門

低温プラズマ科学研究センター 先端ドライプロセス研究部門

低温プラズマ科学研究センター プラズマ科学部門