2025/01/02 更新

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ホリ マサル
堀 勝
HORI Masaru
所属
低温プラズマ科学研究センター 特任教授
職名
特任教授
連絡先
メールアドレス

学位 1

  1. 工学博士 ( 1986年3月   名古屋大学 ) 

研究分野 2

  1. その他 / その他  / プラズマ応用科学

  2. ものづくり技術(機械・電気電子・化学工学) / 電子デバイス、電子機器  / 表面界面物性

現在の研究課題とSDGs 3

  1. ラジカル制御プラズマプロセスに関する研究

  2. プラズマ生命科学(医学・農水産学・薬学)の開拓に関する研究

  3. 低温プラズマ科学と応用に関する研究

経歴 13

  1. 名古屋大学低温プラズマ科学研究センター   特任教授   名古屋大学名誉教授

    2023年4月 - 現在

  2. 名古屋大学低温プラズマ科学研究センター長

    2019年4月 - 2023年3月

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    国名:日本国

  3. 名古屋大学未来社会創造機構 機構長補佐

    2016年4月 - 2019年3月

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    国名:日本国

  4. 名古屋大学未来社会創造機構 暮らし・健康基盤情報部門長(COI)

    2014年4月 - 2017年3月

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    国名:日本国

  5. 名古屋大学プラズマ医療科学国際イノベーションセンター長

    2013年8月 - 2019年3月

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    国名:日本国

  6. NU-SKKU 先端プラズマナノ材料研究所(韓国)研究所長

    2011年11月 - 2019年9月

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    国名:大韓民国

  7. 名古屋大学大学院工学研究科付属プラズマナノ工学研究センター長

    2009年4月 - 2013年3月

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    国名:日本国

  8. 名古屋大学教授

    2004年4月 - 現在

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    国名:日本国

  9. 英国ケンブリッジ大学キャベンディシュ研究所客員研究員

    1997年8月 - 1997年12月

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    国名:日本国

  10. 名古屋大学助教授(工学部)

    1996年7月 - 2004年3月

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    国名:日本国

  11. 名古屋大学講師(工学部)

    1994年4月 - 1996年6月

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    国名:日本国

  12. 名古屋大学助手(工学部)

    1992年4月 - 1994年3月

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    国名:日本国

  13. (株)東芝 総合研究所 超LSI研究所

    1986年4月 - 1992年3月

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    国名:日本国

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学歴 2

  1. 名古屋大学   工学研究科   電子工学

    - 1986年

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    国名: 日本国

  2. 早稲田大学   理工学部   電子通信学科

    - 1981年

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    国名: 日本国

所属学協会 6

  1. プラズマ・核融合学会

  2. 応用物理学会

  3. Materials Research Society

  4. American Vacuum Society

  5. 日本分光学会

  6. 日本表面技術科学会

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委員歴 183

  1. プラズマソサエティ   会長  

    2022年6月 - 現在   

  2. 日本学術会議   連携委員  

    2011年4月 - 2023年9月   

  3. 学術振興会「153委員会」プラズマ材料科学   委員長  

    2016年4月 - 2017年3月   

  4. 応用物理学会   常務理事  

    2009年4月 - 2011年3月   

  5. 表面技術協会   理事  

    2010年4月 - 2012年3月   

  6. 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会   幹事長  

    2010年4月 - 2012年3月   

  7. ISPC25   Organizing Committee  

    2023年5月   

  8. ICRP-11 / GEC 2022, 11th International Conference on Reactive Plasma / 2022 Gaseous Electronics Conference / 40th Symposium on Plasma Processing (SPP-40) / 35th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM35)   Advisory Committee  

    2022年10月   

  9. 9th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces(ISCSI-IX)   International Technical Program Committee.  

    2022年9月   

  10. 5th International Symposium on Plasmas for Catalysis and Energy Materials (ISPCEM)   International Advisory Committee  

    2022年7月   

  11. The International Symposium of the Vacuum Society of the Philippines (ISVSP 2022) conference   Scientific Program Committee  

    2022年2月   

  12. The 13th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE 2021)   International Scientific Committee (ISC)  

    2022年2月   

  13. The 43rd International Symposium on Dry Process (DPS2022)   Organizing Committee  

    2022年   

  14. 42nd International Symposium on Dry Process (DPS2021)   Organizing Committee  

    2021年11月   

  15. Interfinish2020   Chair of International Organizing Committee  

    2021年9月   

  16. The 2nd Plasma Thin films International Union Meeting (PLATHINIUM 2021)   International Scientific Committee  

    2021年9月   

  17. The 2nd International Workshop on Plasma Agriculture (IWOPA-3)   International Organizing Committee  

    2021年3月   

  18. ISplasma2021/IC-PLANTS2021   Organizing Committee.  

    2021年3月   

  19. The 8th International Conference on Plasma Medicine (ICPM-8)   Board & International Scientific Committee  

    2020年11月   

  20. The 10th Global Nanotechnology Congress and Expo (Nano-2020)   Organizing Committee  

    2020年11月   

  21. The 11th International Symposium on Plasma Nanoscience (iPlasmaNano-XI)   Executive Committee  

    2020年9月   

  22. ISplasma2020/IC-PLANTS2020   Advisory Committee.  

    2020年3月   

  23. 41st International Symposium on Dry Process Symposium (DPS2019)   Vice Chair of Executive Committee and Organizing Committee  

    2019年11月   

  24. 41st International Symposium on Dry Process (DPS2019)   Organizing Committee.  

    2019年11月   

  25. 8th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces   International Technical Program Committee  

    2019年11月   

  26. Plasma Thin film International Union Meeting, PLATHINIUM   International Scientific Committee  

    2019年9月   

  27. The 10th International Symposium on Plasma Nanoscience (iPlasmaNano-X)   Executive Committee  

    2019年9月   

  28. The 12th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering(AEPSE 2019)   International Program Committee  

    2019年9月   

  29. International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC24)   International Organizing Committee  

    2019年6月   

  30. 6th International Workshop on Plasma for Cancer Treatment (IWPCT 2019)   International Scientific Committee  

    2019年4月   

  31. ISplasma2019/IC-PLANTS2019,   Organizing Committee  

    2019年3月   

  32. 40th International Symposium on Dry Process Symposium (DPS2018)   Chair of Executive Committee and Organizing Committee  

    2018年11月   

  33. 40th International Symposium on Dry Process (DPS2018)   Executive Committee Chair / Organizing Committee  

    2018年11月   

  34. 2018 International Symposium on Plasmas for Catalysts and Energy Materials (ISPCEM-2018)   International Advisory Board  

    2018年10月   

  35. The 8th International Workshop on Plasma Spectroscopy (IPS 2018)   International Scientific Committee  

    2018年9月   

  36. The 9th International Symposium on Plasma Nanoscience (iPlasmaNano-IX)   Executive Committee  

    2018年8月   

  37. 2018 Asia-Pacific Conference on Plasma and Terahertz Science (APCOPTS)   International Advisory Committee  

    2018年8月   

  38. The 7th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP 2018)   International Advisory Committee  

    2018年7月   

  39. 7th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP 2018)   International Advisory Committee  

    2018年7月   

  40. Joint International Conference on ICMAP 2018, APCPST 2018, and ISPB 2018   International Advisory Committee  

    2018年6月   

  41. 7th International Conference on Plasma Medicine (ICPM-7)   Board & International Scientific Committee  

    2018年6月   

  42. The 2nd International Workshop on Plasma Agriculture (IWOPA-2)   International Organizing Committee  

    2018年3月   

  43. ISplasma2018/IC-PLANTS2018   Organizing Committee.  

    2018年3月   

  44. 5th International Workshop on Plasma for Cancer Treatment (IWPCT 2018)   International Scientific Committee  

    2018年3月   

  45. 39th International Symposium on Dry Process Symposium (DPS2017)   Organizing Committee  

    2017年11月   

  46. The 8th International Symposium on Plasma Nanoscience (iPlasmaNano-IIIV)   Executive Committee  

    2017年9月 - 2017年10月   

  47. The 11th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering(AEPSE 2017)   Organizing Committee Co-Chair.  

    2017年9月   

  48. 2017 International Forum on Functional Materials (IFFM2017)   International Advisory Board  

    2017年6月   

  49. Korea-Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics & The Workshop for NU-SKKU Joint Institute for Plasma-Nano Materials   Co-Chair  

    2017年4月   

  50. ISplasma2017/IC-PLANTS2017, March 1-5 2017   Organizing Committee  

    2017年3月   

  51. The 3rd International Workshop on Advanced Plasma Technology and Applications   Organizing Committee  

    2017年1月   

  52. 38th International Symposium on Dry Process Symposium (DPS2016)   Organizing Committee  

    2016年11月   

  53. The 3rd International Conference on Universal Village (UV 2016)   Session Chair (Intelligent Healthcare)  

    2016年10月   

  54. The 3rd International Conference on Universal Village (UV 2016)   Session Chair (Intelligent Healthcare)  

    2016年10月   

  55. The 7th International Symposium on Plasma Nanoscience (iPlasmaNano-IIV)   Executive Committee.  

    2016年9月 - 2016年10月   

  56. ・The 6th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP2016), September 26-29, 2016, Gyeongju Dream Center, Gyeongju, Korea. International Advisory Committee,   International Advisory Committee  

    2016年9月   

  57. The 6th International Conference on Plasma Medicine (ICPM-6)   Board & International Scientific Committee.  

    2016年9月   

  58. 15th International Conference on Plasma Surface Engineering (PSE 2016)   Conference Co-chairman  

    2016年9月   

  59. 20th International Vacuum Congress (IVC-20)   International Scientific Committee in Plasma Science and Technique Division  

    2016年8月   

  60. ・2016 International Symposium on Plasma for Catalysts and Energy Materials (ISPCEM-2016)   International Advisory Board.  

    2016年6月 - 2016年7月   

  61. 7th International Workshop on Plasma Spectroscopy (IPS 2016)   International Scientific Committee.  

    2016年6月   

  62. 43rd IEEE International Conference on Plasma Science   Session Organizer  

    2016年6月   

  63. ISplasma2016/IC-PLANTS2016, March 6-10, 2016   Organizing Committee  

    2016年3月   

  64. The 3rd International Workshop on Plasma for Cancer Treatment, 2016   International Scientific Committee.  

    2016年   

  65. 37th International Symposium on Dry Process Symposium (DPS2015)   Organizing  

    2015年11月   

  66. 9th International Conference on Reactive Plasmas / 68th Gaseous Electronics Conference/ 33rd Symposium on Processing Plasmas   Advisory Committee  

    2015年10月   

  67. 21th Korea-Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics & The Workshop for NU-SKKU Joint Institute for Plasma-Nano Materials   Co-Chair  

    2015年10月   

  68. The 6th International Symposium on Plasma Nanoscience (iPlasmaNano-IV)   Executive Committee  

    2015年9月 - 2015年10月   

  69. The 10th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering(AEPSE 2015)   Organizing Committee Chair  

    2015年9月   

  70. The 32nd International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG2015)   International Organizing Committee  

    2015年7月   

  71. 22th Korea-Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics, The Workshop for NU-SKKU Joint Institute for Plasma-Nano Materials & The 1st International Workshop on Advanced Plasma Technology and Application   Chair  

    2015年7月   

  72. ISplasma2015/IC-PLANTS2015, March 26-31, 2016   Organizing Committee  

    2015年3月   

  73. ・20th Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics & The 7th Workshop for NU-SKKU Joint Institute for Plasma-Nano Materials, Jan. 27 ~ 29, 2015. Hokkaido University, Sapporo, Japan, Chair.   Chair  

    2015年1月   

  74. The 2nd International Workshop on Plasma for Cancer Treatment (Nagoya 2015)   Chair of Organizing Committee & International Scientific Committee  

    2015年   

  75. 36th International Symposium on Dry Process Symposium (DPS2014)   Organizing Committee  

    2014年11月   

  76. The 5th International Symposium on Plasma Nanoscience (iPlasmaNano-V)   Executive Committee  

    2014年9月 - 2014年10月   

  77. 14th International Conference on Plasma Surface Engineering (PSE 2012)   International Advisory Board  

    2014年9月   

  78. International Symposium on Plasmas for Catalysts and Energy Materials (ISPCEM-2014)   International Advisory Board  

    2014年9月   

  79. 14th international conference on Plasma Surface Engineering (PSE 2014)   International Advisory Board  

    2014年9月   

  80. The 5th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP 2014)   International Advisory Committee  

    2014年7月   

  81. ISplasma2014/IC-PLANTS2014   Organizing Committee  

    2014年3月   

  82. 8th International Conference on Reactive Plasmas / 31st Symposium on Plasma Processing   aaaaa  

    2014年2月   

  83. 18th Korea - Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics   Chair  

    2014年2月   

  84. The first International Workshop on Plasma for Cancer Treatment   International Scientific Committee  

    2014年   

  85. International Conference on Plasma Medicine (ISPM)   Board & International Scientific Committee  

    2014年   

  86. The 4th International Symposium on Plasma Nanoscience (iPlasmaNano-IV)   Executive Committee  

    2013年9月 - 2013年10月   

  87. 35th International Symposium on Dry Process Symposium (DPS2013)   Organizing Committee  

    2013年8月   

  88. The 31st International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG2013)   International Organizing Committee  

    2013年7月   

  89. 17th Korea-Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics & 4th Workshop for NU-SKKU Joint Institute for Plasma-Nano Materials   Co-Chair  

    2013年5月   

  90. The 6th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science, IC-PLANTS 2013   Organizing Committee  

    2013年2月   

  91. ISplasma2013   Organizing Committee Chair  

    2013年1月 - 2013年2月   

  92. 16th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics   Chair  

    2013年1月   

  93. 34th International Symposium on Dry Process Symposium (DPS2012)   Organizing Committee  

    2012年11月   

  94. The 11th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology (APCPST) / The 25th Symposium on Plasma Science for Materials(SPSM)   Chair of Executive Committee  

    2012年10月   

  95. 13th International conference on Plasma Surface Engineering (PSE 2012)   International Advisory Board  

    2012年9月   

  96. 2012 International Symposium on Plasmas for Catalysts and Energy Materials (ISPCEM-2012)   International Advisory Board  

    2012年9月   

  97. The 2nd International Symposium for Plasma Biosciences (SPB 2012)   Chair of Organizing Committee  

    2012年8月   

  98. The 4th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP 2012)   International Advisory Committee  

    2012年7月   

  99. 15th Korea- Japan workshop for Advanced Plasma Process and Diagnostics   Co-Chair  

    2012年6月   

  100. The 5th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science, IC-PLANTS 2012   Organizing Committee  

    2012年3月   

  101. ISplasma2012   Organizing Committee Chair  

    2012年3月   

  102. The 3rd International Symposium on Plasma Nanoscience (iPlasmaNano-III)   International Consultative and Program Committee Executive Committee  

    2012年2月 - 2012年3月   

  103. 14th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics & 2nd Workshop for NU- SKKU Joint Institute for Plasma-Nano Materials   Chair  

    2012年1月   

  104. 33rd International Symposium on Dry Process Symposium (DPS2011)   Organizing Committee  

    2011年11月   

  105. The 15th International Conference on Thin Films (ICTF-15)   Organizing Committee  

    2011年11月   

  106. The 4th International Symposium on Plasma Nanoscience (iPlasmaNano-IV)   Executive Committee  

    2011年9月 - 2011年10月   

  107. The 8th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2011)   International Organizing Committee  

    2011年9月   

  108. 112 IUVSTA Executive Council Meeting and 4th International Conference on Advanced Plasma Technologies with Workshop   Program Committee  

    2011年9月   

  109. The 30th International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG2011)   International Scientific Committee  

    2011年8月 - 2011年9月   

  110. The 1st International Symposium for Plasma Biosciences / The 1st Annual Workshop for Plasma Bioscinece Research Center   Chair of Organizing Committee  

    2011年8月   

  111. Advanced Plasma Technology for Green Energy and Biomedical Applications (APT 2011)   International Organizing Committee  

    2011年8月   

  112. International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC20)   Board of Director of the International Plasma Chemistry Society (IPCS)  

    2011年7月   

  113. 13th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics   Chair  

    2011年7月   

  114. The 6th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces(ISCSI-VI)   Technical program committee  

    2011年5月   

  115. 実行委員長  

    2011年4月 - 2012年3月   

  116. 2nd International Workshop on Plasma nano-Interface and Plasma Characterization   Organizing Committee  

    2011年3月   

  117. 第58回応用物理学会関係連合講演会   運営委員長  

    2011年3月   

  118. The 4th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science, IC-PLANTS 2013   Organizing Committee  

    2011年3月   

  119. The 4th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (IC-PLANTS 2011)   Organizing Committee  

    2011年3月   

  120. ISplasma2011   Organizing Committee Chair  

    2011年3月   

  121. 12th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics   Chair  

    2011年1月   

  122. 2011 International Conference on Solid State device and materials (SSDM2011)   Chair of Steering Committee  

    2011年   

  123. 32nd International Symposium on Dry Process Symposium (DPS2010)   Organizing Committee  

    2010年11月   

  124. 7th International Conference on Reactive Plasmas / 63rd Gaseous Electronics Conference/28th Symposium on Processing Plasmas   Chair of Organize Committee  

    2010年10月   

  125. The 2nd International Symposium on Plasma Nanoscience (iPlasmaNano-II)   Executive Committee  

    2010年9月 - 2010年10月   

  126. 2010 International Conference on Solid State device and materials (SSDM)   Vice Chair of Steering Committee  

    2010年9月   

  127. 第71回応用物理学会学術講演会   運営委員長  

    2010年9月   

  128. 11th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics   Co-Chair  

    2010年7月   

  129. 10th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology (APCPST) and 23rd Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM)   Program Committee  

    2010年7月   

  130. The 3rd International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (IC-PLANTS 2010)   Organizing Committee Chair  

    2010年3月   

  131. ISplasma2010   Organizing Committee Chair  

    2010年3月   

  132. The 3rd International Conference on Plasma-Nano Technology & Science, IC-PLANTS 2010   Organizing Committee Chair  

    2010年3月   

  133. 10th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics   Chair  

    2010年1月   

  134. The 3rd International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP 2011)   International Advisory Committee  

    2009年9月   

  135. The 2nd International Symposium on Plasma Nanoscience (iPlasmaNano-II)   Executive Committee  

    2009年9月   

  136. 7th International Workshop on Microwave Discharges: Fundamentals and Applications (MD7)   Steering Committee  

    2009年9月   

  137. 31st International Symposium on Dry Process Symposium (DPS2009)   Organizing Committee  

    2009年9月   

  138. Joint International Conference of Asian-European International Conference on Plasma and Ion surface Engineering (AEPSE) / The 2nd International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP) /DPS   International Organizing Committee and Scientific Program Committee  

    2009年9月   

  139. The 2nd International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP 2009)   International Advisory Committee  

    2009年9月   

  140. The 29th International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG2015)   International Organizing Committee  

    2009年9月   

  141. 19th International Symposium on Plasma Chemistry   International Plasma Chemistry Society (IPCS) Board of Directors  

    2009年7月   

  142. 9th Korea-Japan Workshop on Thin Film and Plasma Process for Green Technology Advanced Plasma Diagnostics for Plasma-Nano Processing   Co-Chair  

    2009年7月   

  143. ISplasma2009   Organizing Committee Chair  

    2009年3月   

  144. The 2nd International Conference on Plasma-Nano Technology & Science, IC-PLANTS 2009   Organizing Committee Vice Chair  

    2009年1月   

  145. 8th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics, Joint Workshop with Plasma Application Monodzukuri(PLAM)   Chair  

    2009年1月   

  146. 30th International Symposium on Dry Process Symposium (DPS2008)   Organizing Committee  

    2008年11月   

  147. 2008 International Microprocess and Nanotechnology Conference (MNC)   Executive Committee  

    2008年10月   

  148. The 1st International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP 2008)   Executive Committee  

    2008年8月   

  149. The 3rd International School of Advanced Plasma Technology   Scientific Organizing Committee  

    2008年7月   

  150. 7th Korea-Japan Workshop on Plasma Technology Thin Film and Plasma Technology for Next Generation Energy Advanced Plasma Diagnostics for Plasma-Nano Processing   Co-Chair  

    2008年7月   

  151. The 1st International Conference on Plasma-Nano Technology & Science, IC-PLANTS 2008   Organizing Committee Vice Chair  

    2008年3月   

  152. 29th International Symposium on Dry Process Symposium (DPS2007)   Organizing Committee  

    2007年11月   

  153. Fifth International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces―for Next Generation ULSI Process Integrations―   Program Committee  

    2007年11月   

  154. The 6th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE)   International Organizing Committee  

    2007年9月   

  155. The 18th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC-18)   Local Executive Committee  

    2007年8月   

  156. The 16th International Colloquium on Plasma Processes (CIP)   International Science Committee  

    2007年6月   

  157. 5th International Symposium on Advanced Plasma Processes and Diagnostics & The 1st International Symposium on Flexible Electronics Technology   Co-Chair  

    2007年4月   

  158. 6th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics & The 3rd Plasma Application Monodzukuri (PLAM)   Chair  

    2007年1月   

  159. 2nd International workshop on Infrared plasma diagnostics   International Science Committee  

    2007年   

  160. 4th Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics   Chair  

    2006年12月   

  161. 28th International Symposium on Dry Process Symposium (DPS2006)   Chair of Executive Committee and Organizing Committee  

    2006年11月 - 2006年12月   

  162. 38th International Symposium on Dry Process Symposium (DPS2016)   Organizing Committee  

    2006年11月   

  163. The 1st International Workshop on Infrared Plasma Spectroscopy   International Scientific Committee  

    2006年6月   

  164. 3rd Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics   Co-Chair  

    2006年4月   

  165. The 6th International Conference on Reactive Plasmas and 23rd Symposium on Plasma Processing (ICRP-6/SPP-23)   Organizing Committee / Program Committee / Vice Chair of Fundraising Committee  

    2006年1月   

  166. 8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology / 19th Symposium on Plasma Science for Materials ASCPST   International Program Committee  

    2006年   

  167. The Ist International workshop on Infrared plasma diagnostics   International Science Committee  

    2006年   

  168. The 6th Korea-Japan Symposium on Plasma and Thin Film Technology   Advisory Committee  

    2006年   

  169. 2nd Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics   Co-Chair  

    2005年12月   

  170. 27th International Symposium on Dry Process Symposium (DPS2005)   Chair of Executive Committee and Organizing Committee  

    2005年11月   

  171. International Symposium on EcoTopia Science 2005 (ISETS05)   Secretariats  

    2005年8月   

  172. 15th International Colloquium on Plasma Process (CIP 05)   International Scientific Committee  

    2005年6月   

  173. 応用物理学会   東海支部長  

    2005年4月 - 2007年3月   

  174. 1st Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics   Chair  

    2005年4月   

  175. International Symposium on EcoTopia Science (ISETS05)   Session Organizer  

    2005年   

  176. 26th International Symposium on Dry Process Symposium (DPS2004)   Chair of Executive Committee and Organizing Committee  

    2004年11月 - 2004年12月   

  177. The 2nd International School of Advanced Plasma Technology   Scientific Organizing Committee  

    2004年9月 - 2004年10月   

  178. International COE Forum on Plasma Science and Technology,   Local Organizing Committee  

    2004年4月   

  179. International Workshop on Plasma Nano-Technology and Its Future Vision   Vice Chair of Organizing Committee and Chair of Local Organizing Committee  

    2004年2月   

  180. 25th International Symposium on Dry Process Symposium (DPS2003)   Chair of Executive Committee and Organizing Committee  

    2003年11月   

  181. 2003 International Microprocess and nanotechnology Conference,   Program Committee, Etching and Deposition Technologies, Section Head  

    2003年10月   

  182. 24th International Symposium on Dry Process Symposium (DPS2002)   Organizing Committee  

    2002年11月   

  183. 23th International Symposium on Dry Process Symposium (DPS2001)   Chair of Program Committee and Organizing Committee  

    2001年11月   

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受賞 42

  1. 石井健一郎賞

    2024年12月   名古屋大学  

    堀  勝

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    受賞区分:国内外の国際的学術賞 

    本賞は名古屋高等商業学校(現名古屋大学経済学部)の卒業生で、第8代大同特殊鋼株式会社代表取締役社長、名古屋大学経済学部・経済学研究科同窓会であるキタン会第2代会長として、高度経済成長期に日本の特殊鋼業界の再編等に尽力した石井健一郎氏のご寄附の意志に基づき、名古屋大学において最も顕著な功績を挙げた教職員に対する顕彰制度として、令和4年度に設立されました

  2. 紫綬褒章

    2022年11月   内閣府  

    堀 勝

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    受賞国:日本国

  3. 第76回中日文化賞

    2023年6月   中日新聞社  

    堀 勝

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    受賞国:日本国

  4. 応用物理学会業績賞

    2024年3月   (社)応用物理学会   ラジカル制御プラズマプロセスの先駆的研究

    堀  勝

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    受賞区分:国内学会・会議・シンポジウム等の賞  受賞国:日本国

    半導体をはじめとする基幹産業におけるエッチングや薄膜形成,表面改質に不可欠な低温プラズマ中のラジカル計測とそのプロセス構築への展開に関する先駆的な研究を行い,半導体製造装置,プロセス技術の高度化に大きく貢献した.

  5. Reactive Plasma Award

    2022年10月   The 11th International Conference on Reactive Plasmas  

    Masaru Hori

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    受賞区分:国際学会・会議・シンポジウム等の賞  受賞国:日本国

  6. 2018 The Plasma Medical Award

    2018年6月   ICPM7  

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    受賞区分:国際学会・会議・シンポジウム等の賞  受賞国:アメリカ合衆国

  7. DPS Nishizawa Award 2020

    2021年11月   DPS(International Symposium on Dry Process)  

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    受賞区分:国際学会・会議・シンポジウム等の賞  受賞国:日本国

    DPS Nishizawa Award is to be presented to an individual who has made outstanding contributions to DPS as well as significant academic/technological achievements in the fields of interest to DPS.

  8. 平成22年度科学技術分野の文部科学大臣表彰・科学技術賞(研究部門)

    2010年4月   文部科学省  

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    受賞国:日本国

  9. 2020 AAPPS-DPP Plasma Innovation Prize

    2020年10月   Division of Plasma Physics, Association of Asia-Pacific Physical Societies(AAPPS-DPP)  

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    受賞区分:国内外の国際的学術賞  受賞国:日本国

  10. K-T Rie Award for the year 2019

    2019年9月   Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2019)  

    Masaru Hori

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    受賞区分:国内外の国際的学術賞  受賞国:大韓民国

  11. 第9回産学官連携功労者表彰(科学技術政策担当大臣賞)

    2011年9月   第10回産学官連携推進会議  

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    受賞国:日本国

    産学連携功労者表彰

  12. 第43回(2021年度)応用物理学会論文賞

    2022年3月   (社)応用物理学会  

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    受賞区分:国内学会・会議・シンポジウム等の賞 

  13. DPS Paper Award

    2021年11月   DPS(International Symposium on Dry Process)   Formation mechanism of sidewall striation in high-aspect-ratio hole etching

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    受賞区分:国際学会・会議・シンポジウム等の賞  受賞国:日本国

    This award is to be offered to the authors of the best paper published in the Special Issues of Japanese Journal of Applied Physics (JJAP) for DPS in the past 3 years (i.e., DPS 2017, 2018, and 2019) . The awardee(s) of the Best Presentation Award or Young Researcher Award is/are also eligible for this award.

  14. Honorary Chair Professor

    2020年1月   Taiwan National Tsing Hua UniTaiwan  

  15. 第37回(2015年度)応用物理学会論文賞

    2015年9月   応用物理学会  

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    受賞国:日本国

  16. 応用物理学会 第6回(2012年度)フェロー表彰

    2012年9月   公益社団法人応用物理学会  

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    受賞国:日本国

    ラジカル制御プラズマプロセスの研究開発

  17. 第14回プラズマ材料科学賞(基礎部門賞)

    2012年8月   日本学術振興会  

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    受賞国:日本国

    原子状ラジカル制御 プラズマプロセスの基礎的研究

  18. The Distinguished Professor Award

    2012年6月  

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    受賞国:日本国

  19. The Best Short Presentation (poster) Awards

    2022年3月   14th International Symposium on Advanced Plasma Science and Its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 15th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2022/IC-PLANTS2022)   Carbon Layer Formation on Boron Nitride via a Plasma in Hydroquinone Solution

    Kenichi Inoue, Noritaka Sakakibara, Taku Goto, Tsuyohito Ito, Yoshiki Shimizu, Kenji Ishikawa, Masaru Hori and Kazuo Terashima

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    受賞区分:国内外の国際的学術賞  受賞国:日本国

  20. The Best Oral Presentation Awards

    2022年3月   14th International Symposium on Advanced Plasma Science and Its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 15th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2022/IC-PLANTS2022)   Evaluation of Selective Anti-Cancer Effect in Plasma-Activated Ringer's Lactate Solution Produced by Regulated Surrounding Atmosphere

    Daiki Ito, Naoyuki Iwata, Kenji Ishikawa, Hiroshi Hashizume, Kae Nakamura, Camelia Miron, Hiromasa Tanaka, Hiroaki Kajiyama, Shinya Toyokuni, Masaaki Mizuno and Masaru Hori

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    受賞区分:国際学会・会議・シンポジウム等の賞  受賞国:日本国

  21. The Best Short Presentation (poster) Awards

    2022年3月   14th International Symposium on Advanced Plasma Science and Its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 15th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2022/IC-PLANTS2022)   Enhanced Bioremediation of 4-Chlorophenol by Oxygen Radical Treatment Based on Non-Thermal Atmospheric Pressure Plasma

    Hiroyuki Kato, Kiyota Sakai, Shou Ito, Naoyuki Iwata, Masafumi Ito, Masaru Hori, Motoyuki Shimizu and Masashi Kato

     詳細を見る

    受賞区分:国内外の国際的学術賞  受賞国:日本国

  22. The Best Short Presentation Awards, ISPlasma2021/IC-PLANTS2021

    2021年3月   13th anniversary International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlsma2021) / 14th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (IC-PLANTS2021)   Study of Etching Process Using Gas Condensed Layer at Cryogenic Temperature 2

    Masahiro Hazumi, Suganthamalar Selvaraj, Shih-Nan Hsiao, Chihiro Abe, Toshiyuki Sasaki, Hisataka Hayashi, Takayoshi Tsutsumi, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine and Masaru Hori

  23. The Best Oral Presentation Awards, ISPlasma2021/IC-PLANTS2021

    2021年3月   13th anniversary International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlsma2021) / 14th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (IC-PLANTS2021)   Dependency of bactericidal effect in oxygen-radical-exposed E. coli suspension containing L-tryptophan on its concentration

    N. Iwata, K. Ishikawa, H. Hashizume, H. Tanaka, J.-S. Oh, M. Ito, M. Hori

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    受賞区分:国際学会・会議・シンポジウム等の賞 

  24. The Best Short Presentation Awards, ISPlasma2021/IC-PLANTS2021

    2021年3月   13th anniversary International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlsma2021) / 14th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (IC-PLANTS2021)   Apoptosis-inducing Activity through Caspase-9 of Radical-Activated Lactate Ringers Solution for Melanoma Cells

    Yuki Hori, Tomiyasu Murata, Hiromasa Tanaka, Masaru Hori and Masafumi Ito

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    受賞区分:国際学会・会議・シンポジウム等の賞 

  25. The Best Oral Presentation Award, ISPlasma2021/IC-PLANTS2021

    2021年3月   13th anniversary International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlsma2021) / 14th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (IC-PLANTS2021)   Design of Removal Process of SnO2 on Glass by H2/Ar Plasma at Atmospheric Pressure and Medium Pressure

    Thi-Thuy-Nga Nguyen, Minoru Sasaki, Takayoshi Tsutsumi, Kenji Ishikawa and Masaru Hori

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    受賞区分:国際学会・会議・シンポジウム等の賞 

  26. 第18回 プラズマエレクトロニクス賞

    2020年3月   公益社団法人 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会  

    大村光広、橋本惇一、足立昴拓、近藤祐介、石川勝朗、阿部淳子、酒井伊都子、林久貴、関根誠、堀勝

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    受賞国:日本国

    Japanese Journal of Applied Physics 58, SEEB02 (2019)

  27. IAAM Award Lecture

    2019年10月   International Association of Advanced material (IAAM)   Carbon Nanowalls Propelling Social Innovations

    Masaru Hori

     詳細を見る

    受賞区分:国際学会・会議・シンポジウム等の賞  受賞国:日本国

  28. The Best Poster Presentation Awards, ISPlasma2019/IC-PLANTS2019

    2019年3月   ISPlasma2019 / IC-PLANTS2019   Cytotoxicity of Plasma-Activated Glucose and Amino Acids

    Maho Yamada, Nanami Ito, Yugo Hosoi, Hiromasa Tanaka, Kenji Ishikawa and Masaru Hori

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    受賞区分:国際学会・会議・シンポジウム等の賞  受賞国:日本国

  29. The Best Oral Presentation Awards in the area of Plasma Science, ISPlasma2019/IC-PLANTS2019

    2019年3月   ISPlasma2019 / IC-PLANTS2019   Control of sp2-C Fraction and Hardness of Amorphous Carbon Films by Formation of Precursor Radicals Depending on a Residence Time

    Hirotsugu Sugiura, Yasuyuki Ohashi, Lingyun Jia, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Takayoshi Tsutsumi, Toshio Hayashi, Keigo Takeda, Makoto Sekine and Masaru Hori

     詳細を見る

    受賞区分:国際学会・会議・シンポジウム等の賞  受賞国:日本国

  30. The Best Oral Presentation Awards, ISPlasma2019/IC-PLANTS2019

    2019年3月   ISPlasma2019 / IC-PLANTS2019   The Best Oral Presentation Awards in the area of Bio Applications, ISPlasma2019/IC-PLANTS2019

    Naoyuki Iwata, Vladislav Gamaleeve, Jun-SeokOh, Hiroshi Hashizume, Takayuki Ohta, Kenji Ishikawa, Masaru Hori and Masafumi Ito

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    受賞区分:国際学会・会議・シンポジウム等の賞  受賞国:日本国

  31. The Best Poster Presentation Awards, ISPlasma2019/IC-PLANTS2019

    2019年3月   ISPlasma2019 / IC-PLANTS2019   Morphological Dynamics of Dying Cells Incubated in Plasma-Activated Medium

    Nanami Ito, Maho Yamada, Yugo Hosoi, Hiromasa Tanaka, Kenji Ishikawa and Masaru Hori

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    受賞区分:国際学会・会議・シンポジウム等の賞  受賞国:日本国

  32. Best Presentation Award

    2016年3月   ISPlasma2016/10th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials  

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    受賞国:日本国

  33. 第11回プラズマエレクトロニクス賞

    2013年3月   応物理学会プラズマエレクトロニクス分科会  

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    受賞国:日本国

    石川健治、河野昭彦、堀邊英夫、竹田圭吾、近藤博基、関根誠、堀勝

  34. ISPlasma2013 Best Poster Presentation Award

    2013年2月   5th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2013)  

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    受賞国:日本国

  35. 五大成果(全2,000件のうちトップ5)

    2013年2月   文部科学省ナノテクノロジーネットワーク事業(平成19年~24年)  

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    受賞国:日本国

    田畑泰彦 堀勝 馬場嘉信(カーボンナノウォールの細胞培養基材としての特性評価)

  36. 応用物理学会東海支部貢献賞

    2013年1月   応用物理学会  

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    受賞国:日本国

  37. 11th APCPST and 25th SPSM Plasma Science Award

    2012年10月   11th APCPST (Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology) and 25th SPSM (Symposium on Plasma Science for Materials)  

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    受賞国:日本国

  38. 高温学会 論文賞

    2012年3月   社団法人高温学会  

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    受賞国:日本国

    フレキシブルデバイス創製に向けたプラズマーソフトマテリアル相互作用の解析

  39. プラズマ材料科学賞(奨励部門賞)

    2004年   日本学術振興会  

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    受賞国:日本国

  40. JJAP編集貢献賞

    2004年  

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    受賞国:日本国

  41. プラズマエレクトロニクス賞

    2003年   公益社団法人応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会  

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    受賞国:日本国

  42. マイクロプロセスナノテクノロジー国際会議2000 Award(最優秀発表賞)

    2001年   マイクロプロセスナノテクノロジー国際会議  

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    受賞国:日本国

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論文 734

  1. Selective removal of single-layer graphene over double-layer graphene on SiO2 by remote oxygen plasma irradiation 査読有り

    Liugang Hu, Kenji Ishikawa, Thi-Thuy-Nga Nguyen, Shih-Nan Hsiao, Masaru Hori

    Applied Surface Science   669 巻   頁: 160598   2024年6月

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    担当区分:最終著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2024.160598

  2. Surface surgery on TiNb2O7 electrode via N2/Air atmospheric pressure plasma jet for high-rate lithium-ion battery anode 査読有り 国際共著

    Che-Ya Wu, Shih-Nan Hsiao, Rui-Tung Kuo, Yu-Ching Chen, Tzu-Ying Lin, Masaru Hori, Jenq-Gong Duh

    Applied Surface Science   655 巻   頁: 159585   2024年2月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  3. Oxygen radical irradiation transforms an organic fertilizer l-tryptophan into an environment and human-friendly bactericide 査読有り

    Naoyuki Iwata , Kenji Ishikawa, Yasuhiro Nishikawa, Hiroyuki Kato, Motoyuki Shimizu, Masashi Kato, Hiromasa Tanaka, Masafumi Ito, Masaru Hori

    Environmental Technology & Innovation   135 巻 ( 5 ) 頁: 53301   2023年12月

     詳細を見る

    担当区分:最終著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.1016/j.eti.2023.103496

  4. Topographically-selective atomic layer etching of SiO2 using radical fluorination of the surface followed by Ar ion bombardment 査読有り 国際共著

    Airah Osonio, Takayoshi Tsutsumi, Bablu Mukherjee, Ranjit Borude, Nobuyoshi Kobayashi and Masaru Hori

    Japanese Journal of Applied Physics   62 巻 ( 12 ) 頁: 121001   2023年12月

     詳細を見る

    担当区分:責任著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.35848/1347-4065/ad0c46

  5. An approach to reduce surface charging with cryogenic plasma etching using hydrogen-fluoride contained gases 査読有り

    Shih-Nan Hsiao ; Makoto Sekine; Kenji Ishikawa; Yuki Iijima; Yoshinobu Ohya; Masaru Hori

    Applied Physics Letters   123 巻 ( 21 ) 頁: 212106   2023年11月

     詳細を見る

    担当区分:最終著者   記述言語:英語  

    DOI: https://doi.org/10.1063/5.0173553

  6. New betulin imine derivatives with antioxidant and selective antitumor activity 査読有り 国際共著

    Manuela-Maria Iftime, Gabriela Liliana Ailiesei, Camelia Miron, Hiromasa Tanaka, Masaru Hori and Luminita Marin

    New Journal of Chemistry   47 巻 ( 35 ) 頁: 16551 - 16563   2023年8月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: DOI:10.1039/d3nj02738d

  7. In Situ Monitoring of Etching Characteristic and Surface Reactions in Atomic Layer Etching of SiN Using Cyclic CF4/H2 and H2 Plasmas 査読有り

    Shih-Nan Hsiao, Makoto Sekine, Masaru Hori

    ACS Applied Materials & Interfaces   15 巻 ( 29 ) 頁: 35622 - 35630   2023年7月

     詳細を見る

    担当区分:最終著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: DOI: 10.1021/acsami.3c04705

  8. Efficacy of periodic cold plasma treatment in a paddy to produce white-core grains in brewer’s rice cultivar Yamadanishiki 査読有り

    Hiroshi Hashizume, Hidemi Kitano, Hiroko Mizuno, Akiko Abe, Genki Yuasa, Satoe Tohno, Hiromasa Tanaka, Kenji Ishikawa, Shogo Matsumoto, Hitoshi Sakakibara, Yoji Hirosue, Masayoshi Maeshima, Masaaki Mizuno, Masaru Hori

    Free Radical Research   57 巻 ( 3 ) 頁: 161 - 173   2023年6月

     詳細を見る

    担当区分:最終著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.1080/10715762.2023.2215914

  9. Elaborate cooperation of poly(rC)-binding proteins 1/2 and glutathione in ferroptosis induced by plasma-activated Ringer's lactate 査読有り

    Li Jiang, Hao Zheng, Moe Ishida, Qinying Lyu, Shinya Akatsuka, Yashiro Motooka, Kotaro Sato, Yoshitaka Sekido, Kae Nakamura, Hiromasa Tanaka, Kenji Ishikawa, Hiroaki Kajiyama, Masaaki Mizuno, Masaru Hori, Shinya Toyokuni

    Free Radical Biology and Medicine   214 巻   頁: 28 - 41   2023年2月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.1016/j.freeradbiomed.2024.02.001

  10. 応用物理学会業績賞受賞者随想 工学を生きる 招待有り 査読有り

    堀  勝

    応用物理学会誌   93 巻 ( 7 ) 頁: 383 - 387   2024年7月

     詳細を見る

    担当区分:筆頭著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)  

  11. Sputtering deposition of dense and low-resistive amorphous In2O3: Sn films under zone-T conditions of Thornton’s structural diagram 査読有り

    Yoshiharu Wada; Wafaa Magdy; Keigo Takeda, Yuta Mido, Naoto Yamashita, Takamasa Okumura, Kunihiro Kamataki, Kazunori Koga, Masaru Hori, Masaharu Shiratani, Naho Itagaki

    Appl. Phys. Lett.   124 巻 ( 24 ) 頁: 242101   2024年6月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.1063/5.0211090

  12. Epitaxial growth of high-quality GaN with a high growth rate at low temperatures by radical-enhanced metalorganic chemical vapor deposition 招待有り 査読有り

    Arun Kumar Dhasiyan, Frank Wilson Amalraj, Swathy Jayaprasad, Naohiro Shimizu, Osamu Oda, Kenji Ishikawa & Masaru Hori

    Scientific Reports   14 巻   頁: 10861   2024年5月

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    担当区分:最終著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.1038/s41598-024-61501-9

  13. Forwarding Message 招待有り

    Masaru Hori

    IPPD 2024 Book of Abstracts     頁: 6   2024年5月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語  

  14. In situ atom-resolved observation of Si (111) 7×7 surface with F radical and Ar ion irradiation simulated atomic layer etching 査読有り

    Takayoshi Tsutsumi, Atsuki Asano; Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, Masaru Hori

    Journal of Vacuum Science & Technology A   42 巻 ( 3 ) 頁: 032603   2024年4月

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    担当区分:最終著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.1116/6.0003432

  15. Dissociative properties of C4F6 obtained using computational chemistry 査読有り

    Toshio Hayashi, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    Japanese Journal of Applied Physics   63 巻 ( 4 ) 頁: 04SP26-1 - 04SP26-5   2024年4月

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    担当区分:最終著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.35848/1347-4065/ad3166

  16. Nitrogen admixture effects on growth characteristics and properties of carbon nanowalls 査読有り

    Peter Raj Dennis Christy, Ngo Van Nong, Nikolay Britun, Ngo Quang Minh, Thi-Thuy- Nga Nguyen, Hiroki Kondo, Osamu Oda, Kenji Ishikawa, Masaru Hori

    Thin Solid Films   395 巻   頁: 140322   2024年3月

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    担当区分:最終著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.1016/j.tsf.2024.140322

  17. クローズアップ!農業最新技術  プラズマを取り入れて農業生産性の向上を目指す 招待有り

    橋爪博司、堀勝

    農耕と園藝   3 巻   頁: 45 - 48   2024年2月

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    担当区分:最終著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)  

  18. Etching Mechanism Based on Hydrogen Fluoride Interactions with Hydrogenated SiN Films Using Hf/H2 and CF4/H2 Plasmas 査読有り

    Shih-Nan Hsiao, Nikolay Britun, Thi-Thuy-Nga Nguyen, Makoto Sekine, Masaru Hori

    ACS Applied Electronic Materials   5 巻 ( 12 ) 頁: 6797 - 6804   2023年12月

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    担当区分:最終著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.1021/acsaelm.3c01258

  19. Higher N2 gas-flow rate ratios in O2- and Ar-containing feed gas mixtures enhance the cytotoxic effects of radical-activated medium against murine melanoma B16F10 cells 査読有り

    Hashimoto Kazunori, Ogawa Kazuma, Mori Yasumasa, Nishida Taiga, HORI Masaru, Murata Tomiyasu, ITO Masafumi

    Japanese Journal of Applied Physics   62 巻 ( 12 ) 頁: 127001   2023年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.35848/1347-4065/ad0b5d

  20. Ferroptosis induced by plasma-activated Ringer's lactate solution prevents oral cancer progression 査読有り

    Kotaro Sato, Ming Yang, Kae Nakamura, Hiromasa Tanaka, Masaru Hori, Miki Nishio, Akira Suzuki, Hideharu Hibi, Shinya Toyokuni

    Oral Diseases     頁: 1 - 13   2023年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.1111/odi.14827

  21. Hydrogen peroxide sensing with nitrogen-doped carbon nanowalls 査読有り 国際共著

    Rakhymzhan Ye. Zhumadilov, Yerassyl Yerlanuly, Hiroki Kondo, Renata R. Nemkayeva, Tlekkabul S. Ramazanov, Masaru Hori, Maratbek T. Gabdullin

    Sensing and Bio-Sensing Research   43 巻   頁: 100614   2023年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  22. Surface sulfurization of amorphous carbon films in the chemistry of oxygen plasma added with SO2 or OCS for high-aspect-ratio etching 査読有り

    Kenji Ishikawa, Thi-Thuy-Nga Nguyen, Yuta Aoki, Hiroyasu Sato, Junichi Kawakami, Shuji Tsuno, Shih-Nan Hsiao, Masaru Hori

    Applied Surface Science   645 巻   頁: 158876   2023年11月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2023.158876

  23. Gas-phase study of the behavior of trimethyl gallium and triethyl gallium by optical emission spectroscopy and quadrupole mass spectroscopy for the growth of GaN by REMOCVD (radical-enhanced metalorganic chemical vapor deposition) 査読有り

    Arun Kumar Dhasiyan, Swathy Jayaprasad, Frank Wilson Amalraj, Naohiro Shimizu, Osamu Oda, Kenji Ishikawa and Masaru Hori

    Japanese Journal of Applied Physics   62 巻   頁: SN1019   2023年11月

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    担当区分:最終著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: DOI 10.35848/1347-4065/acfd34

  24. The Possibility of Cancer Therapy with a Combination of Low Temperature Plasma and Hyperthermia 査読有り

    Thermal Medicine

    Thermal Medicine   39 巻 ( 3 ) 頁: 21 - 30   2023年9月

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    担当区分:最終著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.3191/thermalmed.39.21

  25. Plasma processing and annealing for defect management at SiO2/Si interface 査読有り

    Shota Nunomura, Takayoshi Tsutsumii, Isao Sakata, Masaru Hori

    Journal of Vacuum Science & Technology B   41 巻 ( 5 ) 頁: 052202   2023年8月

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    担当区分:最終著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.1116/6.0002822

  26. Deposition of carbon-based materials directly on copper foil and nickel foam as 2D and 3D-networked metal substrates by in-liquid plasma 招待有り 査読有り

    Ma. Shanlene D.C. Dela Vega, Thi-Thuy-Nga Nguyen, Hiroki Kondo, Takayoshi Tsutsumi, Kenji Ishikawa, and Masaru Hori

    Plasma Processes and Polymers   20 巻 ( 21 ) 頁: e2300036   2023年8月

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    担当区分:責任著者   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.1002/ppap.202300036

  27. Bias-supply timing tailored to the aspect ratio dependence of silicon trench etching in Ar plasma with alternately injected C4F8 and SF6 招待有り 査読有り

    Taito Yoshie, Kenji Ishikawa, Thi-Thuy-Nga Nguyen, Shih-Nan Hsiao, Takayoshi Tsutsumi, Makoto Sekine, Masaru Hori

    Applied Surface Science   638 巻 ( 30 ) 頁: 157981-1 - 157981-14   2023年7月

     詳細を見る

    担当区分:最終著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2023.157981

  28. Tetrachloroaurate (III)–induced oxidation increases nonthermal plasma-induced aldehydes 査読有り

    Yasumasa Okazaki, Jun Yoshitake, Nanami Ito, Kanako Sasaki, Hiromasa Tanaka, Masaru Hori, Takahiro Shibata, Shinya Toyokuni

    Advances in Redox Research   9 巻 ( December ) 頁: 100074-1 - 100074-8   2023年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  29. Generation and measurement of low-temperature plasma for cancer therapy: a historical review 査読有り

    Kenji Ishikawa, Keigo Takeda, Shinji Yoshimura, Takashi Kondo, Hiromasa Tanaka, Shinya Toyokuni, Kae Nakamura, Hiroaki Kajiyama, Masaaki Mizuno, and Masaru Hori

    FREE RADICAL RESEARCH   57 巻 ( 3 ) 頁: 239 - 270   2023年7月

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    担当区分:最終著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: http://dx.doi.org/10.1080/10715762.2023.2230351

  30. Plasma-generated nitric oxide radical (NO•) promotes the proliferation of fibroblast cells in liquid 査読有り

    Yasumasa Mori, Kazane Oguri, Naoyuki Iwata, Tomiyasu Murata, Masaru HORI and Masafumi ITO

    Japanese Journal of Applied Physics   62 巻 ( SL ) 頁: SL1016   2023年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: DOI 10.35848/1347-4065/acd9b6

  31. Development of an experimental system for cell viability assays of yeasts using gas-temperature controllable plasma jets 査読有り

    Yoshimura, Shinji; Otsubo, Yoko; Yamashita, Akira; Johzuka, Katsuki; TSUTSUMI, Takayoshi; Ishikawa, Kenji; HORI, Masaru

    Japanese Journal of Applied Physics   62 巻 ( Number SL )   2023年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.35848/1347-4065/acd4ca

  32. Diagnostics of a nanosecond atmospheric plasma jet. Ionization waves, plasma density and electric field dynamics 査読有り

    Nikolay Britun, Peter Raj Dennis Christy, Vladislav Gamaleev, Shih-Nan Hsiao, Masaru Hori

    Journal of Applied Physics   133 巻 ( 18 )   2023年5月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/5.0138931

  33. Selective isotropic atomic-layer etching of thin films by using dry chemical removal tool 招待有り 査読有り

    Kazunori Shinoda, Nobuya Miyoshi, Hiroyuki Kobayashi, Masaru Izawa, Kenji Ishikawa, Masaru Hori

    Advanced Etch Technology and Process Integration for Nanopatterning XII; 124990E (2023)   12499 巻   2023年5月

     詳細を見る

    担当区分:最終著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: https://doi.org/10.1117/12.2664547

  34. Synthesis of highly dense and multi-branched carbon nanowalls by two-step growth combining different plasma chemical vapor deposition methods 査読有り

    Ngo Quang Minh, Ngo Van Nong , Ma Shanlene. Dela Vega, Osamu Oda, Masaru Hori

    Vacuum   213 巻   2023年4月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.vacuum.2023.112118

  35. Cancer-specific cytotoxicity of Ringer’s acetate solution irradiated by cold atmospheric pressure plasma 査読有り

    Camelia Miron , Kenji Ishikawa, Satoshi Kashiwagura, Yuki Suda, Hiromasa Tanaka, Kae Nakamura, Hiroaki Kajiyama, Shinya Toyokuni, Masaaki Mizuno, Masaru Hori

    Free Radical Research   57 巻 ( 2 ) 頁: 91 - 104   2023年4月

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    担当区分:最終著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.1080/10715762.2023.2201390

  36. Low-temperature growth at 225 oC and characterization of carbon nanowalls synthesized by radical injection plasma-enhanced chemical vapor deposition 査読有り

    Ngo Quang Minh, Ngo Van Nong, Osamu Oda, Kenji Ishikawa, Masaru Hori

    VACUUM   224 巻   頁: 113180   2023年3月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2024.113180

  37. Exposure of low-temperature plasma after vaccination in 6 tongue promotessystemic IgM induction against spike protein 7 of SARS-CoV-2 査読有り

    Kotaro Sato, Kouki Fujii, Hiromasa Tanaka, Masaru Hori, Hideharu Hibi and Shinya Toyokuni

    Free Radical Research   57 巻 ( 1 ) 頁: 30 - 37   2023年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.1080/10715762.2023.2190486

  38. High-performance glass filters for capturing and culturing circulating tumor cells and cancer-associated fibroblasts 査読有り

    Hiromasa Tanaka, Daijiro Iwata, Yuki Shibata, Tetsunari Hase, Daisuke Onoshima, Naoyuki Yogo, Hirofumi Shibata, Mitsuo Sato, Kenji Ishikawa, Ikuo Nagasawa, Yoshinori Hasegawa, Makoto Ishii, Yoshinobu Baba, Masaru Hori

    Scientific Reports   13 巻   2023年3月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.1038/s41598-023-31265-9

  39. Plasma activated Ringer’s lactate solution 査読有り

    Hiromasa Tanaka,Masaaki Mizuno,Kenji Ishikawa,Camelia Miron,Yasumasa Okazaki,Shinya Toyokuni,Kae Nakamura,Hiroaki Kajiyama &Masaru Hori

    Free Radical Research   57 巻 ( 1 ) 頁: 14 - 20   2023年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.1080/10715762.2023.2182663

  40. Organic decomposition and synthesis reactions in lactated solution exposed to non-equilibrium atmospheric pressure plasma 査読有り

    Yang Liu, Kenji Ishikawa, Hiromasa Tanaka, Camelia Miron, Takashi Kondo, Kae Nakamura, Masaaki Mizuno, Hiroaki Kajiyama, Shinya Toyokuni, Masaru Hori

    Plasma Processes and Polymers   20 巻 ( 5 )   2023年2月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.1002/ppap.202200193

  41. 低温大気圧プラズマによるフリーラジカル生成とその生物学的意義-放射線との比較- 査読有り

    近藤隆、橋爪博司、田中比呂間瀬 石川健治、堀勝

    化学工業   74 巻 ( 2 ) 頁: 120 - 126   2023年2月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  42. GaN damage-free cyclic etching by sequential exposure to Cl2 plasma and Ar plasma with low Ar+-ion energy at substrate temperature of 400 °C 査読有り

    Shohei Nakamura, Atsushi Tanide, Takahiro Kimura, Soichi Nadahara, Kenji Ishikawa, Osamu Oda, and Masaru Hori

    Journal of Applied Physics   133 巻 ( 4 )   2023年1月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/5.0131685

  43. Manipulation of etch selectivity of silicon nitride over silicon dioxide to a-carbon by controlling substate temperature with a CF4/H2 plasma 査読有り

    Shih-Nan Hsiao, Nikolay Britun, Thi-Thuy-Nga Nguyen, Takayoshi Tsutsumi, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, Masaru Hori

    Vacuum   210 巻   頁: 111863   2023年1月

     詳細を見る

    担当区分:最終著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2023.111863

  44. Diagnostics of a nanosecond atmospheric plasma jet. II. Ionization waves, plasma density and electric field dynamics 査読有り

    Nikolay Britun, Peter Raj Dennis Christy, Vladislav Gamaleev and Masaru Hori

    Plasma Sources Science and Technology   31 巻 ( 12 )   2023年1月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/1361-6595/aca0bb

  45. Effects of plasma-activated Ringer’s lactate solution on cancer cells: evaluation of genotoxicity 査読有り

    Yang Liu , Yoshimichi Nakatsu, Hiromasa Tanaka, Kazunori Koga, Kenji Ishikawa, Masaharu Shiratani & Masaru Hori

    Genes and Environment   45 巻   2023年1月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

    DOI: 10.1186/s41021-023-00260-x

  46. Role of insoluble atoms in the formation of a three-dimensional buffer layer in inverted Stranski–Krastanov mode 査読有り

    Naoto Yamashita, Ryo Mitsuishi, Yuta Nakamura, Keigo Takeda, Masaru Hori, Kunihiro Kamataki, Takamasa Okumura, Kazunori Koga & Masaharu Shiratani

    Journal of Materials Research   38 巻   頁: 1178 - 1185   2023年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.1557/s43578-022-00886-7

  47. Substrates on Surface-Assisted Laser Desorption/Ionization Mass Spectrometry Performance 査読有り

    Ryusei Sakai ,Hiroki Kondo ,Kenji Ishikawa,Takayuki Ohta, Mineo Hiramatsu, Hiromasa Tanaka and Masaru Hori

    Nanomaterials   13 巻 ( 1 )   2022年12月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.3390/nano13010063

  48. Non-thermal plasma elicits ferrous chloride-catalyzed DMPO-OH 査読有り

    Yasumasa Okazaki, Nanami Ito, Hiromasa Tanaka, Masaru Hori & Shinya Toyokuni

    Free Radical Research   56 巻 ( 9-10 ) 頁: 595 - 606   2022年12月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  49. Indoor floor heel mark removal using spark discharges and pressurized airflow 査読有り

    Yoshihiro Sakamoto, Takayoshi Tsutsumi, Hiromasa Tanaka, Kenji Ishikawa, Hiroshi Hashizume and Masaru Hori

    Coatings 2022   12 巻 ( 12 )   2022年12月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.3390/coatings12121938

  50. Leukocyte Depletion and Size-Based Enrichment of Circulating Tumor Cells Using a Pressure-Sensing Microfiltration Device 査読有り

    Daisuke Onoshima, Tetsunari Hase, Naoto Kihara, Daiki Kuboyama, Daiki Kuboyama, Hiromasa Tanaka, Naoya Ozawa, Hiroshi Yukawa, Mitsuo Sato, Kenji Ishikawa, Yoshinori Hasegawa, Makoto Ishii, Masaru Hori, and Yoshinobu Baba

    ACS Meas. Sci. Au   3 巻   頁: 113 - 119   2022年12月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.1021/acsmeasuresciau.2c00057

  51. Mechanical properties of maze-like carbon nanowalls synthesized by the radial injection plasma enhanced chemical vapor deposition method 査読有り

    Swapnil Ghodke, Motoyuki Murashim, Dennis Christy, Ngo Van Nong, Kenji Ishikawa, Osamu Oda, Noritsugu Umehara, Masaru Horia

    Materials Science & Engineering A   862 巻 ( 18 ) 頁: 1 - 8   2022年11月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.msea.2022.144428

  52. Dry etching of ternary metal carbide TiAlC via surface modification using floating wire-assisted vapor plasma 査読有り

    Thi‑Thuy‑Nga Nguyen, Kazunori Shinoda, Hirotaka Hamamura, Kenji Maeda, KenetsuYokogawa, Masaru Izawa, Kenji Ishikawa, Masaru Hor

    Scientific Reports   12 巻   頁: 1 - 13   2022年11月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

    DOI: 10.1038/s41598-022-24949-1

  53. Carbon Layer Formation on Hexagonal Boron Nitride by Plasma Processing in Hydroquinone Aqueous Solution 査読有り

    Inoue, Kenichi; Sakakibara, Noritaka; Goto, Taku; Ito, Tsuyohito; Shimizu, Yoshiki; Hakuta, Yukiya; Ishikawa, Kenji; Hori, Masaru; Terashima, Kazuo Terashima

    ACS Applied Materials & Interfaces   14 巻 ( 17 ) 頁: 53413 - 53420   2022年11月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1021/acsami.2c15951

  54. Creation of unique shapes by coordination of alumina nanopores and carbon nanowalls 査読有り

    Yerassyl Yerlanuly, Dennis Christy, Ngo Van Nong, Hiroki Kondo, Balaussa Ye. Alpysbayeva, Rakhymzhan Zhumadilov, Renata R. Nemkayeva, Tlekkabul S. Ramazanov, Masaru Hori, Maratbek T. Gabdullin

    Fullerenes, nanotubes, and carbon nanostructures   31 巻 ( 4 ) 頁: 295 - 301   2022年11月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.1080/1536383X.2022.2146672

  55. Biocompatibility of conformal silicon carbide on carbon nanowall scaffolds 査読有り

    Koki Ono, Takashi Koide, Kenji Ishikawa, Hiromasa Tanaka, HIROKI KONDO, Ayae Sugawara-Narutaki, Yong Jin, Shigeno Yasuhara, Masaru HORI and Wakana Takeuchi

    Japanese Journal of Applied Physics (Special Issues)   62 巻 ( SA )   2022年11月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

    DOI: 10.35848/1347-4065/ac9319

  56. Radical-controlled plasma processes 査読有り

    Masaru Hori

    Reviews of Modern Plasma Physics   6 巻 ( 1 ) 頁: 1 - 117   2022年11月

     詳細を見る

    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1007/s41614-022-00084-2

  57. Area-selective plasma-enhanced atomic layer etching (PE-ALE) of silicon dioxide using a silane coupling agent 査読有り

    Osonio, Airah P. ; Tsutsumi, Takayoshi ; Oda, Yoshinari ; Mukherjee, Bablu ; Borude, Ranjit ; Kobayashi, Nobuyoshi ; Hori, Masaru

    Journal of Vacuum Science & Technology A,   40 巻 ( 6 )   2022年10月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1116/6.0002044

  58. Dissociation channels of c-C4F8to C2F4in reactive plasma 査読有り

    Hayashi, Toshioa;Ishikawa, Kenjia;Iwayama, Hiroshib;Sekine, Makotoa;Hori, Masarua

    Japanese Journal of Applied Physics   61 巻 ( 10 )   2022年10月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.35848/1347-4065/ac895e

  59. 液中プラズマ法によるナノグラフェン合成に及ぼす超音波の影響

    安藤 啓司、長谷川 健太、近藤 博基、堀 勝

    超音波テクノ   34 巻 ( 5 ) 頁: 42 - 46   2022年10月

     詳細を見る

    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  60. Power Generation Characteristics of Polymer Electrolyte Fuel Cell Using Carbon Nanowalls for Catalyst-Support-Materials 査読有り

    Takayuki Ohta , Hiroaki Iwata, Mineo Hiramatsu, Hiroki Kondo, Masaru Hori

    C - Journal of Carbon Research   8 巻 ( 3 )   2022年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.3390/c8030044

  61. Effects of deposition precursors of hydrogenated amorphous carbon films on the plasma etching resistance based on mass spectrometer measurements and machine learning analysis 査読有り

    Jumpei Kurokawa, Hiroki Kondo, Takayoshi Tsutsumi, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, Masaru Hori

    Vacuum   205 巻   2022年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.vacuum.2022.111351

  62. The 2022 Plasma Roadmap: low temperature plasma science and technology 査読有り

    I Adamovich, S Agarwal, E Ahedo, L L Alves, S Baalrud, N Babaeva, A Bogaerts, A Bourdon, P J Bruggeman, C Canal, E H Choi, S Coulombe, Z Donkó, D B Graves, S Hamaguchi, D Hegemann, M Hori, H-H Kim, G M W Kroesen, M J Kushner, A Laricchiuta, X Li, T E Magin, S Mededovic Thagard, V Miller, A B Murphy, G S Oehrlein, N Puac, R M Sankaran, S Samukawa, M Shiratani, M Šimek, N Tarasenko, K Terashima, E Thomas Jr, J Trieschmann, S Tsikata, M M Turner, I J van der Walt, M C M van de Sanden and T von Woedtke

    Journal of Physics D: Applied Physics   55 巻 ( 37 )   2022年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/1361-6463/ac5e1c

  63. Wide range applications of process plasma diagnostics using vacuum ultraviolet absorption spectroscopy 査読有り

    Keigo Takeda, Kenji Ishikawa, Masaru Hori

    Reviews of Modern Plasma Physics   6 巻 ( 1 )   2022年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1007/s41614-022-00075-3

  64. 低温プラズマの農業応用への可能性と進展

    橋爪 博司・堀 勝

    アグリバイオ   6 巻 ( 6 ) 頁: 47 - 51   2022年6月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  65. Study of optical emission spectroscopy using modified Boltzmann plot in dual-frequency synchronized pulsed capacitively coupled discharges with DC bias at low-pressure in Ar/O2/C4F8 plasma etching process 査読有り

    Bibhuti Bhusan Sahu, Kazuya Nakane, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, Takayoshi Tsutsumi, Taku Gohira, Yoshinobu Ohya, Noriyasu Ohnoad and Masaru Hori

    Physical Chemistry Chemical Physics   22 巻   頁: 13883 - 13896   2022年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  66. Nanosecond-scale impulse generator for biomedical applications of atmospheric-pressure plasma technology 査読有り

    Vladislav Gamaleev, Naohiro Shimizu, and Masaru Hori

    Review of Scientific Instruments   93 巻 ( 5 ) 頁: 053503-1 - 053503-10   2022年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/5.0082175

  67. High-Efficient Hydrogen Generation Study by a Reverse Tailing Pulsed-Plasma Water Dissociation Applying Wet Electrode Method 査読有り

    Naohiro Shimizu, Ranjit R Borude, Reiko Tanaka, Osamu Oda, Hiroki Hosoe, Satoshi Inou, Yousuke Inoue and Masaru Hori

    Journal of The Electrochemical Society   169 巻 ( 5 ) 頁: 054507   2022年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1149/1945-7111/ac6a1b

  68. Ion-induced interface defects in a-Si:H/c-Si heterojunction: possible roles and kinetics of hot mobile hydrogens 査読有り

    Shota Nunomura, Takayoshi Tsutsumi, Kazuya Nakane, Aiko Sato, Isao Sakata and Masaru Hori

    Japanese Journal of Applied Physics   61 巻 ( 5 ) 頁: 056003-1 - 056003-11   2022年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.35848/1347-4065/ac5210

  69. Enhanced Bioremediation of 4-Chlorophenol by Electrically Neutral Reactive Species Generated from Nonthermal Atmospheric-Pressure Plasma 査読有り

    Hiroyuki Kato, Kiyota Sakai, Shou Itoh, Naoyuki Iwata, Masafumi Ito, Masaru Hori, Masashi Kato, and Motoyuki Shimizu

    ACS OMEGA   7 巻   頁: 16197 - 16203   2022年4月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1021/acsomega.2c01615

  70. Cytotoxicity of plasma-irradiated lactate solution produced under atmospheric airtight conditions and generation of the methyl amino group 査読有り

    Daiki Ito, Naoyuki Iwata, Kenji Ishikawa, Kae Nakamura, Hiroshi Hashizume, Camelia Miron, Hiromasa Tanaka, Hiroaki Kajiyama, Shinya Toyokuni, Masaaki Mizuno and Masaru Hori

    Applied Physics Express   15 巻 ( 5 ) 頁: 56001   2022年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.35848/1882-0786/ac6360

  71. プラズマによるカーボンナノウォールの合成と応用 査読有り

    平 松 美 根 男,竹 田 圭 吾,近 藤 博 基,堀 勝

    プラズマ・核融合学会誌   98 巻 ( 4 ) 頁: 158 - 164   2022年4月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  72. In-liquid plasma synthesis of iron–nitrogen-doped carbon nanoflakes with high catalytic activity 査読有り

    Hiroki Kondo,Ryo Hamaji,Tomoki Amano,Kenji Ishikawa,Makoto Sekine,Mineo Hiramatsu,Masaru Hori

    Plasma Processes and Polymers   19 巻 ( 8 )   2022年4月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1002/ppap.202100203

  73. Low-temperature reduction of SnO2 by floating wire-assisted medium-pressure H2/Ar plasma 査読有り

    Nguyen, Thi-Thuy-Nga; Sasaki, Minoru; Hsiao, Shih-Nan; Tsutsumi, Takayoshi; Ishikawa, Kenji; Hori, Masaru

    Plasma Processes and Polymers     2022年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.1002/ppap.202100209

  74. Scaffolds with isolated carbon nanowalls promote osteogenic differentiation through Runt-related transcription factor 2 and osteocalcin gene expression of osteoblast-like cells 査読有り

    Tomonori Ichikawa, Kenji Ishikawa, Hiromasa Tanaka, Naohiro Shimizu, and Masaru Hori

    AIP Advances   12 巻 ( 2 )   2022年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/5.0075530

  75. Plasma-assisted thermal-cyclic atomic-layer etching of tungsten and control of its selectivity to titanium nitride, 査読有り

    Kazunori Shinoda, Nobuya Miyoshi, Hiroyuki Kobayashi, Yuko Hanaoka, Masaru Izawa, Kenji Ishikawa, and Masaru Hori

    Journal of Vacuum Science & Technology B   40 巻 ( 2 )   2022年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1116/6.0001660

  76. Tetrachloroaurate (III)-induced oxidation increases non-thermal plasma-induced oxidative stress 査読有り

    Yasumasa Okazaki, Kanako Sasaki, Nanami Ito, Hiromasa Tanaka, Ken-Ichiro Matsumoto, Masaru Hori & Shinya Toyokuni

    Free Radical Research   55 巻 ( 8 )   2022年1月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1080/10715762.2022.2026348

  77. Nitrogen Atom Density Measurements in NAGDIS-T Using Vacuum Ultraviolet Absorption Spectroscopy

    Nishio Ryosuke, Kajita Shin, Tanaka Hirohiko, Asaoka Koji, Tsutsumi Takayoshi, Hori Masaru, Ohno Noriyasu

    PLASMA AND FUSION RESEARCH   17 巻   2022年1月

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    記述言語:日本語  

    DOI: 10.1585/pfr.17.1201004

    Web of Science

  78. Enhancement of ethanol production and cell growth in budding yeast by direct irradiation of low-temperature plasma 査読有り

    Tanaka Hiromasa, Matsumura Shogo, Ishikawa Kenji, Hashizume Hiroshi, Ito Masafumi, Nakamura Kae, Kajiyama Hiroaki, Kikkawa Fumitaka, Ito Mikako, Ohno Kinji, Okazaki Yasumasa, Toyokuni Shinya, Mizuno Masaaki, Hori Masaru

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   61 巻 ( SA )   2022年1月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.35848/1347-4065/ac2037

    Web of Science

  79. プラズマ生命エレクトロニクスの幕開 招待有り 査読有り

    堀 勝

    化学工業   ( 863 ) 頁: 1 - 5   2022年1月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  80. 低温プラズマバイオサイエンスの未来 査読有り

    堀 勝

    プラズマ・核融合学会誌エレクトロニクス分化会会報   75 巻   頁: 9 - 13   2021年12月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)  

  81. ハイパーサーミアがん治療への相乗効果―プラズマ活性酢酸リンゲル液との併用 査読有り

    田中 宏昌, 堀 勝

    日本ハイパーサーミア学会誌   37 巻 ( 4 ) 頁: 141 - 142   2021年12月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.3191/thermalmed.37.141

  82. On the etching mechanism of highly hydrogenated sin films by CF4/D2 plasma: Comparison with CF4/H2 査読有り

    Shih-Nan Hsiao, Thi-Thuy-Nga Nguyen, Takayoshi Tsutsumi, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine and Masaru Hori

    Coatings   11 巻 ( 12 )   2021年12月

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    記述言語:英語  

    DOI: https://doi.org/10.3390/coatings11121535

  83. Low Temperature Plasma for Biology, Hygiene, and Medicine: Perspective and Roadmap 査読有り

    Mounir Laroussi, Sander Bekeschus, Michael Keidar, Annemie Bogaerts, Alexander Fridman, XinPei Lu, Kostya (Ken)Ostrikov, Masaru Hori, Katharina Stapelmann, Vandana Miller, Stephan Reuter, Christophe Laux, Ali Mesbah, James Walsh, Chunqi Jiang, Selma Mededovic Thagard, Hiromasa

    IEEE Transaction on Radiation and Plasma Medical Sciences   6 巻 ( 2 )   2021年12月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.48550/arXiv.2108.03158

  84. プラズマによるがん治療 -2021年の状況と将来展望- 査読有り

    石川 健治、 堀 勝

    静電気学会誌   45 巻 ( 6 ) 頁: 2 - 8   2021年12月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  85. Reaction Mechanism & Selectivity Control of Si-Compound ALE Based on Plasma Modification and F-radical Exposure 査読有り

    Vervuurt Ren, Mukherjee Bablu, Nakane Kazuya, Tsutsumi Takayoshi, Hori, Masaru, Kobayashi, Nobuyoshi

    LANGMUIR   37 巻 ( 43 ) 頁: 12519 - 12766   2021年10月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

    DOI: 10.1021/acs.langmuir.1c02036

  86. 窒化物半導体プラズマエッチングにおける原子層反応制御と低ダメージプロセス 査読有り

    堤 隆嘉、石川 健治、近藤 博基、関根 誠、堀 勝

    プラズマ・核融合学会誌   97 巻 ( 9 ) 頁: 517 - 521   2021年9月

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    記述言語:日本語  

  87. Low temperature plasma irradiation products of sodium lactate solution that induce cell death on U251SP glioblastoma cells were identified. 査読有り

    HiromasaTanaka, Yugo Hosoi, Kenji Ishikawa, JunYoshitake, Takahiro Shibata, Koji Uchida, Hiroshi Hashizume, Masaaki Mizuno, Yasumasa Okazaki, ShinyaToyokuni, Kae Nakamura, Hiroaki Kajiyama, Fumitaka Kikkawa, Masaru Hori

    Scientific Reports     2021年9月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1038/s41598-021-98020-w

  88. 先端プラズマプロセスが実現するバイオ・ライフテクノロジー 査読有り

    堀 勝

    化学工学   85 巻 ( 9 ) 頁: 478 - 479   2021年9月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:日本語  

  89. Novel Method of Rebound Tailing Pulse (RTP) for Water Dissociation 査読有り

    Naohiro Shimizu; Ranjit R. Borude; Reiko Tanaka; Kenji Ishikawa; Osamu Oda; Hiroki Hosoe; Satoshi Ino; Yosuke Inoue; Masaru Hori

    IEEE Transactions on Plasma Science   49 巻 ( 9 ) 頁: 2893 - 2900   2021年8月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

    DOI: 10.1109/TPS.2021.3102639

  90. Effects of hydrogen content in films on the etching of LPCVD and PECVD SiN films using CF4/H2 plasma at different substrate temperatures 査読有り

    Shih-Nan Hsiao,Nikolay Britun,Thi-Thuy-Nga Nguyen,Takayoshi Tsutsumi,Kenji Ishikawa,Makoto Sekine,Masaru Hori,

    Plasma Processes and Polymers   18 巻 ( 11 )   2021年8月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1002/ppap.202100078

  91. Evidence of near-the-limit energy cost NO formation in atmospheric spark discharge 査読有り

    Nikolay Britun, Vladislav Gamaleev and Masaru Hori

    Plasma Sources Science and Technology   30 巻 ( 8 )   2021年8月

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    記述言語:英語  

    DOI: https://doi.org/10.1088/1361-6595/ac12bf

  92. Plasma-activated Ringer's lactate solution inhibits the cellular respiratory system in HeLa cells 査読有り

    Hiromasa Tanaka,Shogo Maeda,Kae Nakamura,Hiroshi Hashizume,Kenji Ishikawa,Mikako Ito,Kinji Ohno,Masaaki Mizuno,Yashiro Motooka,Yasumasa Okazaki,Shinya Toyokuni,Hiroaki Kajiyama,Fumitaka Kikkawa,Masaru Hori

    PLASMA PROCESSES AND POLYMERS   18 巻 ( 10 )   2021年7月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1002/ppap.202100056

  93. Non-thermal plasma-induced DMPO-OH yields hydrogen peroxide 査読有り

    Yasumasa Okazaki HiromasaTanaka Ken-Ichiro Matsumoto Masaru Hori ShinyaToyokuni

    Archives of Biochemistry and Biophysics   705 巻   2021年7月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

    DOI: 10.1016/j.abb.2021.108901

  94. Brain cell proliferation in adult rats after irradiation with nonequilibrium atmospheric pressure plasma 査読有り

    Yamato Masanori, Tamura Yasuhisa, Tanaka Hiromasa, Ishikawa Kenji, Ikehara Yuzuru, Hori Masaru, Kataoka Yosky

    Applied Physics Express   14 巻 ( 36 )   2021年7月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.35848/1882-0786/ac03c1

  95. Cancer Treatments Using Low-Temperature Plasma 査読有り

    Hiromasa Tanaka , Masaaki Mizuno , Kenji Ishikawa , Shinya Toyokuni , Hiroaki Kajiyama , Fumitaka Kikkawa , Masaru Hori

    Current Medicinal Chemistry   28 巻 ( 41 ) 頁: 8549 - 8558   2021年6月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

    DOI: 10.3390/coatings11121535

  96. Lysosomal nitric oxide determines transition from autophagy to ferroptosis after exposure to plasma-activated Ringer's lactate 査読有り

    LiJianga, Hao Zhenga, Qinying Lyua Shotaro Hayashi, Kotaro Satoa, Yoshitaka Sekido, Kae Nakamura, Hiromasa Tanaka, Kenji Ishikawa, Hiroaki Kajiyama, Masaaki Mizuno, Masaru Hori, ShinyaToyokuni

    Redox Biology   43 巻   2021年4月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.redox.2021.101989

  97. Hydrogen peroxide in lactate solutions irradiated by non-equilibrium atmospheric pressure plasma 査読有り

    Yang Liu, Kenji Ishikawa, Camelia Miron, Hiroshi Hashizume, Hiromasa Tanaka and Masaru Hori

    Plasma Sources Science and Technology   30 巻   2021年4月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  98. Plasma-Treated Solutions (PTS) in Cancer Therapy 査読有り

    Hiromasa Tanaka, Sander Bekeschus, Dayun Yan, Masaru Hori, Michael Keidar and Mounir Laroussi

    Cancer   13 巻 ( 7 )   2021年4月

     詳細を見る

    掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.3390/cancers13071737

  99. Differential data on the responsiveness of multiple cell types to cell death induced by non-thermal atmospheric pressure plasma-activated solutions 査読有り

    Ko Eto, Chiaki Ishinada, Takuya Suemoto, Keiichiro Hyakutake, Hiromasa Tanaka, Masaru Hori

    Data in Brief   36 巻   2021年3月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.dib.2021.106995

  100. Preclinical Verification of the Efficacy and Safety of Aqueous Plasma for Ovarian Cancer Therapy 査読有り

    Kae Nakamura, Nobuhisa Yoshikawa, Yuko Mizuno, Miwa Ito, Hiromasa Tanaka, Masaaki Mizuno, Shinya Toyokuni, Masaru Hori, Fumitaka Kikkawa and Hiroaki Kajiyama

    Cancer   13 巻 ( 5 )   2021年3月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

    DOI: 10.3390/cancers13051141

  101. 小特集 大気圧低温プラズマに対する細胞応答とがん治療への展開 2.プラズマ照射溶液が誘発する細胞死 査読有り

    田 中 宏 昌,堀 勝

    プラズマ・核融合学会誌   97 巻 ( 3 ) 頁: 119 - 122   2021年3月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  102. 小特集 大気圧低温プラズマに対する細胞応答とがん治療への展開 1.はじめに 査読有り

    田 中 宏 昌,堀 勝

    プラズマ・核融合学会誌   97 巻 ( 3 ) 頁: 117 - 118   2021年3月

     詳細を見る

    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  103. 低温プラズマを用いたウイルスの不活性化(-ウイルス滅のプラズマ刃-) 査読有り

    堀 勝,伊藤 昌文

    応用物理学会 特別WEBコラム 新型コロナウィルス禍に学ぶ応用物理     2021年2月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  104. Cyclic C4F8 and O2 plasma etching of TiO2 for high-aspect-ratio three-dimensional devices 査読有り

    Tsubasa Imamura, Itsuko Sakai, Hisataka Hayashi, Makoto Sekine and Masaru Hori

    Japanese Journal of Applied Physics   60 巻 ( 3 )   2021年2月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.35848/1347-4065/abdf78

  105. A novel and distinctive mode of cell death revealed by using non-thermal atmospheric pressure plasma: The involvements of reactive oxygen species and the translation inhibitor Pdcd4 査読有り

    Ko Eto, Chiaki Ishinada, Takuya Suemoto, Keiichiro Hyakutake, Hiromasa Tanaka, Masaru Hori

    Chemico-Biological Interactions   338 巻   2021年2月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.cbi.2021.109403

  106. Identification of key neutral species in atmospheric‐pressure plasma for promoting proliferation of fibroblast cells 査読有り

    Yuki Hori, Naoyuki Iwata, Vladislav Gamaleev, Jun‐Seok Oh, Tomiyasu Murata, Masaru Hori, Masafumi Ito

    Plasma Processes and Polymers   18 巻 ( 4 )   2021年1月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1002/ppap.202000225

  107. L-Dehydroascorbate efficiently degrades non-thermal plasma-induced hydrogen peroxide 査読有り

    Yasumasa Okazaki, Yuuri Ishidzu, Fumiya Itoa, Hiromasa Tanaka, Masaru Hori, Shinya Toyokuni

    Archives of Biochemistry and Biophysics   700 巻   2021年1月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.abb.2021.108762

  108. Effects of Carbon Nanowalls (CNWs) Substrates on Soft Ionization of Low-Molecular-Weight Organic Compounds in Surface-Assisted Laser Desorption/Ionization Mass Spectrometry (SALDI-MS) 査読有り

    Ryusei Sakai, Tomonori Ichikawa, Hiroki Kondo , Kenji Ishikawa, Naohiro Shimizu, Takayuki Ohta, Mineo Hiramatsu, Masaru Hori

    Nanomaterials    11 巻 ( 262 )   2021年1月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.3390/nano11020262

  109. Growth inhibition effect on Trypanosoma brucei gambiense by the oxidative stress supplied from low-temperature plasma at atmospheric pressure 査読有り

    Naoaki Yokoyama, Thillaiampalam Sivakumar, Sanae Ikehara, Yoshihiro Akimoto, Takashi Yamaguchi, Ken Wakai, Kenji Ishikawa, Masaru Hori, Tetsuji Shimizu, Hajime Sakakita and Yuzuru Ikehara

    Japanese Journal of Applied Physics   60 巻 ( 2 )   2021年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.35848/1347-4065/abd464

  110. Reduction in photon-induced interface defects by optimal pulse repetition rate in the pulse-modulated inductively coupled plasma 査読有り

    Yasufumi Miyoshi, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, Masaru Hori and Tetsuya Tatsumi

    Japanese Journal of Applied Physics   60 巻 ( 1 )   2020年12月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.35848/1347-4065/abd113

  111. 大気圧低温プラズマとバイオ技術応用 査読有り

    堀 勝

    応用物理    89 巻 ( 12 ) 頁: 701-706   2020年12月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  112. Inactivation mechanism of fungal spores through oxygen radicals in atmospheric-pressure plasma 査読有り

    Masafumi Ito, Hiroshi Hashizume, Jun-Seok Oh, Kenji Ishikawa, Takayuki Ohta and Masaru Hori

    Japanese Journal of Applied Physics   60 巻 ( 1 )   2020年12月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.35848/1347-4065/abcbd1

  113. Influences of substrate temperatures on etch rates of PECVD-SiN thin films with a CF4/H2 plasma 査読有り

    Shih-NanHsiao, Kazuya Nakane, Takayoshi Tsutsumi, KenjiI shikawa, Makoto Sekine, Masaru Hori

    Applied Surface Science   542 巻   2020年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.apsusc.2020.148550

  114. Selective etching of SiN against SiO2 and poly-Si films in hydrofluoroethane chemistry with a mixture of CH2FCHF2, O2, and Ar 査読有り

    Shih-Nan Hsiao, Kenji Ishikawa, Toshio Hayashi, Jiwei Ni, Takayoshi Tsutsumi, Makoto Sekine, Masaru Hori

    Applied Surface Science   541 巻   2020年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.apsusc.2020.148439

  115. Novel Epitaxy for Nitride Semiconductors Using Plasma Technology 査読有り

    Osamu Oda, Masaru Hori

    physica status solidi (a)   218 巻 ( 1 )   2020年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1002/pssa.202000462

  116. Formation of spherical Sn particles by reducing SnO2 film in floating wire-assisted H2/Ar plasma at atmospheric pressure 査読有り

    Thi-Thuy-Nga Nguyen, Minoru Sasaki, Takayoshi Tsutsumi, Kenji Ishikawa & Masaru Hori

    Scientific Reports   10 巻   2020年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1038/s41598-020-74663-z

  117. Improvement of yield and grain quality by periodic cold plasma treatment with rice plants in a paddy field 査読有り

    Hiroshi Hashizume Hidemi Kitano Hiroko Mizuno Akiko Abe Genki Yuasa Satoe Tohno Hiromasa Tanaka Kenji Ishikawa Shogo Matsumoto

    Plasma Processes and Polymers   18 巻 ( 1 )   2020年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1002/ppap.202000181

  118. Roles of Atomic Nitrogen/Hydrogen in GaN Film Growth by Chemically Assisted Sputtering with Dual Plasma Sources 査読有り

    Atsushi Tanide, Shohei Nakamura, Akira Horikoshi, Shigeru Takatsuji, Takahiro Kimura, Kazuo Kinose, Soichi Nadahara, Masazumi Nishikawa, Akinori Ebe, Kenji Ishikawa, Osamu Oda, and Masaru Hori

    ACS omega   5 巻 ( 41 ) 頁: 26297-26956   2020年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1021/acsomega.0c03865

  119. Laser-induced-plasma-activated medium enables killing of HeLa cells 査読有り

    Yukihiro Kurokawa, Keigo Takeda, Kenji Ishikawa, Hiromasa Tanaka and Masaru Hori

    Applied Physics Express   13 巻 ( 10 )   2020年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.35848/1882-0786/abb68c

  120. Small size gold nanoparticles enhance apoptosis-induced by cold atmospheric plasma via depletion of intracellular GSH and modification of oxidative stress 査読有り

    Mati Ur Rehman, Paras Jawaid, Qing Zhao, Masaki Misawa, Kenji Ishikawa, Masaru Hori, Tadamichi Shimizu, Jun ichi Saitoh, Kyo Noguchi, and Takashi Kondo

    Cell Death Discovery   6 巻   2020年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1038/s41420-020-00314-x

  121. Influence of chamber pressure on the crystal quality of homo-epitaxial GaN grown by radical-enhanced MOCVD (REMOCVD) 査読有り

    Frank Wilson Amalraj, NaohiroShimizu, OsamuOda, KenjiIshikawa, MasaruHori

    Journal of Crystal Growth   549 巻   2020年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2020.125863

  122. Silver film etching using halogen gas plasma 査読有り

    Toshiyuki Sasaki, Kenichi Yoshikawa, Kazuhito Furumoto, Itsuko Sakai, Hisataka Hayashi, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    Journal of Vacuum Science & Technology A   38 巻 ( 5 ) 頁: 1-12   2020年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1116/6.0000286

  123. Reaction science of layer-by-layer thinning of graphene with oxygen neutrals at room temperature temperature 査読有り

    Hirotsugu Sugiura, Hiroki Kondo, Kimitaka Higuchi, Shigeo Arai, Ryo Hamaji, Takayoshi Tsutsumi, Kenji Ishikawa, Masaru Hori

    Carbon   170 巻   頁: 93-99   2020年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.carbon.2020.07.052

  124. Steering of surface discharges on Through-Glass-Vias (TGVs) combined with high-density nonequilibrium atmospheric pressure plasma generation 査読有り

    Yoichiro Sato, Kaede Katsuno, Hidefumi Odaka, Nobuhiko Imajyo, Kenji Ishikawa and Masaru Hori

    Journal of Physics D: Applied Physics   53 巻 ( 43 ) 頁: 1-11   2020年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/1361-6463/aba1ad

  125. Atomic nitrogen density measurements by actinometry method in the toroidal device NAGDIS-T 査読有り

    Shin Kajita, Koji Asaoka, Hirohiko Tanaka, Ryosuke Nishio, Takayoshi Tsutsumi, Masaru Hori, and Noriyasu Ohno

    Japanese Journal of Applied Physics   59 巻 ( 8 ) 頁: 1-6   2020年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.35848/1347-4065/aba456

  126. Measurements of nitrogen atom density in a microwave-excited plasma jet produced under moderate 査読有り

    Jaeho Kim, Keigo Takeda, Hirotomo Itagaki, Xue-lun Wang, Shingo Hirose, Hisato Ogiso, Tetsuji Shimizu, Naoto Kumagai, Takayoshi Tsutsumi, Hiroki Kondo, Masaru Hori, Hajime Sakakita

    IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING   15 巻 ( 9 )   2020年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1002/tee.23194

  127. Numerical analysis of coaxial dielectric barrier helium discharges: Three-stage mode transitions and internal bullet propagation 査読有り

    Yosuke Sato, Kenji Ishikawa, Takayoshi Tsutsumi and Masaru Hori

    Applied Physics Express   13 巻 ( 8 ) 頁: 1-5   2020年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  128. Adjusted multiple gases in the plasma flow induce differential antitumor potentials of plasma activated solutions 査読有り

    Kae Nakamura Nobuhisa Yoshikawa Masato Yoshihara Yoshiki Ikeda Akihiro Higashida Akihiro Niwa Takahiro Jindo Hiromasa Tanaka Kenji Ishikawa Masaaki Mizuno Shinya Toyokuni Masaru Hori Fumitaka Kikkawa Hiroaki Kajiyama

    Plasma Processes and Polymers   17 巻 ( 10 )   2020年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1002/ppap.201900259

  129. In situ surface analysis of an ion-energy-dependent chlorination layer on GaN during cyclic etching using Ar+ ions and Cl radicals 査読有り

    Masaki Hasegawa Takayoshi Tsutsumi, Atsushi Tanide, Shohei Nakamura, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    Journal of Vacuum Science & Technology A   38 巻 ( 4 ) 頁: 1-11   2020年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1116/6.0000124

  130. Study of the effect of normal load on friction coefficient and wear properties of CNx thin films 査読有り

    Satyananda Kar, Bibhuti Bhusan Sahu, Hiroyuki Kousaka, Jeon Geon Han, and Masaru Hori

    AIP Advances   10 巻 ( 6 ) 頁: 1-8   2020年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/5.0009783

  131. Atomic oxygen radical induced intracellular oxidization of mould spore 査読有り

    Yuta Tanaka, Jun Seok Oh, Hiroshi Hashizume, Takayuki Ohta, Masashi Kato, Masaru Hori, Masafumi Ito

    Plasma Processes and Polymers   17 巻 ( 10 )   2020年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1002/ppap.202000001

  132. Non-thermal plasma-activated lactate solution kills U251SP glioblastoma cells in an innate reductive manner with altered metabolism 査読有り

    Kenji Ishikawa, Yugo Hosoi, Hiromasa Tanaka, Li Jiang, ShinyaToyokuni, Kae Nakamura, Hiroaki Kajiyama, Fumitaka Kikkawa, Masaaki Mizuno, Masaru Hori

    Archives of Biochemistry and Biophysics   688 巻   頁: 1-9   2020年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.abb.2020.108414

  133. In-plane modification of hexagonal boron nitride particles via plasma in solution 査読有り

    Tsuyohito Ito, Taku Goto, Kenichi Inoue, Kenji Ishikawa, Hiroki Kondo, Masaru Hori, Yoshiki Shimizu, Yukiya Hakuta and Kazuo

    Applied Physics Express   13 巻 ( 6 ) 頁: 1-3   2020年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.35848/1882-0786/ab916c

  134. Electronic properties and primarily dissociation channels of fluoromethane 査読有り

    Toshio Hayashi, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine and Masaru

    Japanese Journal of Applied Physics   59 巻 ( SJ ) 頁: 1-12   2020年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.35848/1347-4065/ab7e3f

  135. Numerical simulations of stable, high-electron-density atmospheric pressure argon plasma under pin-to-plane electrode geometry: effects of applied voltage polarity 査読有り

    Yosuke Sato, Kenji Ishikawa, Takayoshi Tsutsumi, Akio Ui1, Masato Akita, Shotaro Oka and Masaru

    Journal of Physics D: Applied Physics   53 巻 ( 26 ) 頁: 1-14   2020年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/1361-6463/ab7df0

  136. Synthesis of carbon nanowalls on the surface of nanoporous alumina membranes by RI-PECVD method 査読有り

    Yerassyl Yerlanuly, Dennis Christy, Ngo Van Nong, Hiroki Kondo, Balaussa Alpysbayeva, Renata Nemkayeva, Meruert Kadyr, Tlekkabul Ramazanov, Maratbek Gabdullin, Didar Batryshev, Masaru Hori

    Applied Surface Science   523 巻   頁: 1-6   2020年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.apsusc.2020.146533

  137. Characterization of a microsecond pulsed non-equilibrium atmospheric pressure Ar plasma using laser scattering and optical emission spectroscopy 査読有り

    Fengdong JIA, Yong WU, Qi MIN, Maogen SU, Keigo TAKEDA, Kenji ISHIKAWA, Hiroki KONDO,Makoto SEKINE, Masaru HORI and Zhiping ZHONG

    Plasma Science and Technology   22 巻 ( 6 ) 頁: 1-8   2020年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/2058-6272/ab84e2

  138. Generation and diagnostics of ambient air glow discharge in centimeter-order gaps 査読有り

    Vladislav Gamaleev, Takayoshi Tsutsumi, Mineo Hiramatsu, Masafumi Ito, and Masaru Hori

    IEEE Access   8 巻   頁: 72607 - 72619   2020年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/ACCESS.2020.2988091

  139. Transparent elongation and compressive strain sensors based on aligned carbon nanowalls embedded in polyurethane

    Slobodian Petr, Riha Pavel, Kondo Hiroki, Cvelbar Uros, Olejnik Robert, Matyas Jiri, Sekine Makoto, Hori Masaru

    SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL   306 巻   2020年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.sna.2020.111946

    Web of Science

  140. Growth of single crystalline films on lattice-mismatched substrates through 3D to 2D mode transition 査読有り

    Naho Itagaki, Yuta Nakamura, Ryota Narishige, Keigo Takeda, Kunihiro Kamataki, Kazunori Koga, Masaru Hori & Masaharu Shiratani

    Scientific Reports   10 巻   2020年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1038/s41598-020-61596-w

  141. Electron and negative ions dynamics in a pulsed 100 MHz capacitive discharge produced in O2 and Ar/O2/C4F8 gas mixture 査読有り

    N Sirse, T Tsutsumi, M Sekine, M Hori and A R Ellingboe

    Plasma Sources Science and Technology   29 巻 ( 3 ) 頁: 1-   2020年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/1361-6595/ab7086

  142. N-Graphene Nanowalls via Plasma Nitrogen Incorporation and Substitution: The Experimental Evidence 査読有り

    Neelakandan M. Santhosh, Gregor Filipič, Eva Kovacevic, Andrea Jagodar, Johannes Berndt, Thomas Strunskus, Hiroki Kondo, Masaru Hori, Elena Tatarova & Uroš Cvelbar

    Nano-Micro Letters   12 巻   頁: 1-17   2020年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1007/s40820-020-0395-5

  143. Plasma-activated medium promotes autophagic cell death along with alteration of the mTOR pathway 査読有り

    Nobuhisa Yoshikawa, Wenting Liu, Kae Nakamura, Kosuke Yoshida, Yoshiki Ikeda, Hiromasa Tanaka, Masaaki Mizuno, Shinya Toyokuni, Masaru Hori, Fumitaka Kikkawa & Hiroaki Kajiyama

    Scientific Reports   10 巻   頁: 1-8   2020年1月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1038/s41598-020-58667-3

  144. Oxygen radical based on non-thermal atmospheric pressure plasma alleviates ligninderived phenolic toxicity in yeast 査読有り

    Shou Ito, Kiyota Sakai, Vladislav Gamaleev, Masafumi Ito, Masaru Hori, Masashi Kato, Motoyuki Shimizu

    Biotechnology for Biofuels   13 巻   頁: 1-13   2020年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1186/s13068-020-1655-9

  145. Scalable Treatment of Flowing Organic Liquids Using Ambient-Air Glow Discharge for Agricultural Applications 査読有り

    Vladislav Gamaleev, Naoyuki Iwata, Ginji Ito, Masaru Hori, Mineo Hiramatsu and Masafumi Ito

    Applied Sciences   10 巻 ( 3 ) 頁: 1-17   2020年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.3390/app10030801

  146. Synthesis of isolated carbon nanowalls via high-voltage nanosecond pulses in conjunction with CH4/H2 plasma enhanced chemical vapor deposition 査読有り

    Tomonori Ichikawa, Naohiro Shimizu, Kenji Ishikawa, Mineo Hiramatsu, and Masaru Hori

    Carbon   161 巻   頁: 403-412   2020年1月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.carbon.2020.01.064

  147. Interaction of oxygen with polystyrene and polyethylene polymer films: A mechanistic study 査読有り

    Yusuke Fukunaga, Roberto C. Longo, Peter L. G. Ventzek, Barton Lane, Alok Ranjan, Gyeong S. Hwang, Gregory Hartmann, Takayoshi Tsutsumi, Kenji Ishikawa, Hiroki Kondo, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    Journal of Applied Physics   127 巻 ( 2 )   2020年1月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.5127863

  148. Initial growth analysis of ALD Al2O3 film on hydrogen-terminated Si substrate via in situ XPS 査読有り

    Hiroyuki Fukumizu, Makoto Sekine, Masaru Hori and Paul C. McIntyre

    Japanese Journal of Applied Physics   59 巻 ( 1 ) 頁: 1-6   2020年1月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/1347-4065/ab6273

  149. In-liquid plasma synthesis of nanographene with a mixture of methanol and 1-butanol 査読有り

    Atsushi Ando, Kenji Ishikawa, Keigo Takeda, Takayuki Ohta, Masafumi Ito, Mineo Hiramatsu, Hiroki Kondo, Makoto Sekine, Masaru Hori

      Volume6 巻 ( Issue4 )   2019年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1002/cnma.201900676

  150. Gas-phase and film analysis of hydrogenated amorphous carbon films: Effect of ion bombardment energy flux on sp2 carbon structures 査読有り

    Hirotsugu Sugiura, Yasuyuki Ohashi, Kenji Ishikawa, Hiroki Kondo, Toshiaki Kato, Toshiro Kaneko, Keigo Takeda, Takayoshi Tsutsumi, Toshio Hayashi, Makoto Sekine, Masaru Hori

    Diamond & Related Materials   104 巻   頁: 1-10   2019年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.diamond.2019.107651

  151. Simulation-aided design of very-high-frequency excited nitrogen plasma confinement using a shield plate 査読有り

    Yasuhiro Isobe, Takayuki Sakai, Kyoichi Suguro, Naoto Miyashita, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Amalraj Frank Wilson, Naohiro Shimizu, Osamu Oda, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    Journal of Vacuum Science & Technology B   37 巻 ( 6 )   2019年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.1116/1.5114831

  152. Exosomal Analysis of ALK Rearrangements by Spin Column with Porous Glass Filter

    Hatta T., Hase T., Ozawa N., Yogo N., Yukawa H., Tanaka H., Onoshima D., Sato M., Hori M., Baba Y., Hasegawa Y.

    JOURNAL OF THORACIC ONCOLOGY   14 巻 ( 10 ) 頁: S676-S676   2019年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    Web of Science

  153. Oxidative stress-dependent and -independent death of glioblastoma cells induced by non-thermal plasma-exposed solutions 査読有り

    Tanaka Hiromasa, Mizuno Masaaki, Katsumata Yuko, Ishikawa Kenji, Kondo Hiroki, Hashizume Hiroshi, Okazaki Yasumasa, Toyokuni Shinya, Nakamura Kae, Yoshikawa Nobuhisa, Kajiyama Hiroaki, Kikkawa Fumitaka, Hori Masaru

    SCIENTIFIC REPORTS   9 巻   2019年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1038/s41598-019-50136-w

    Web of Science

  154. In Situ Monitoring of Surface Reactions during Atomic Layer Etching of Silicon Nitride Using Hydrogen Plasma and Fluorine Radicals 査読有り

    Kazuya Nakane, René H. J. Vervuurt, Takayoshi Tsutsumi, Nobuyoshi Kobayashi, and Masaru Hori

    ACS Applied Materials & Interfaces   11 巻 ( 40 )   2019年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1021/acsami.9b11489

  155. Rapid thermal-cyclic atomic-layer etching of titanium nitride in CHF3/O-2 downstream plasma 査読有り

    Kazunori Shinoda, Nobuya Miyoshi, Hiroyuki Kobayashi, Masaru Izawa, Kenji Ishikawa and Masaru Hori

    Journal of Physics D: Applied Physics   52 巻 ( 47 )   2019年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/1361-6463/ab3cf3

  156. Direct Treatment of Liquids Using Low-Current Arc in Ambient Air for Biomedical Applications 査読有り

    Gamaleev Vladislav, Iwata Naoyuki, Hori Masaru, Hiramatsu Mineo, Ito Masafumi

    APPLIED SCIENCES-BASEL   9 巻 ( 17 )   2019年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.3390/app9173505

  157. Self-limiting reactions of ammonium salt in CHF3/O2 downstream plasma for thermal-cyclic atomic layer etching of silicon nitride 査読有り

    Kazunori Shinoda, Nobuya Miyoshi, Hiroyuki Kobayashi, Masaru Izawa, Tomonori Saeki, Kenji Ishikawa, and Masaru Hori

    Journal of Vacuum Science & Technology A   37 巻 ( 5 )   2019年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1116/1.5111663

  158. Atmospheric Pressure Plasma-Treated Carbon Nanowalls' Surface-Assisted Laser Desorption/Ionization Time-of-Flight Mass Spectrometry (CNW-SALDI-MS) 査読有り

    Takayuki Ohta , Hironori Ito , Kenji Ishikawa , Hiroki Kondo , Mineo Hiramatsu and Masaru Hori

    Special Issue "Plasma Processing for Carbon-based Materials   5 巻 ( 3 )   2019年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.3390/c5030040

  159. l-Dehydroascorbic acid recycled by thiols efficiently scavenges non-thermal plasma-induced hydroxyl radicals 査読有り

    Yasumasa Okazaki, Hiromasa Tanaka, Masaru Hori, Shinya Toyokuni

    Archives of Biochemistry and Biophysics   669 巻   頁: 87-95   2019年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.abb.2019.05.019

  160. Review of methods for the mitigation of plasma-induced damage to low-dielectric-constant interlar dielectrics used for semiconductor logic device interconnects 査読有り

    Hideshi Miyajima , Kenji Ishikawa, Makoto Sekine , Masaru Hori

    Plasma Processes and Polymers   16 巻 ( 9 )   2019年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.1002/ppap.201900039

  161. Investigation on the long-term bactericidal effect and chemical composition of radical-activated water 査読有り

    Naoyuki Iwata, Vladislav Gamaleev, Jun-Seok Oh, Takayuki Ohta, Masaru Hori, Masafumi Ito

    Plasma Processes and Polymers   16 巻 ( 10 )   2019年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1002/ppap.201900055

  162. Gene Expression of Osteoblast-like Cells on Carbon-Nanowall as Scaffolds during Incubation with Electrical Stimulation 査読有り

    Tomonori Ichikawa, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Takayoshi Tsutsumi, Hiromasa Tanaka, Makoto Sekine, Masaru Hori

    ACS Applied Bio Materials   2 巻 ( 8 )   2019年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1021/acsabm.9b00178

  163. Non-thermal plasma specifically kills oral squamous cell carcinoma cells in a catalytic Fe(II)-dependent manner 査読有り

    Kotaro Sato, Lei Shi, Fumiya Ito, Yuuki Ohara, Yashiro Motooka, Hiromasa Tanaka, Masaaki Mizuno, Masaru Hori, Tasuku Hirayama, Hideharu Hibi and Shinya Toyokuni

    Journal of Clinical Biochemistry and Nutrition   65 巻 ( 1 ) 頁: 8-15   2019年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.3164/jcbn.18-91

  164. Simultaneous Achievement of Antimicrobial Property and Plant Growth Promotion using Plasma Activated Benzoic Compound Solution 査読有り

    Naoyuki Iwata, Vladislav Gamaleev, Hiroshi Hashizume, Jun-Seok Oh, Takayuki Ohta, Kenji Ishikawa, Masaru Hori, and Masafumi Ito

    Plasma Processes and Polymers   16 巻 ( 8 )   2019年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1002/ppap.201900023

  165. Formation mechanism of sidewall striation in high-aspect-ratio hole etching 査読有り

    Mitsuhiro Omura, Junichi Hashimoto, Takahiro Adachi, Yusuke Kondo, Masao Ishikawa, Junko Abe, Itsuko Sakai, Hisataka Hayashi, Makoto Sekine and Masaru Hori

    Japanese Journal of Applied Physics   58 巻 ( SE )   2019年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/1347-4065/ab163c

  166. Plasma-activated solution alters the morphological dynamics of supported lipid bilayers observed by high-speed atomic force microscopy 査読有り

    Sotaro Yamaoka, Hiroki Kondo, Hiroshi Hashizume, Kenji Ishikawa, Hiromasa Tanaka and Masaru Hori

    Applied Physics Express   12 巻 ( 6 )   2019年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/1882-0786/ab1a58

  167. Electronic properties and primarily dissociation channels of fluoroethane compounds 査読有り

    Toshio Hayashi, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine and Masaru Hori

    Japanese Journal of Applied Physics   58 巻 ( SE )   2019年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/1347-4065/ab09ca

  168. プラズマプロセスにおける吸収分光計測の基礎

    竹田圭吾、高島成剛、堀 勝

    プラズマ・核融合学会誌   195 巻 ( 4 ) 頁: 180-186   2019年4月

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    記述言語:日本語  

  169. Facile synthesis of SnO2-graphene composites employing nonthermal plasma and SnO2 nanoparticles-dispersed ethanol

    Borude Ranjit R., Sugiura Hirotsugu, Ishikawa Kenji, Tsutsumi Takayoshi, Kondo Hiroki, Hori Masaru

    JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS   52 巻 ( 17 )   2019年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/1361-6463/ab03c4

    Web of Science

  170. Laser-drilling formation of through-glass-via (TGV) on polymer-laminated glass 査読有り

    Yoichiro Sato, Nobuhiko Imajyo, Kenji Ishikawa, Rao Tummala, Masaru Hori

    Journal of Materials Science: Materials in Electronics   30 巻 ( 11 ) 頁: pp10183-10190   2019年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1007/s10854-019-01354-5

  171. Systematic diagnostics of the electrical, optical, and physicochemical characteristics of low-temperature atmospheric-pressure helium plasma sources

    Takeda Keigo, Yamada Hiromasa, Ishikawa Kenji, Sakakita Hajime, Kim Jaeho, Ueda Masashi, Ikeda Jun-ichiro, Akimoto Yoshihiro, Kataoka Yosky, Yokoyama Naoaki, Ikehara Yuzuru, Hori Masaru

    JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS   52 巻 ( 16 )   2019年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/1361-6463/aaff44

    Web of Science

  172. Effects of plasma shield plate design on epitaxial GaN films grown for large-sized wafers in radical-enhanced metalorganic chemical vapor deposition 査読有り

    Yasuhiro Isobe, Takayuki Sakai, Naoharu Sugiyama, Ichiro Mizushima, Kyoichi Suguro, Naoto Miyashita, Yi Lu, Amalraj Frank Wilson, Dhasiyan Arun Kumar, Nobuyuki Ikarashi, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Naohiro Shimizu, Osamu Oda, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    Journal of Vacuum Science & Technology B   37 巻 ( 3 )   2019年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1116/1.5083970

  173. A 65-nm CMOS Fully Integrated Analysis Platform Using an On-Chip Vector Network Analyzer and a Transmission-Line-Based Detection Window for Analyzing Circulating Tumor Cell and Exosome

    Niitsu Kiichi, Nakanishi Taiki, Murakami Shunya, Matsunaga Maya, Kobayashi Atsuki, Karim Nissar Mohammad, Ito Jun, Ozawa Naoya, Hase Tetsunari, Tanaka Hiromasa, Sato Mitsuo, Kondo Hiroki, Ishikawa Kenji, Odaka Hidefumi, Hasegawa Yoshinori, Hori Masaru, Nakazato Kazuo

    IEEE TRANSACTIONS ON BIOMEDICAL CIRCUITS AND SYSTEMS   13 巻 ( 2 ) 頁: 470-479   2019年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/TBCAS.2018.2882472

    Web of Science

  174. Effects of 3D structure on electrochemical oxygen reduction characteristics of Pt- nanoparticle-supported carbon nanowalls

    Imai Shun, Naito Kenichi, Kondo Hiroki, Cho Hyung Jun, Ishikawa Kenji, Tsutsumi Takayoshi, Sekine Makoto, Hiramatsu Mineo, Hori Masaru

    JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS   52 巻 ( 10 )   2019年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/1361-6463/aaf8e0

    Web of Science

  175. Chemical bonding structure in porous SiOC films (k<2.4) with high plasma-induced damage resistance 査読有り

    Hideshi Miyajima, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    Micro and Nano Engineering   3 巻   頁: 1-6   2019年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.mne.2019.02.005

  176. Atomic layer etching of AlGaN using Cl-2 and Ar gas chemistry and UV damage evaluation

    Fukumizu Hiroyuki, Sekine Makoto, Hori Masaru, Kanomaru Koji, Kikuchi Takuo

    JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A   37 巻 ( 2 )   2019年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1116/1.5063795

    Web of Science

  177. Effects of BCl3 addition to Cl-2 gas on etching characteristics of GaN at high temperature

    Tanide Atsushi, Nakamura Shohei, Horikoshi Akira, Takatsuji Shigeru, Kohno Motohiro, Kinose Kazuo, Nadahara Soichi, Ishikawa Kenji, Sekine Makoto, Hori Masaru

    JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B   37 巻 ( 2 )   2019年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1116/1.5082345

    Web of Science

  178. Real-time control of a wafer temperature for uniform plasma process

    T. Tsutsumi, Y. Fuknaga, K. Ishikawa, H. Kondo, M. Sekine, M. Hori

    2018 International Symposium on Semiconductor Manufacturing (ISSM)     2019年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/ISSM.2018.8651183

  179. Non-thermal plasma-activated medium modified metabolomic profiles in the glycolysis of U251SP glioblastoma 査読有り

    Naoyuki Kurake, Kenji Ishikawa, Hiromasa Tanaka, Hiroshi Hashizume, Kae Nakamura, Hiroaki Kajiyama, Shinya Toyokuni, Fumitaka Kikkawa, Masaaki Mizuno, Masaru Hori

    Archives of Biochemistry and Biophysics   662 巻   頁: 83-92   2019年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  180. Remotely floating wire-assisted generation of high-density atmospheric pressure plasma and SF6-added plasma etching of quartz glass

    Thi-Thuy-Nga Nguyen, Sasaki Minoru, Odaka Hidefumi, Tsutsumi Takayoshi, Ishikawa Kenji, Hori Masaru

    JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   125 巻 ( 6 )   2019年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.5081875

    Web of Science

  181. Control of sp2-C cluster incorporation of amorphous carbon films grown by H-radical-injection CH4/H2 plasma-enhanced chemical vapor deposition 査読有り

    Hirotsugu Sugiura, Lingyun Jia, Yasuyuki Ohashi, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Takayoshi Tsutsumi, Toshio Hayashi, Keigo Takeda, Makoto Sekine and Masaru Hori

    Japanese Journal of Applied Physics   58 巻 ( 3 )   2019年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/1347-4065/aafd49

  182. Single-Step, Low-Temperature Simultaneous Formations and in Situ Binding of Tin Oxide Nanoparticles to Graphene Nanosheets by In-Liquid Plasma for Potential Applications in Gas Sensing and Lithium-Ion Batteries 査読有り

    Ranjit R. Borude, Hirotsugu Sugiura, Kenji Ishikawa, Takayoshi Tsutsumi, Hiroki Kondo, Nobuyuki Ikarashi, and Masaru Hori

    ACS Applied Nano Materials   2 巻 ( 2 ) 頁: 649-654   2019年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  183. Adhesion enhancement and amine reduction using film redeposited at the interface of a stack of plasma-enhanced CVD dielectrics for Cu/low-k interconnects

    Miyajima Hideshi, Watanabe Kei, Ishikawa Kenji, Sekine Makoto, Hori Masaru

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   58 巻 ( 2 )   2019年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/1347-4065/aafb5b

    Web of Science

  184. Hetero-epitaxial growth of a GaN film by the combination of magnetron sputtering with Ar/Cl-2 gas mixtures and a separate supply of nitrogen precursors from a high density radical source

    Tanide Atsushi, Nakamura Shohei, Horikoshi Akira, Takatsuji Shigeru, Kohno Motohiro, Kinose Kazuo, Nadahara Soichi, Nishikawa Masazumi, Ebe Akinori, Ishikawa Kenji, Hori Masaru

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   58 巻 ( SA )   2019年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/1347-4065/aaeb39

    Web of Science

  185. Narrow free-standing features fabricated by top-down self-limited trimming of organic materials using precisely temperature-controlled plasma etching system

    Fukunaga Yusuke, Tsutsumi Takayoshi, Kondo Hiroki, Ishikawa Kenji, Sekine Makoto, Hori Masaru

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   58 巻 ( 2 )   2019年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/1347-4065/aaf92a

    Web of Science

  186. Effects of Ion Bombardment Energy Flux on Chemical Compositions and Structures of Hydrogenated Amorphous Carbon Films Grown by a Radical-Injection Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition 査読有り

    Hirotsugu Sugiura , Hiroki Kondo, Takayoshi Tsutsumi, Kenji Ishikawa and Masaru Hori

    C-Journal of Carbon Research   5 巻 ( 1 )   2019年1月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.3390/c5010008

  187. Electrochemical Reaction in Hydrogen Peroxide and Structural Change of Platinum Nanoparticle-Supported Carbon Nanowalls Grown Using Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition 査読有り

    Masakazu Tomatsu 1, Mineo Hiramatsu, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Takayoshi Tsutsumi, Makoto Sekine and Masaru Hori

    Journal of Carbon Research   5 巻 ( 1 )   2019年1月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.3390/c5010007

  188. Effect of electrical stimulation on proliferation and bone-formation by osteoblast-like cells cultured on carbon nanowalls scaffolds 査読有り

    Tomonori Ichikawa, Suiki Tanaka, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Takayoshi Tsutsumi, Makoto Sekine and Masaru Hori

    Applied Physics Express   12 巻 ( 2 )   2019年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/1882-0786/aaf469

  189. Modifications of surface and bulk properties of magnetron-sputtered carbon films employing a post-treatment of atmospheric pressure plasma 査読有り

    Ranjit R. Borude, Hirotsugu Sugiura, Kenji Ishikawa, Takayoshi Tsutsumi, Hiroki Kondo, Jeon Geon Han and Masaru Hori

    Japanese Journal of Applied Physics   58 巻 ( SA )   2019年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/1347-4065/aaec87

  190. Polyethylene terephthalate (PET) surface modification by VUV and neutral active species in remote oxygen or hydrogen plasmas 査読有り

    Yan Zhang, Kenji Ishikawa, Miran Mozetič, Takayoshi Tsutsumi, Hiroki Kondo , Makoto Sekine, Masaru Hori

    Plasma Processes and Polymers   16 巻 ( 6 )   2019年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1002/ppap.201800175

  191. Batch Fabrication of Nano-Gap Electrode Array Using Photo-Patterning and Resist UV-Curing 査読有り

    Hai Minh Nguyer, Mako Kumeuchi, Shinya Kumagai, Kenji Ishikawa, Masaru Hori, Minoru Sasaki

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   139 巻 ( 1 ) 頁: 27-28   2019年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1541/ieejsmas.139.27

  192. Liquid dynamics in response to an impinging low-temperature plasma jet 査読有り

    Timothy R. Brubaker, Kenji Ishikawa, Hiroki Kondo, Takayoshi Tsutsumi, Hiroshi Hashizume, Hiromasa Tanaka, Sean D. Knecht, Sven G. Bilen, and Masaru Hori

    Journal of Physics D: Applied Physics   52 巻 ( 7 )   2018年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/1361-6463/aaf460

  193. Pt nanoparticle-supported carbon nanowalls electrode with improved durability for fuel cell applications using C2F6/H2 plasma-enhanced chemical vapor deposition 査読有り

    Shun Imai, Hiroki Kondo, Cho Hyungjun, Kenji Ishikawa, Takayoshi Tsutsumi, Makoto Sekine, Mineo Hiramatsu and Masaru Hori

    Applied Physics Express   12 巻 ( 1 )   2018年12月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/1882-0786/aaf0ab

  194. 大気圧プラズマを用いたがん治療へ向けた基礎研究

    田中宏昌、堀勝

    腎とフリーラジカル 第13集     頁: 46-49   2018年11月

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    記述言語:日本語  

  195. Effect of N2/H2 plasma on GaN substrate cleaning for homoepitaxial GaN growth by radical-enhanced metalorganic chemical vapor deposition (REMOCVD) 査読有り

    Frank Wilson Amalraj, Arun Kumar Dhasiyan, Yi Lu1, Naohiro Shimizu, Osamu Oda, Kenji Ishikawa, Hiroki Kondo, Makoto Sekine, Nobuyuki Ikarashi, and Masaru Hori

    AIP Advances   8 巻 ( 11 )   2018年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.5050819

  196. Oriented Carbon Nanostructures by Plasma Processing: Recent Advances and Future Challenges

    Santhosh Neelakandan M., Filipic Gregor, Tatarova Elena, Baranov Oleg, Kondo Hiroki, Sekine Makoto, Hori Masaru, Ostrikov Kostya (Ken), Cvelbar Uros

    MICROMACHINES   9 巻 ( 11 )   2018年11月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.3390/mi9110565

    Web of Science

  197. Time Evolution Of Reactive Oxygen Nitrogen Species in Plasma-Activated Essential Media and Water

    Brubaker Timothy, Ishikawa Kenji, Takeda Keigo, Hashizume Hiroshi, Tanaka Hiromasa, Kondo Hiroki, Sekine Makoto, Hori Masaru

    2017 IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON PLASMA SCIENCE (ICOPS)     2018年10月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/PLASMA.2017.8496057

  198. Molecular mechanisms of non-thermal plasma-induced effects in cancer cells 査読有り

    Tanaka, Hiromasa; Mizuno, Masaaki; Ishikawa, Kenji; Toyokuni, Shinya; Kajiyama, Hiroaki; Kikkawa, Fumitaka; Hori, Masaru

    Biological Chemistry     2018年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1515/hsz-2018-0199

  199. 大気圧プラズマ処理による異種材料接合

    近藤博基、堤隆嘉、石川健治、関根 誠、堀 勝 

    化学工学(公益社団法人 化学工学会)   82 巻 ( 9 ) 頁: 487-490   2018年9月

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    記述言語:日本語  

  200. Mechanism of asymmetric etched profiles in trimming process 査読有り

    Nobuyuki Negishi, Masatoshi Miyake, Keigo Takeda, and Masaru Hori

    Japanese Journal of Applied Physics   57 巻 ( 10 )   2018年9月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.57.106201

  201. Reaction mechanisms between chlorine plasma and a spin-on-type polymer mask for high-temperature plasma etching 査読有り

    Yan Zhang, Masato Imamura, Kenji Ishikawa, Takayoshi Tsutsumi, Hiroki Kondo, Makoto Sekine, Masaru Hori

    Japanese Journal of Applied Physics   57 巻 ( 10 )   2018年8月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.57.106502

  202. New hopes for plasma-based cancer treatment 査読有り

    Hiromasa Tanaka, Masaaki Mizuno, Kenji Ishikawa, Shinya Toyokuni, Hiroaki Kajiyama, Fumitaka Kikkawa, Masaru Hori

    Plasma 2018   1 巻   頁: 150-155   2018年8月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.3390/plasma1010014

  203. Cytotoxic effects of plasma-irradiated fullerenol 査読有り

    Daiki Kanno, Hiromasa Tanaka, Kenji Ishikawa, Hiroshi Hashizume and Masaru Hori

    Journal of Physics D: Applied Physics   51 巻 ( 37 )   2018年8月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/1361-6463/aad510

  204. Effect of substrate temperature on sidewall erosion in high-aspect-ratio Si hole etching employing HBr/SF6/O2 plasma 査読有り

    Itsuko Sakai, Katsunori Yahashi, Satoshi Shimonishi, Makoto Sekine and Masaru Hori

    Japanese Journal of Applied Physics   57 巻 ( 9 )   2018年8月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.57.098004

  205. Elevated-temperature etching of gallium nitride (GaN) in dual-frequency capacitively coupled plasma of CH4/H2 at 300-500°C 査読有り

    Takashi Kako, Zecheng Liu, Kenji Ishikawa, Hiroki Kondo, Osamu Oda, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    Vacuum   156 巻   頁: 219-223   2018年7月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.vacuum.2018.07.040

  206. プラズマ技術概論

    堀 勝

    自動車技術   72 巻   頁: P12-17   2018年6月

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

  207. Cell Deposition Microchip with Micropipette Control over Liquid Interface Motion 査読有り

    Onoshima Daisuke, Hattori Yuya, Yukawa Hiroshi, Ishikawa Kenji, Hori Masaru, Baba Yoshinobu

    CELL MEDICINE   10 巻   2018年5月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1177/2155179017733152

    Web of Science

  208. Imaging Differences between Neuromyelitis Optica Spectrum Disorders and Multiple Sclerosis: A Multi-Institutional Study in Japan 査読有り

    Tatekawa H., Sakamoto S., Hori M., Kaichi Y., Kunimatsu A., Akazawa K., Miyasaka T., Oba H., Okubo T., Hasuo K., Yamada K., Taoka T., Doishita S., Shimono T., Miki Y.

    AMERICAN JOURNAL OF NEURORADIOLOGY   39 巻 ( 7 ) 頁: 1239-1247   2018年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.3174/ajnr.A5663

    Web of Science

  209. Effects of gas residence time of CH4/H2 on sp2 fraction of amorphous carbon films and dissociated methyl density during radical-injection plasma-enhanced chemical vapor deposition 査読有り

    Hirotsugu Sugiura, Lingyun Jia, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Takayoshi Tsutsumi, Toshio Hayashi, Keigo Takeda, Makoto Sekine and Masaru Hori

    Japanese Journal of Applied Physics   57 巻 ( 6s2 )   2018年5月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.57.06JE03

  210. Low-autofluorescence fluoropolymer membrane filters for cell filtration 査読有り

    Naoto Kihara, Daiki Kuboyama, Daisuke Onoshima, Kenji Ishikawa, Hiromasa Tanaka, Naoya Ozawa, Tetsunari Hase, Ryohei Koguchi, Hiroshi Yukawa, Hidefumi Odaka, Yoshinori Hasegawa, Yoshinobu Baba and Masaru Hori

    Japanese Journal of Applied Physics   57 巻 ( 6s2 )   2018年5月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.57.06JF03

  211. Temperature dependence on plasma-induced damage and chemical reactions in GaN etching processes using chlorine plasma 査読有り

    Zecheng Liu, Kenji Ishikawa, Masato Imamura, Takayoshi Tsutsumi, Hiroki Kondo, Osamu Oda, Makoto Sekine and Masaru Hori

    Japanese Journal of Applied Physics   57 巻 ( 6s2 )   2018年5月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.57.06JD01

  212. Plasma Activated Medium

    Hiromasa Tanaka, and Masaru Hori

    Comprehensive Clinical Plasma Medicine     頁: 431-440   2018年5月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1007/978-3-319-67627-2_26

  213. Dissociative properties of 1,1,1,2-tetrafluoroethane obtained by computational chemistry 査読有り

    Toshio Hayashi, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine and Masaru Hori

    Japanese Journal of Applied Physics   57 巻 ( 6s2 )   2018年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.57.06JC02

  214. Impact of helium pressures in arc plasma synthesis on crystallinity of single-walled carbon nanotubes 査読有り

    Atsushi Ando, Keigo Takeda, Takayuki Ohta, Masafumi Ito, Mineo Hiramatsu, Kenji Ishikawa, Hiroki Kondo, Makoto Sekine, Tomoko Suzuki, Sakae Inoue, Yoshinori Ando, and Masaru Hori

    Japanese Journal of Applied Physics   57 巻 ( 6S2 )   2018年4月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.57.06JF01

  215. Isotropic atomic level etching of tungsten using formation and desorption of tungsten fluoride 査読有り

    Shinoda Kazunori, Miyoshi Nobuya, Kobayashi Hiroyuki, Hanaoka Yuko, Kawamura Kohei, Izawa Masaru, Ishikawa Kenji, Hori Masaru

    ADVANCED ETCH TECHNOLOGY FOR NANOPATTERNING VII   10589 巻   2018年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1117/12.2297241

    Web of Science

  216. Nanographene synthesized in triple-phase plasmas as a highly durable support of catalysts for polymer electrolyte fuel cells 査読有り

    Amano Tomoki, Kondo Hiroki, Takeda Keigo, Ishikawa Kenji, Hiramatsu Mineo, Sekine Makoto, Hori Masaru

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   57 巻 ( 4 )   2018年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.57.045101

  217. Disruption of the pacemaker activity of interstitial cells of Cajal via nitric oxide contributes to postoperative ileus 査読有り

    Kaji N., Nakayama S., Horiguchi K., Iino S., Ozaki H., Hori M.

    NEUROGASTROENTEROLOGY AND MOTILITY   30 巻 ( 8 )   2018年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1111/nmo.13334

  218. Reduced HeLa cell viability in methionine-containing cell culture medium irradiated with microwave-excited atmospheric-pressure plasma

    Takahashi Yohei, Taki Yusuke, Takeda Keigo, Hashizume Hiroshi, Tanaka Hiromasa, Ishikawa Kenji, Hori Masaru

    PLASMA PROCESSES AND POLYMERS   15 巻 ( 3 )   2018年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1002/ppap.201700200

    Web of Science

  219. Glioblastoma Cell Lines Display Different Sensitivities to Plasma-Activated Medium

    Tanaka Hiromasa, Mizuno Masaaki, Ishikawa Kenji, Takeda Keigo, Hashizume Hiroshi, Nakamura Kae, Utsumi Fumi, Kajiyama Hiroaki, Okazaki Yasumasa, Toyokuni Shinya, Akiyama Shinichi, Maruyama Shoichi, Kikkawa Fumitaka, Hori Masaru

    IEEE TRANSACTIONS ON RADIATION AND PLASMA MEDICAL SCIENCES   2 巻 ( 2 ) 頁: 99-102   2018年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/TRPMS.2017.2721973

    Web of Science

  220. NHM-SMAP: spatially and temporally high-resolution nonhydrostatic atmospheric model coupled with detailed snow process model for Greenland Ice Sheet 査読有り

    Niwano Masashi, Aoki Teruo, Hashimoto Akihiro, Matoba Sumito, Yamaguchi Satoru, Tanikawa Tomonori, Fujita Koji, Tsushima Akane, Iizuka Yoshinori, Shimada Rigen, Hori Masahiro

    CRYOSPHERE   12 巻 ( 2 ) 頁: 635-655   2018年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.5194/tc-12-635-2018

    Web of Science

  221. Cytotoxicity of cancer HeLa cells sensitivity to normal MCF10A cells in cultivations with cell culture medium treated by microwave-excited atmospheric pressure plasmas 査読有り

    Takahashi Yohei, Taki Yusuke, Takeda Keigo, Hashizume Hiroshi, Tanaka Hiromasa, Ishikawa Kenji, Hori Masaru

    JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS   51 巻 ( 11 )   2018年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/1361-6463/aaab09

    Web of Science

  222. Oxygen reduction reaction properties of nitrogen-incorporated nanographenes synthesized using in-liquid plasma from mixture of ethanol and iron phthalocyanine 査読有り

    Amano Tomoki, Kondo Hiroki, Takeda Keigo, Ishikawa Kenji, Hiramatsu Mineo, Sekine Makoto, Hori Masaru

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   57 巻 ( 4 )   2018年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.57.040303

    Web of Science

  223. Free radical generation by non-equilibrium atmospheric pressure plasma in alcohol-water mixtures: an EPR-spin trapping study 査読有り

    Uchiyama Hidefumi, Ishikawa Kenji, Zhao Qing-Li, Andocs Gabor, Nojima Nobuyuki, Takeda Keigo, Krishna Murali C., Ishijima Tatsuo, Matsuya Yuji, Hori Masaru, Noguchi Kyo, Kondo Takashi

    JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS   51 巻 ( 9 )   2018年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/1361-6463/aaa885

    Web of Science

  224. Intraperitoneal Treatment With Plasma-Activated Liquid Inhibits Peritoneal Metastasis In Ovarian Cancer Mouse Model 査読有り

    Kae Nakamura, Hiroaki Kajiyama, Yang Peng, Fumi Utsumi, Nobuhisa Yoshikawa, Hiromasa Tanaka, Masaaki Mizuno, Shinya Toyokuni, Masaru Hori, and Fumitaka Kikkawa

    Clinical Plasma Medicine   9 巻   頁: 47-48   2018年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.cpme.2017.12.073

  225. Plasma-Activated Medium Inhibites Metastatic Activities Of Ovarian Cancer Cells In Vitro Via Repressing Mapk Pathway 査読有り

    Yang Peng, Hiroaki Kajiyama, Kae Nakamura, Fumi Utsumi, Nobuhisa Yoshikawa, Hiromasa Tanaka, Masaaki Mizuno, Shinya Toyokuni, Masaru Hori, and Fumitaka Kikkawa

    Clinical Plasma Medicine   9 巻   頁: 41-42   2018年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.cpme.2017.12.065

  226. Similarities And Differences In The Cellular Resposnses Between Plasma-Activated Medium-Treated Glioblastomas And Plasma-Activated Ringer's Lactate Solution-Treated Glioblastomas 査読有り

    Hiromasa Tanaka, Masaaki Mizuno, Kenji Ishikawa, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Makoto Sekine, Hiroshi Hashizume, Kae Nakamura, Hiroaki Kajiyama, Yasumasa Okazaki, Shinya Toyokuni, Shinichi Akiyama, Shoichi Maruyama, Fumitaka Kikkawa, and Masaru Hori

    Clinical Plasma Medicine   9 巻   頁: 42-43   2018年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.cpme.2017.12.066

  227. Current status and future prospects of agricultural applications using atmospheric-pressure plasma technologies

    Ito Masafumi, Oh Jun-Seok, Ohta Takayuki, Shiratani Masaharu, Hori Masaru

    PLASMA PROCESSES AND POLYMERS   15 巻 ( 2 )   2018年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1002/ppap.201700073

    Web of Science

  228. Facile fabrication of a poly(ethylene terephthalate) membrane filter with precise arrangement of through-holes 査読有り

    Kihara Naoto, Odaka Hidefumi, Kuboyama Daiki, Onoshima Daisuke, Ishikawa Kenji, Baba Yoshinobu, Hori Masaru

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   57 巻 ( 3 )   2018年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.57.037001

    Web of Science

  229. Effect of Plasma-Activated Lactated Ringer's Solution on Pancreatic Cancer Cells In Vitro and In Vivo 査読有り

    Sato Yusuke, Yamada Suguru, Takeda Shigeomi, Hattori Norifumi, Nakamura Kae, Tanaka Hiromasa, Mizuno Masaaki, Hori Masaru, Kodera Yasuhiro

    ANNALS OF SURGICAL ONCOLOGY   25 巻 ( 1 ) 頁: 299-307   2018年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1245/s10434-017-6239-y

    Web of Science

  230. Nanographene synthesis employing in-liquid plasmas with alcohols or hydrocarbons 査読有り

    Atsushi Ando, Kenji Ishikawa, Hiroki Kondo, Takayoshi Tsutsumi, Keigo Takeda, Takayuki Ohta, Masafumi Ito, Mineo Hiramatsu, Makoto Sekine and Masaru Hori

    The Japan Society of Applied Physics   57 巻 ( 2 )   2018年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.7567/JJAP.57.026201

  231. Nanographene synthesis employing in-liquid plasmas with alcohols or hydrocarbons 査読有り

    Ando Atsushi, Ishikawa Kenji, Kondo Hiroki, Tsutsumi Takayoshi, Takeda Keigo, Ohta Takayuki, Ito Masafumi, Hiramatsu Mineo, Sekine Makoto, Hori Masaru

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   57 巻 ( 2 )   2018年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.57.026201

    Web of Science

  232. Electron impact ionization of perfluoro-methyl-vinyl-ether C3F6O

    Kondo Yusuke, Ishikawa Kenji, Hayashi Toshio, Sekine Makoto, Hori Masaru

    PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY   27 巻 ( 1 )   2018年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/1361-6595/aaa22e

    Web of Science

  233. Rapid growth of micron-sized graphene flakes using in-liquid plasma employing iron phthalocyanine-added ethanol 査読有り

    Tomoki Amano, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Takayoshi Tsutsumi, Keigo Takeda, Mineo Hiramatsu, Makoto Sekine and Masaru Hori

    The Japan Society of Applied Physics   11 巻 ( 1 )   2017年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/APEX.11.015102

  234. Plasma-activated medium (PAM) kills human cancer-initiating cells 査読有り

    Ikeda Jun-ichiro, Tanaka Hiromasa, Ishikawa Kenji, Sakakita Hajime, Ikehara Yuzuru, Hori Masaru

    PATHOLOGY INTERNATIONAL   68 巻 ( 1 ) 頁: 23-30   2017年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1111/pin.12617

    Web of Science

  235. Dynamic analysis of reactive oxygen nitrogen species in plasma-activated culture medium by UV absorption spectroscopy 査読有り

    Timothy Ryan Brubaker, Kenji Ishikawa, Keigo Takeda, Jun-Seok Oh, Hiroki KONDO, Hiroshi Hashizume, Hiromasa Tanaka, Sean David Knecht, Sven Bilén, and Masaru Hori

    Journal of Applied Physics   122 巻 ( 21 )   2017年12月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.4999256

  236. Oxygen-radical pretreatment promotes cellulose degradation by cellulolytic enzymes 査読有り

    Kiyota Sakai, Saki Kojiya, Junya Kamijo, Yuta Tanaka, Kenta Tanaka, Masahiro Maebayashi, Jun-Seok Oh, Masafumi Ito, Masaru Hori, Motoyuki Shimizu, and Masashi Kato

    Biotechnology for Biofuels   10 巻   2017年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1186/s13068-017-0979-6

  237. Abstract 18: Therapeutic potential of cold physical plasma in palliative cancer care: Introduction and perspectives 査読有り

    Christian Seebauer, Thomas von Woedtke, Klaus-Dieter Weltmann, Vandana Miller, Masaru Hori and Hans-Robert Metelmann

    CLINICAL CANCER RESEARCH 23(23 supplement) pp. 18 (December, 2017)     2017年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1158/1557-3265.AACRAHNS17-18

  238. Intracellular responses to reactive oxygen and nitrogen species, and lipid peroxidation: Induction of apoptotic death in HeLa cells following cultivation in non-equilibrium (cold) atmospheric pressure plasma-activated medium 査読有り

    Ryo Furuta, Naoyuki Kurake, Kenji Ishikawa, Keigo Takeda, Hiromasa Tanaka, Hiroshi Hashizume, Hiroki Kondo, Makoto Sekine and Masaru Hori

    Plasma Process and Polymers   14 巻 ( 11 )   2017年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1002/ppap.201700123

  239. Dependence of absolute photon flux on infrared absorbance alteration and surface roughness on photoresist polymers irradiated with vacuum ultraviolet photons emitted from HBr plasma 査読有り

    Yan Zhang, Takuya Takeuchi, Kenji Ishikawa, Toshio Hayashi, Keigo Takeda, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    Japanese Journal of Applied Physics   56 巻 ( 12 )   2017年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.56.126503

  240. Selective production of reactive oxygen and nitrogen species in the plasma-treated water by using a nonthermal high-frequency plasma jet 査読有り

    Uchida Giichiro, Takenaka Kosuke, Takeda Keigo, Ishikawa Kenji, Hori Masaru, Setsuhara Yuichi

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   57 巻 ( 1 )   2017年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.57.0102B4

    Web of Science

  241. Crystallization of calcium oxalate dihydrate in a buffered calcium-containing glucose 査読有り

    Naoyuki Kurake, Hiromasa Tanaka, Kenji Ishikawa, Kae Nakamura, Hiroaki Kajiyama,

    Journal of Applied Physics   122 巻 ( 14 )   2017年10月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.5006598

  242. 大気圧プラズマ処理における殺菌・医療・バイオ分野への応用

    橋爪博司、田中宏昌、堀勝、伊藤昌文

    工業材料   Vol.65. 巻 ( No.10 ) 頁: 27-30   2017年10月

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

  243. Clinical Experience with Cold Plasma in the Treatment of Locally Advanced Head and Neck Cancer 査読有り

    Hans-Robert Metelmann, Christian Seebauer,Vandana Miller, Alexander Fridman, Georg Bauer, David B.Graves, Jean-Michel Pouvesle Rico Rutkowski, Matthias Schuster Sander Bekeschus, Kristian Wende, Kai Masur, Sybille Hasse, Torsten Gerling, Masaru Hori, Hiromasa Tanaka, Eun Ha Choi, Klaus-Dieter Weltmann, and Thomas von Woedtke

    Clinical Plasma Medicine,     2017年9月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.cpme.2017.09.001

  244. Thermal Cyclic Atomic-Level Etching of Nitride Films: A Novel Way for Atomic-Scale Nanofabrication 査読有り

    Kazunori Shinodaa, Nobuya Miyoshia, Hiroyuki Kobayashia, Masaru Kuriharaa, Masaru Izawa, Kenji Ishikawa, and Masaru Hori

    ECS Transactions     2017年9月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1149/08003.0003ecst

  245. Cold atmospheric helium plasma causes synergistic enhancement in cell death with hyperthermia and an additive enhancement with radiation 査読有り

    Moniruzzaman Rohan, Qing-Li Zhao, Paras Jawaid, Keigo Takeda, Kenji Ishikawa, Masaru Hori, Kei Tomihara, Noguchi Kyo, Takashi Kondo, and Makoto Noguchi

    Scientific Reports   7 巻   2017年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1038/s41598-017-11877-8

  246. Surface roughening of photoresist after change of the photon/radical and ion treatment sequence 査読有り

    Yan Zhanga, Takuya Takeuchi, Kenji Ishikawa, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films J.   135 巻 ( 6 )   2017年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1116/1.4994218

  247. High-durability catalytic electrode composed of Pt nanoparticle-supported carbon nanowalls synthesized by radical-injection plasma-enhanced chemical vapor deposition 査読有り

    Shun Imai, Hiroki Kondo, Hyungjun Cho, Hiroyuki Kano, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, Mineo Hiramatsu, Masafumi Ito, Masaru Hori

    Journal of Physics D: Applied Physics,   Vol 50 巻 ( 40 )   2017年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/1361-6463/aa8131

  248. Thermally enhanced formation of photon-induced damage on GaN films in Cl2 plasma 査読有り

    Zecheng Liu*, Atsuki Asano, Masato Imamura, Kenji Ishikawa, Keigo Takeda, Hiroki Kondo,

    Japanese Journal of Applied Physics   56 巻   2017年8月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.56.096501

  249. Palliative Plasmabehandlung von Kopf-Hals-Tumoren und kurative Konzepte

    Christian Seebauer, Hiromasa Tanaka, Masaru Hori, Hans Robert Metelmann

    Plasmamedizin (in German)     頁: 99-109   2017年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1007/978-3-662-52645-3_8

  250. The 2017 Plasma Roadmap: Low temperature plasma science and technology

    Adamovich I., Baalrud S. D., Bogaerts A., Bruggeman P. J., Cappelli M., Colombo V., Czarnetzki U., Ebert U., Eden J. G., Favia P., Graves D. B., Hamaguchi S., Hieftje G., Hori M., Kaganovich I. D., Kortshagen U., Kushner M. J., Mason N. J., Mazouffre S., Thagard S. Mededovic, Metelmann H-R, Mizuno A., Moreau E., Murphy A. B., Niemira B. A., Oehrlein G. S., Petrovic Z. Lj, Pitchford L. C., Pu Y-K, Rauf S., Sakai O., Samukawa S., Starikovskaia S., Tennyson J., Terashima K., Turner M. M., van de Sanden M. C. M., Vardelle A.

    JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS   50 巻 ( 32 )   2017年8月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/1361-6463/aa76f5

    Web of Science

  251. Reduction of chlorine radical chemical etching of GaN under simultaneous plasma-emitted photon irradiation 査読有り

    Zecheng Liu, Masato Imamura, Atsuki Asano, Kenji Ishikawa, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Osamu Oda, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    Applied Physics Express   10 巻   2017年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/APEX.10.086502

  252. Lipid Droplets Exhaustion with Caspases Activation in HeLa Cells Cultured in Plasma-Activated Medium (PAM) Observed By Multiplex Coherent Anti-Stokes Raman Scattering (CARS) Microscopy 査読有り

    Ryo Furuta, Naoyuki Kurake, Keigo Takeda, Kenji Ishikawa, Takayuki Ohta, Masafumi Ito, Hiroshi Hashizume, Hiromasa Tanaka, Hiroki Kondo, Makoto Sekine and Masaru Hori

    Biointerphases   12 巻 ( 3 )   2017年8月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1116/1.4997170

  253. Measurement of F-, O- and CF3- densities in 60 and 100 MHz asymmetric capacitively coupled plasma discharge produced in an Ar/O2/C4F8 gas mixture 査読有り

    N Sirse, T Tsutsumi, M Sekine, M Hori and A R Ellingboe

    Journal of Physics D: Applied Physics   50 巻 ( 33 )   2017年7月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/1361-6463/aa77c4

  254. Novel Intraperitoneal Treatment With Non-Thermal Plasma-Activated Medium Inhibits Metastatic Potential of Ovarian Cancer Cells 査読有り

    Kae Nakamura, Yang Peng, Fumi Utsumi, Hiromasa Tanaka, Masaaki Mizuno, Shinya Toyokuni, Masaru Hori, Fumitaka Kikkawa & Hiroaki Kajiyama

    Scientific Reports   7 巻   2017年7月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1038/s41598-017-05620-6

  255. State of the art in medical applications using non-thermal atmospheric pressure plasma 査読有り

    Hiromasa Tanaka, Kenji Ishikawa, Masaaki Mizuno, Shinya Toyokuni, Hiroaki Kajiyama, Fumitaka Kikkawa, Hans-Robert Metelmann, Masaru Hori

    Plasma Physics, Association of Asia Pacific Physical Societies 2017   1 巻   2017年7月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1007/s41614-017-0004-3

  256. Non-thermal plasma induces a stress response in mesothelioma cells resulting in increased endocytosis, lysosome biogenesis and autophagy 査読有り

    Lei Shi, Fumiya Ito, Yue Wang, Yasumasa Okazaki, Hiromasa Tanaka, Masaaki Mizuno, Masaru Hori, Tasuku Hirayama, Hideko Nagasawa, Des R. Richardson, Shinya Toyokuni

    Free Rad. Biol. Med   108 巻   頁: 904-917   2017年7月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.freeradbiomed.2017.04.368

  257. Temperature dependence of protection layer formation on organic trench sidewall in H2/N2 plasma etching with control of substrate temperature 査読有り

    Yusuke Fukunaga, Takayoshi Tsutsumi, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    Japanese Journal of Applied Physics   56 巻 ( 21 )   2017年6月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.56.076202

  258. Intracellular-Molecular Changes in Plasma-irradiated Budding Yeast Cells Studied Using Multiplex Coherent Anti-Stokes Raman Scattering Microscopy 査読有り

    Ryo Furuta, Naoyuki Kurake, Kenji Ishikawa, Keigo Takeda, Hiroshi Hashizume, Hiroki Kondo, Takayuki Ohta, Masafumi Ito, Makoto, Sekine, and Masaru Hori

    Physical Chemistry Chemical Physics   19 巻 ( 21 )   2017年6月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1039/C7CP00489C

  259. Hydrogen peroxide sensor based on carbon nanowalls grown by plasma-enhanced chemical vapor deposition 査読有り

    Masakazu Tomatsu, Mineo Hiramatsu, John S. Foord, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, Keigo Takeda and Masaru Hori

    Journal of Applied Physics   56 巻 ( 6S2 )   2017年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.56.06HF03

  260. Progress and prospects in nanoscale dry processes: How can we control atomic layer reactions? 査読有り

    K. Ishikawa, K. Karahashi, T. Ichiki, J. P. Chang, S. M. George, W. M. M. Kessels, H. J. Lee, S. Tinck, J. H. Um, K. Kinoshita

    Japanese Journal of Applied Physics   56 巻 ( 6S2 )   2017年6月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.56.06HA02

  261. Micro-Coordination of Pacemaker Potentials in the Intestine of the Mouse

    Morishita Hirotaka, Iwata Naoko, Takai Chiho, Mochizuki Naoto, Kaji Noriyuki, Hori Masatoshi, Kajioka Shunichi, Nakayama Shinsuke

    GASTROENTEROLOGY   152 巻 ( 8 ) 頁: 1831-+   2017年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1053/j.gastro.2017.04.016

    Web of Science

  262. Electron behaviors in afterglow of synchronized dc-imposed pulsed fluorocarbon-based plasmas 査読有り

    Toshinari Ueyama, Yusuke Fukunaga, Takayoshi Tsutsumi, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, Manabu Iwata, Yoshinobu Ohya, Hideo Sugai, and Masaru Hori

    Journal of Applied Physics   56 巻 ( 6S2 )   2017年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.56.06HC03

  263. Advanced Plasma Etching Processing: Atomic Layer Etching for Nanoscale Devices 査読有り

    Takayoshi Tsutsumi, M. Zaitsu, Akiko Kobayashi, N. Kobayashi, and Masaru Hori

    ECS Transactions   77 巻 ( 3 )   2017年5月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.1149/07703.0025ecst

  264. Growth of InN firms by radical-enhanced metal organic chemical vapor deposition at a low temperature of 200 °C 査読有り

    S. Takai, Y. Lu, O. Oda, K. Takeda, H. Kondo, K. Ishikawa, M. Sekine and M. Hori

    Journal of Applied Physics   56 巻 ( 6S2 )   2017年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.56.06HE08

  265. 電子スピン共鳴法を活用したプラズマバイオ反応プロセスの診断

    石川健治 近藤隆 竹田圭吾 呉準席 橋爪博司 田中宏昌 近藤博基 太田貴之 伊藤昌文 関根誠 堀勝

    プラズマ・核融合学会誌   93 巻 ( 5 ) 頁: 246-252   2017年5月

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    記述言語:日本語  

  266. Selective atomic-level etching using two heating procedures, infrared irradiation and ion bombardment, for next-generation semiconductor device manufacturing

    Shinoda K., Miyoshi N., Kobayashi H., Miura M., Kurihara M., Maeda K., Negishi N., Sonoda Y., Tanaka M., Yasui N., Izawa M., Ishii Y., Okuma K., Saldana T., Manos J., Ishikawa K., Hori M.

    JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS   50 巻 ( 19 )   2017年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/1361-6463/aa6874

    Web of Science

  267. Intraperitoneal Administration of Plasma-Activated Medium: Proposal of a Novel Treatment Option for Peritoneal Metastasis From Gastric Cancer 査読有り

    Shigeomi Takeda, Suguru Yamada, Norifumi Hattori, Kae Nakamura, Hiromasa Tanaka, Hiroaki Kajiyama, Mitsuro Kanda, Daisuke Kobayashi, Chie Tanaka, Tsutomu Fujii, Michitaka Fujiwara, Masaaki Mizuno, Masaru Hori, Yasuhiro Kodera

    Annals of Surgical Oncology   24 巻 ( 5 )   2017年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1245/s10434-016-5759-1

  268. Effect of plasma-activated medium on the decrease of tumorigenic population in lymphoma 査読有り

    N. Wada, J. Ikeda, H. Tanaka, H. Sakakita, M. Hori, Y. Ikehara, E. Morii

    Pathology - Researchand Practice   213 巻   2017年4月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.prp.2017.04.003

  269. Bactericidal pathway of Escherichia coli in buffered saline treated with oxygen radicals 査読有り

    Tsuyoshi Kobayashi, Natsumi Iwata, Jun-Seok Oh, Hiroshi Hashizume, Takayuki Ohta, Keigo Takeda, Kenji Ishikawa, 20Masaru Hori, and Masafumi Ito

    J. Phys. D: Appl. Phys   50 巻 ( 15 )   2017年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/1361-6463/aa61d7/

  270. Absolute density of precursor SiH3 radicals and H atoms in H2-diluted SiH4 gas plasma for deposition of microcrystalline silicon films 査読有り

    Yusuke Abe , Kenji Ishikawa , Keigo Takeda , Takayoshi Tsutsumi , Atsushi Fukushima , Hiroki KONDO , Makoto Sekine , Masaru Hori

    Journal of Physics D: Applied Physics   50 巻 ( 19 )   2017年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: DOI: 10.1088/1361-6463/aa6874

  271. Spatial distributions of O, N, NO, OH and vacuum ultraviolet light along gas flow direction in an AC-excited atmospheric pressure Ar plasma jet generated in open air 査読有り

    Keigo Takeda, Kenji Ishikawa, Hiromasa Tanaka, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    Journal of Physics D: Applied Physics   50 巻 ( 19 )   2017年4月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/1361-6463/aa6555

  272. Investigation of the radially resolved oxygen dissociation degree and local mean electron energy in oxygen plasmas in contact with different surface materials 査読有り

    T. Tsutsumi, A. Greb, A. R. Gibson, M. Hori, D. OConnell, T. Gans

    Journal of Physics D: Applied Physics   50 巻 ( 19 )   2017年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.1063/1.4979855

  273. Bactericidal pathway of Escherichia coli in buffered saline treated with oxygen radicals 査読有り

    Tsuyoshi Kobayashi, Natsumi Iwata, Jun-Seok Oh, Hiroshi Hahizume, Takayuki Ohta, Keigo Takeda, Kenji Ishikawa, Masaru Hori and Masafumi Ito

    Journal of Physics D: Applied Physics   50 巻 ( 15 )   2017年3月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: DOI: 10.1088/1361-6463/aa61d7

  274. Spatial profiles of interelectrode electron density in direct current superposed dual-frequency capacitively coupled plasmas 査読有り

    Yoshinobu Ohya, Kenji Ishikawa, Tatsuya Komuro, Tsuyoshi Yamaguchi, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Makoto Sekine and Masaru Hori

    Journal of Physics D: Applied Physics   50 巻 ( 15 )   2017年3月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: DOI: 10.1088/1361-6463/aa60f7

  275. Spatial profiles of interelectrode electron density in direct current superposed dual-frequency capacitively coupled plasmas 査読有り

    Ohya Yoshinobu, Ishikawa Kenji, Komuro Tatsuya, Yamaguchi Tsuyoshi, Takeda Keigo, Kondo Hiroki, Sekine Makoto, Hori Masaru

    JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS   50 巻 ( 15 )   2017年3月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/1361-6463/aa60f7

    Web of Science

  276. Effects of center dot OH and center dot NO radicals in the aqueous phase on H2O2 and NO2- generated in plasma-activated medium

    Kurake Naoyuki, Tanaka Hiromasa, Ishikawa Kenji, Takeda Keigo, Hashizume Hiroshi, Nakamura Kae, Kajiyama Hiroaki, Kondo Takashi, Kikkawa Fumitaka, Mizuno Masaaki, Hori Masaru

    JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS   50 巻 ( 15 )   2017年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/1361-6463/aa5f1d

    Web of Science

  277. Effects of OH and NO radicals in the aqueous phase on H2O2 and NO2-generated in plasma-activated medium 査読有り

    Naoyuki Kurake, Hiromasa Tanaka, Kenji Ishikawa, Keigo Takeda, Hiroshi Hashizume, Kae Nakamura, Hiroaki Kajiyama, Takashi Kondo, Fumitaka Kikkawa, Masaaki Mizuno and Masaru Hori

    Journal of Physics D: Applied Physics   50 巻 ( 15 )   2017年3月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: DOI: 10.1088/1361-6463/aa5f1

  278. Postpartum atypical hemolytic uremic syndrome with complement factor H mutation complicated by reversible cerebrovascular constriction syndrome successfully treated with eculizumab 査読有り

    Yamaguchi Makoto, Hori Mayuko, Hiroshi Nagaya, Maruyama Shoichi

    THROMBOSIS RESEARCH   151 巻   頁: 79-81   2017年3月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.thromres.2017.01.013

    Web of Science

  279. Behavior of absolute densities of atomic oxygen in the gas phase near an object surface in an AC-excited atmospheric pressure He plasma jet 査読有り

    Keigo Takeda, Takumi Kumakura, Kenji Ishikawa, Hiromasa Tanaka, Makoto Sekine and Masaru Hori

    Applied Physics Express   10 巻 ( 3 )   2017年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: DOI: 10.7567/APEX.10.036201

  280. Characteristics of optical emissions of arc plasma processing for high-rate synthesis of highly crystalline single-walled carbon nanotubes 査読有り

    A. Ando, K. Takeda, T. Ohta, M. Ito, M. Hiramatsu, K. Ishikawa, H. Kondo, M. Sekine, T. Suzuki, S. Inoue, Y. Ando, M. Hori

    Japanese Journal of Applied Physics   56 巻 ( 3 )   2017年2月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.56.035101

  281. Investigation of effects of ion energies on both plasma-induced damage and surface morphologies and optimization of high-temperature Cl2 plasma etching of GaN 査読有り

    Zecheng Liu, Jialin Pan, Atsuki Asano, Kenji Ishikawa, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Osamu Oda, Makoto Sekine and Masaru Hori

    "Japanese Journal of Applied   56 巻   2017年1月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: DOI:10.7567/JJAP.56.026502

  282. Absolute density of precursor SiH3 radicals and H atoms in H2-diluted SiH4 gas plasma for deposition of microcrystalline silicon films

    Yusuke Abe , Kenji Ishikawa , Keigo Takeda , Takayoshi Tsutsumi , Atsushi Fukushima , Hiroki KONDO , Makoto Sekine , Masaru Hori

    Applied Physics Letters (2017)     2017年1月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.4974821

  283. Densities and Surface Reaction Probabilities of Oxygen and Nitrogen Atoms During Sputter Deposition of ZnInON on ZnO 査読有り

    Matsushima Koichi, Ide Tomoaki, Takeda Keigo, Hori Masaru, Yamashita Daisuke, Seo Hyunwoong, Koga Kazunori, Shiratani Masaharu, Itagaki Naho

    IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE   45 巻 ( 2 ) 頁: 323-327   2017年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/TPS.2016.2632124

    Web of Science

  284. Intraperitoneal Administration of Plasma-Activated Medium: Proposal of a Novel Treatment Option for Peritoneal Metastasis From Gastric Cancer 査読有り

    Shigeomi Takeda, Suguru Yamada, Norifumi Hattori, Kae Nakamura, Hiromasa Tanaka, Hiroaki Kajiyama, Mitsuro Kanda, Daisuke Kobayashi, Chie Tanaka, Tsutomu Fujii, Michitaka Fujiwara, Masaaki Mizuno, Masaru Hori, Yasuhiro Kodera

    Annals of Surgical Oncology   24 巻 ( 5 ) 頁: 1-7   2017年1月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: DOI: 10.1245/s10434-016-5759-1

  285. Annual shell growth pattern of the Stimpson's hard clam Mercenaria stimpsoni as revealed by sclerochronological and oxygen stable isotope measurements

    Kubota Kaoru, Shirai Kotaro, Murakami-Sugihara Naoko, Seike Koji, Hori Masako, Tanabe Kazushige

    PALAEOGEOGRAPHY PALAEOCLIMATOLOGY PALAEOECOLOGY   465 巻   頁: 307-315   2017年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.palaeo.2016.05.016

    Web of Science

  286. Medical applications of non-thermal atmospheric pressure plasma

    Tanaka Hiromasa, Hori Masaru

    JOURNAL OF CLINICAL BIOCHEMISTRY AND NUTRITION   60 巻 ( 1 ) 頁: 29-32   2017年1月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.3164/jcbn.16-67

    Web of Science

  287. Thermal Cyclic Atomic-Level Etching of Nitride Films: A Novel Way for Atomic-Scale Nanofabrication

    Shinoda K., Miyoshi N., Kobayashi H., Kurihara M., Izawa M., Ishikawa K., Hori M.

    ATOMIC LAYER DEPOSITION APPLICATIONS 13   80 巻 ( 3 ) 頁: 3-14   2017年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1149/08003.0003ecst

    Web of Science

  288. Plasma-inspired biomaterials 査読有り

    Cvelbar Uros, Canal Cristina, Hori Masaru

    JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS   50 巻 ( 4 )   2016年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/1361-6463/50/4/040201

    Web of Science

  289. Medical applications of non-thermal atmospheric pressure plasma

    Hiromasa Tanaka, Masaru Hori

    J. Clin. Biochem. Nutr.   60 巻 ( 1 ) 頁: 29-32   2016年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  290. Future perspective of strategic non-thermal plasma therapy for cancer treatment

    Hiroaki Kajiyama, fumi Utsumi, Kae Nakamura, Hiromasa Tanaka, Shinya Toyokuni, Masaru Hori, Fumitaka Kikkawa

    J. Clin. Biochem. Nutr.   60 巻 ( 1 ) 頁: 33-38   2016年12月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  291. Atomic layer etching of SiO2 by alternating an O2 plasma with fluorocarbon film deposition

    Takayoshi Tsutsumi, Hiroki Kondo, Masaru Hori, Masaru Zaitsu, Akiko Kobayashi, Toshihisa Nozawa, Nobuyoshi Kobayashi

    Journal of Vacuum Science & Technology   35 巻   2016年11月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1116/1.4971171

  292. Non-Thermal atmospheric pressure plasma activated lactate in Ringer's solution for anti-tumor effects

    H.Tanaka, K.Nakamura, M.Mizuno, K.Ishikawa, K.Takeda, h.Kajiyama, F.Utsumi, F.Kikkawa, M.Hori

    Scientific Report   35 巻   2016年11月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.1038/srep36282

  293. Effects of assisted magnetic field to an atomospheric-pressure plasma jet on radical generation at the plasma-surface interface and bactericidal function 査読有り

    Chih-Tung Liu, Takumi Kumakura, Kenji Ishikawa, Hiroshi Hashizume, Keigo Takeda, Masafumi Ito, Masaru Hori, Jong-Shinn Wu

    Plasam Source Science and Technology   25 巻 ( 6 )   2016年10月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/0963-0252/25/6/065005

  294. Cell survival of glioblastoma grown in medium containing hydrogen peroxide and/or nitrite, or in plasma-activated medium

    Naoyuki Kurake,Hiromasa Tanaka, Kenji Ishikawa, Takashi Kondo, Makoto Sekine, Kae Nakamura, Hiroaki Kajiyama, Fumitaka Kikkawa, Masaaki Mizuno, Masaru Hori

    Archives of Biochemistry and Biophysics   605 巻   頁: 102-108   2016年9月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: DOI :10.1016/j.abb.2016.01.011

  295. Low temperature plasma processing for cell growth inspired carbon thin films fabrication 査読有り

    M. Kumar, J. X. Piao, S. B. Jin, J. H. Lee, S. Tajima, M. Hori, and J. G. Han

    Archives of Biochemistry and Biophysics   605 巻   頁: 41–48   2016年9月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: DOI: 10.1016/j.abb.2016.03.026

  296. Low-temperature plasma in biology and medicine

    Masaru Hori, Eun Ha Choi, Shinya Toyokuni

    Archives of Biochemistry and Biophysics   605 巻   頁: 1-2   2016年9月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  297. Red Blood Cell Coagulation Induced by Low-temperature Plasma Treatment

    K. Miyamoto, S. Ikehara, H. Takei, Y. Akimoto, H. Sakakita, K. Ishikawa, M. Ueda, J. Ikeda, M. Yamagishi, J. Kim, T. Yamaguchi, H. Nakanishi, T. Shimizu, N. Shimizu, M. Hori, and Y. Ikehara

    Arch. Biochem. Biophys   605 巻   頁: 95–101   2016年9月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.abb.2016.03.023

  298. Galectin expression in healing wounded skin treated with low-temperature plasma: Comparison with treatment by electronical coagulation

    Y. Akimoto, S. Ikehara, T. Yamaguchi, J. Kim, H. Kawakami, N. Shimizu, M. Hori, H. Sakakita, and Y. Ikehara

    Arch. Biochem. Biophys.   605 巻   頁: 1-9   2016年9月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.abb.2016.01.012

  299. Feedback Control System of Wafer Temperature for Advanced Plasma Processing and its Application to Organic Film Etching

    T. Tsutsumi, Y. Fukunaga, K. Ishikawa, K. Takeda, H. Kondo, T. Ohta, M. Ito, M. Sekine, M. Hori

    IEEE Trans. Semicond. Manuf. 28 (4)     頁: pp. 515-520   2016年8月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/TSM.2015.2470554

  300. Synthesis of calcium oxalate crystals in culture medium irradiated with non-equilibrium atmospheric-pressure plasma 査読有り

    Naoyuki Kurake, Hiromasa Tanaka, Kenji Ishikawa, Kae Nakamura, Hiroaki Kajiyama, Fumitaka Kikkawa, Masaaki Mizuno, Yoko Yamanishi and Masaru Hori

    Applied Physics Express   9 巻 ( 9 )   2016年8月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: DOI: 10.7567/APEX.9.096201

  301. Rapid electron density decay observed by surface-wave probe in afterglow of pulsed fluorocarbon-based plasma

    Y. Ohya, M. Iwata, K. Ishikawa, M.Sekine, M.Hori and H.Sugai

    Japanese Journal of Applied Physics   55 巻 ( 8 ) 頁: 10.7567/JJAP.55.080309   2016年7月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  302. Non-thermal plasma prevents progression of endometriosis in mice

    Chiharu Ishida, Masahiko Mori, Kae Nakamura, Hiromasa Tanaka, Masaaki Mizuno, Masaru Hori, Akira Iwase, Fumitaka Kikkawa and Shinya Toyokuni

        頁: 111   2016年7月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  303. Possible therapeutic option of aqueous plasma for refractory ovarian cancer

    H. Kajiyama, F. Utsumi, K. Nakamura, H. Tanaka, M. Mizuno, S. Toyokuni, M. Hori, and F. Kikkawa

    Clinical Plasma Medicine   4 巻 ( 1 ) 頁: 14-18   2016年7月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.cpme.2015.12.002

  304. Plasma-Activated Medium Selectively Eliminates Undifferentiated Human Induced Pluripotent Stem Cells

    R. Matsumoto, K. Shimizu, T. Nagashima, H. Tanaka, M. Mizuno, F. Kikkawa, M. Hori, and H. Honda

    Regenerative Therapy   5 巻   頁: 55-63   2016年7月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.reth.2016.07.001

  305. Microfluidic Transport Through Microsized Holes Treated by Nonequilibrium Atmospheric-Pressure Plasma

    Takumi Ito, Kenji Ishikawa,Daisuke Onoshima, Naoto Kihara,Kentaro Tatsukoshi Hidefumi Odaka, Hiroshi Hashizume,Hiromasa Tanaka,Hiroshi Yukawa, Keigo Takeda Hiroki Kondo, Makoto Sekine, Yoshinobu Baba, Masaru Hori

    IEEE Transactions on Plasma Science     2016年6月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/TPS.2016.2571721

  306. Computational study on SiH4 dissociation channels and H abstraction reactions 査読有り

    Toshio Hayashi, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine and Masaru Hori

    Japanese Journal of Applied Physics   55 巻 ( 7S2 )   2016年6月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: DOI: 10.7567/JJAP.55.07LD07

  307. Helium-based cold atmospheric plasma-induced reactive oxygen species-mediated apoptotic pathway attenuated by platinum nanoparticles 査読有り

    Jawaid P, Rehman MU, Zhao QL, Takeda K, Ishikawa K, Hori M, Shimizu T, Kondo T.

    J Cell Mol Med     2016年6月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1111/jcmm.12880

  308. Role of surface-electrical properties on the cell-viability of carbon thin films grown in nanodomain morphology

    Amjed Javid,, Manish Kumar, Seokyoung Yoon, Jung Heon Lee,Satomi Tajima, Masaru Hori and Jeon Geon Han

    J. Phys. D: Appl. Phys.   49 巻 ( 26 )   2016年5月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/0022-3727/49/26/264001

  309. Biphasic effects of l-ascorbate on the tumoricidal activity of non-thermal plasma against malignant mesothelioma cells

    L. Shi, Y.Wang, F.Ito, Y.Okazaki, H.Tanaka, M.Mizuno, M.Hori, D.R.Richardson, S.Toyokuni

    Archives of Biochemistry and Biophysics   605 巻   頁: 109-116   2016年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  310. Nanopore formation process in artificial cell membrane induced by plasma-generated reactive oxygen species

    R.Tero, R.Yamashita, H.Hashizume, Y.Suda, H.Takikawa, M.Hori, M.Ito

    Archives of Biochemistry and Biophysics   605 巻   頁: 26-33   2016年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: DOI:10.1016/j.abb.2016.05.014

  311. Formation of a SiOF reaction intermixing layer on SiO2 etching using C4F6/O2/Ar plasmas 査読有り

    Y. Ohya, M. Tomura, K. Ishikawa, M. Sekine, and M. Hori

    Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films   34 巻 ( 4 )   2016年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: DOI: 10.1116/1.4949570

  312. The role of plasma chemistry on functional silicon nitride film properties deposited at low-temperature by mixing two frequency powers using PECVD

    B. B. Sahu,Y. Y. Yin,T. Tsutsumi, M. Hori, Jeon G. Han

    Phys. Chem. Chem. Phys     2016年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1039/C6CP00986G

  313. Effects of nitrogen on the apoptosis of and changes in gene expression in human lymphoma U937 cells exposed to argon-based cold atmospheric pressure plasma

    Yoshikawa Tabuchi, Hidefumi Uchiyama, Quing-Li XZhao, Tatsuya Yunoki, Gabor Andocs, Nobuyuki Nojima, Kengo Takeda, Kenji Ishikawa, Masaru Hori, Takashi Kondo

    International Journal of Molecular Medicine   37 巻 ( 6 ) 頁: 1706-1714   2016年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: DOI:10.3892/ijmm.2016.2574

  314. Variable susceptibility of ovarian cancer cells to non-thermal plasma-activated medium 査読有り

    F. Utsumi, H. Kajiyama, K. Nakamura, H. Tanaka, M. Mizuno, S. Toyokuni, M. Hori, and F. Kikkawa

    Oncology Report   35 巻 ( 6 ) 頁: 3169–3177   2016年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: DOI: 10.3892/or.2016.4726

  315. Low temperature plasma processing for cell growth inspired carbon thin films fabrication

    M.Kumar, J.X.Piao, S.B.Jin, J.H.Lee, S.Tajima, M.Hori, J.G.Han

    Archives of Biochemistry and Biophysics   605 巻   頁: 41-48   2016年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  316. Red blood cell coagulation induced by low-temperature plasma treatment

    K,Miyamoto, S.Ikehara, H.Takei, Y.Akimoto, H.Sakakita, K. Ishikawa, M.Ueda, J.Ikeda, M.Yamagishi, J.Kim, T. Yamaguchi, H. Nakanishi, T.Shimizu, N.Shimizu, M.Hori, Y.Ikehara

    Archives of Biochemistry and Biophysics   605 巻   頁: 95-101   2016年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  317. Galectin expression in healing wounded skin treated with low-temperature plasma: Comparison with treatment by electronical coagulation

    Y.Akimoto, S.Ikehara, T.Yamaguchi, J.Kim, H. Kawakami, N.Shimizu, M.Hori, H. Sakakita, Y.Ikehara

    Archives of Biochemistry and Biophysics   305 巻   頁: 86-94   2016年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  318. Synthesis of calcium oxalate crystals in culture medium irradiated with non-equilibrium atmospheric-pressure plasma

    M. Hori, N.Kurake, Y.Yamanishi, M.Mizuno, K.Nakamura, K.Ishikawa, H.Tanaka

        頁: 111   2016年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  319. Plasma-Activated Medium Selectively Eliminates Undifferentiated Human Induced Pluripotent Stem Cells

    Ryo Matsumoto, Kazunori Shimizu, Takunori Nagashima, Hiromasa Tanaka, Masaaki Mizuno, Fumitaka Kikkawa, Masaru Hori, Hiroyuki Honda

    Regenerative Therapy     頁: 111   2016年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  320. Effects of assisted magnetic field to an atmospheric-pressure plasma jet on radical generation at the plasma-surface interface and bactericidal function

    Liu, Chih-Tung; Kumakura, Takumi; Ishikawa, Kenji; Hashizume, Hiroshi; Takeda, Keigo; Ito, Masafumi; Hori, Masaru; Wu, Jong-Shinn

    Plasma Sources Science and Technology     頁: 111   2016年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  321. Plasma with high electron density and plasma-activated medium for cancer treatment

    H. Tanaka, M. Mizuno, K. Ishikawa, H. Kondo, K. Takeda, H. Hashizume, K. Nakamura, F. Utsumi, H. Kajiyama, H. Kano, Y. Okazaki, S. Toyokuni, S. Akiyama, S. Maruyama, S. Yamada, Y. Kodera, H. Kaneko, H. Terasaki, H. Hara, T. Adachi, M. Iida, I. Yajima, M. Kato, F. Kikkawa, M. Hori

    Clinical Plasma Medicine 3     頁: pp. 72-76   2015年12月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.cpme.2015.09.001

  322. Histological and Nuclear Medical Comparison of Inflammation After Hemostasis with Non-Thermal Plasma and Thermal Coagulation

    Masashi Ueda, Daiki Yamagami, Keiko Watanabe, Asami Mori,Hiroyuki Kimura, Kohei Sano, Hideo Saji, Kenji Ishikawa, Masaru Hori,Hajime Sakakita, Yuzuru Ikehara, Shuichi Enomoto

    Plasma Process and Polymers     2015年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1002/ppap.201500099

  323. Plasma and Cancer

    Masashi Ueda, Daiki Yamagami, Keiko watanabe, Asami Mori, Hiroyuki Kimura, Masaru Hori, Mounir Laroussi, Kai Masur, Yuzuru Ikehara ,

    Plasma Processes and Polymers 12,No. 12     頁: p.p. 1329-1469   2015年12月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1002/ppap.201570043

  324. プラズマ医療の可能性と今後の展望

    田中宏昌、堀 勝

    ファルマシア/メカノバイオロジーと薬の融合   51 巻 ( 11 ) 頁: 1053   2015年11月

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    記述言語:日本語  

  325. Effects of deposition rate and ion bombardment on properties of a-C:H films deposited by H-assisted plasma CVD method 査読有り

    X. Dong, K. Koga, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, Y. Setsuhara, M. Sekine, M. Hori

    Jpn. J. Appl. Phys. 55 (1S)   55 巻 ( 1S ) 頁: 01AA11   2015年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.55.01AA11

  326. Real-time temperature-monitoring of Si substrate during plasma processing and its heat-flux analysis

    T. Tsutsumi, K. Ishikawa, K. Takeda, H. Kondo, T. Ohta, M. Ito, M. Sekine, M. Hori

    Jpn. J. Appl. Phys. 55 (1S)     頁: 01AB04:1-4   2015年11月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.55.01AB04

  327. Cancer therapy using non-thermal atmospheric pressure plasma with ultra-highelectron density

    H. Tanaka, M. Mizuno, S. Toyokuni, S. Maruyama, Y. Kodera, H. Terasaki, T. Adachi, M. Kato, F. Kikkawa, M. Hori

    Phys Plasmas     頁: 122004   2015年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.4933402

  328. Development of Microelectrode Arrays Using Electroless Plating for CMOS-Based Direct Counting of Bacterial and HeLa Cells

    Niitsu K, Ota S, Gamo K, Kondo H, Hori M, Nakazato K

    IEEE TRANSACTIONS ON BIOMEDICAL CIRCUITS AND SYSTEMS, VOL. 9, NO. 5     頁: p.p.607-619   2015年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1109/TBCAS.2015.2479656

  329. Raman Spectroscopy of a-C:H Films Deposited Using Ar + H2+ C7H8 Plasma CVD 査読有り

    X. Dong, K. Koga, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, Y. Setsuhara, M. Sekine, M. Hori

    Proc. 68th GEC/9th ICRP/33rd SPP   60 巻 ( 9 ) 頁: GT1.145   2015年10月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  330. Measurements of nitrogen atom density in N2/Ar sputtering plasma for fabrication of high-mobility amorphous In2O3:Sn films 査読有り

    T. Takasaki, T. Ide, K. Matsushima, K. Takeda, M. Hori, D. Yamashita, H. Seo, K. Koga, M, Shiratani, N. Itagaki

    Proc. 68th GEC/9th ICRP/33rd SPP   60 巻 ( 9 ) 頁: GT1.150   2015年10月

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    記述言語:英語  

  331. Measurements of absolute densities of nitrogen and oxygen atoms in sputtering plasma for fabrication of ZnInON films 査読有り

    K. Matsushima, T. Ide, K. Takeda, M. Hori, D. Yamashita, H. Seo, K. Koga, M, Shiratani, N. Itagaki

    Proc. 68th GEC/9th ICRP/33rd SPP   60 巻 ( 9 ) 頁: GT1.154   2015年10月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  332. Measurement of absolute density of N atom in sputtering plasma for epitaxial growth ZnO films via nitrogen mediated crystallization 査読有り

    T. Ide, K. Matsushima, T. Takasaki, K. Takeda, M. Hori, D. Yamashita, H. Seo, K. Koga, M, Shiratani, N. Itagaki

    Proc. 68th GEC/9th ICRP/33rd SPP   60 巻 ( 9 ) 頁: GT1.155   2015年10月

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    記述言語:英語  

  333. Effectiveness of plasma treatment on pancreatic cancer cells

    N. Hattori, S. Yamada, K. Torii, S. Takeda, K. Nakamura, H. Tanaka, H. Kajiyama, M. Kanda, T. Fujii, G. Nakayama, H. Sugimoto, M. Koike, S. Nomoto, M. Fujiwara, M. Mizuno, M. Hori, Y. Kodera

    International journal of oncology, 47     頁: pp. 1655-1662   2015年9月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.3892/ijo.2015.3149

  334. Growth control of Saccharomyces cerevisiae through dose of oxygen atoms

    Hiroshi Hashizume, Takayuki Ohta, Masaru Hori, and Masafumi Ito

    APPLIED PHYSICS LETTERS     2015年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.4929952

  335. EPR-Spin Trapping and Flow Cytometric Studies of Free Radicals Generated Using Cold Atmospheric Argon Plasma and X-Ray Irradiation in Aqueous Solutions and Intracellular Milieu 査読有り

    Hidefumi Uchiyama, Qing-Li Zhao, Mariame Ai Hassan, Gabor Andocs, Nobuyuki Nojima, Keigo Takeda, Kenji ishikawa, Masaru Hori, Takashi Kondo

    PLOS one     2015年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    top 10% most cited PLOS One (2015)

    DOI: 10.1371/journal.pone.0136956

  336. Wavelength dependence for silicon-wafer temperature measurement by autocorrelationtype frequency-domain low-coherence interferometry

    T. Tsutsumi, T. Ohta, K. Takeda, M. Ito, M. Hori

    Appl. Opt. 54 (23)     頁: pp. 7088-7093   2015年8月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1364/AO.54.007088

  337. Effects of discharge voltage on the characteristics of a-C:H films prepared by H-assisted Plasma CVD method 査読有り

    X. Dong, K. Koga, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, Y. Setsuhara, M. Sekine, M. Hori

    Trans. Mater. Res. Soc. Jpn.   40 巻 ( 2 ) 頁: 123-128   2015年7月

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    記述言語:英語  

    DOI: 10.14723/tmrsj.40.123

  338. Utility of dual frequency hybrid source for plasma and radical generation

    Kyung Sik Shin, Bibhuti Bhusan Sahu, Jeon Geon Han, and Masaru Hori

    Japanese Journal of Applied Physics     2015年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.54.076201

  339. Emission spectroscopy of Ar + H-2+ C7H8 plasmas: C7H8 flow rate dependence and pressure dependence 査読有り

    X. Dong, K. Koga, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, Y. Setsuhara, M. Sekine and M. Hori

    J. Phys. : Conf. Series (SPSM26)   518 巻 ( 1 ) 頁: 012010   2015年6月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

    DOI: 10.1088/1742-6596/518/1/012010

  340. Suppression of plasma-induced damage on GaN etched by a Cl2 plasma at high temperatures

    Zecheng Liu, Jialin Pan, Takashi Kako, Kenji Ishikawa, Keigo Takeda, Hiroki Kondo,Osamu Oda, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    Jpn. J. Appl. Phys. 54 (6S2)     頁: 06GB04   2015年6月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.54.06GB04

  341. Effectiveness of hydrogen dilution for designing amorphous to crystalline Si thin film in inductively coupled plasma assisted magnetron sputtering

    Kyung Sik Shin, Bibhuti Bhusan Sahu, Jeon Geon Han, and Masaru Hori

    Japanese Journal of Applied Physics     2015年5月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.54.060303

  342. Electronic properties of HBr, O2 and Cl2 used in Si etching

    Toshio Hayashi, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    Japanese Journal of Applied Physics     2015年5月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.54.06GA03

  343. シリコン薄膜形成プロセスにおけるプラズマ中の水素原子の計測とその挙動

    堀勝、阿部祐介、竹田圭吾、石川健治、近藤博基、関根誠、韓銓健

    プラズマ・核融合学会誌   91 巻 ( 5 ) 頁: 317   2015年5月

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

  344. プラズマ活性溶液:作用機序解明と臨床応用・産業化を目指して

    田中宏昌 、水野正明、豊國伸哉、丸山彰一、小寺泰弘、吉川史隆、堀勝

    福岡医学雑誌   106 巻 ( 4 ) 頁: 71-76   2015年4月

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

  345. Silicon nitride (SiN) etch performance of CH2F2 plasmas diluted with argon or krypton

    Yusuke Kondo, Kenji Ishikawa, Toshio Hayashi, Yudai Miyawaki, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    Japan. J. Appl. Phys. 54 (4)     頁: 40303   2015年3月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.54.040303

  346. Plasma diagnostic approach for high rate nanocrystalline Si synthesis in RF/UHF hybrid plasmas using a PECVD process Plasma Sources

    Bibhuti Bhusan Sahu, Jeon G. Han, Kyung-Sik Shin, Kenji Ishikawa, Masaru Hori, and Yudai Miyawaki

    Plasma Sources Science and Technology 24 (2)     頁: 25019   2015年3月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/0963-0252/24/2/025019

  347. CF3+ fragmentation by electron impact ionization of perfluoro-propyl-vinyl-ethers, C5F10O, in gas phase

    Yusuke Kondo, Kenji Ishikawa, Toshio Hayashi, Yudai Miyawaki, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    Japan. J. Appl. Phys. 54 (4)     頁: 40301   2015年3月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.54.040301

  348. Deposition of Carbon Films on PMMA Using H-assisted Plasma CVD 査読有り

    X. Dong, R. Torigoe, K. Koga, G. Uchida, M. Shiratani, N. Itagaki, Y. Setsuhara, K. Takenaka, M. Sekine, .M. Hori

    Jpn. Phys. Soc. Conf. Proc (APPC12)   1 巻   頁: 015072   2015年3月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

    DOI: 10.7566/JPSCP.1.015072

  349. New line plasma source excited by 2.45 GHz microwave at atmospheric pressure

    Haruka Suzuki,Suguru Nakano,Hitoshi Itoh,Makoto Sekine,Masaru Hori,and Hirotaka Toyoda

    Applied Physics Express 8     2015年2月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/APX.8.036001

  350. Estimation of activation energies for decomposition reaction of polymer by hydrogen radicals generated using hot-wire catalyzer

    Akihiko Kono, Yu Arai, Yousuke Goto, Masashi Yamamoto, Seiji Takahashi, Tadaaki Yamagishi, Kenji Ishikawa, Masaru Hori, and Hideo Horibe

    Thin Solid Film 575     頁: pp. 17-20   2015年2月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.tsf.2014.10.020

  351. Study of the decomposition mechanism of PMMA-type polymers by hydrogen radicals

    Yu Arai, Yusuke Noto, Yousuke Goto, Seiji Takahashi, Masashi Yamamoto, Akihiko Kono, Tatsuo Ishijima, Kenji Ishikawa, Masaru Hori, and Hideo Horibe

    Thin Solid Film 575     頁: pp. 12-16   2015年2月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.1016/j.tsf.2014.10.021

  352. Experimental evidence of warm electron populations in magnetron sputtering plasmas

    B. B. Sahu, Jeon G. Han, Hye R. Kim, Kenji Ishikawa, and Masaru Hori

    J. Appl. Phys. 117     頁: 33301   2015年1月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.4905901

  353. Hydrofluorocarbon ion density of argon- or krypton-diluted CH2F2 plasmas: Generation of CH2F+ and CHF2+ by dissociative-ionization in charge exchange collisions

    Yusuke Kondo, Yudai Miyawaki, Kenji Ishikawa, Toshio Hayashi, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    J. Phys. D: Appl. Phys. 48 (4)     頁: 45202   2015年1月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/0022-3727/48/4/045202

  354. Plasma-activated medium suppresses choroidal neovascularization in mice: a new therapeutic concept for age-related macular degeneration

    F. Ye, H. Kaneko, Y. Nagasaka, R. Ijima, K. Nakamura, M. Nagaya, K. Takayama, H. Kajiyama, T. Senga, H. Tanaka, M. Mizuno, F. Kikkawa, M. Hori, and H. Terasaki

    Sci Rep, vol. 5     頁: 7705   2015年1月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1038/srep07705

  355. Langmuir probe and optical emission spectroscopy studies in magnetron sputtering plasmas for Al-doped ZnO film deposition

    B. B. Sahu, Jeon G. Han, Masaru Hori and Keigo Takeda

    J. Appl. Phys. 117     頁: 23301   2015年1月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.4905541

  356. Electrical,Optical and Structural Properties of AZO Thin Film Deposited Using Facing Targets Magnetron Sputtering System with Inductively Coupled Plasma

    Hye R.Kim,Jay B.Kim,Yoon S.Choi,M.Hori,and Jeon G.Han

    American Scientific Publishers 7     頁: p.p. 107-112   2015年1月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1166/sam.2015.2088

  357. Carbon nanowall scaffold to control culturing of cervical cancer cells 査読有り

    Hitoshi Watanabe, Hiroki Kondo, Yukihiro Okamoto, Mineo Hiramatsu, Makoto Sekine, Yoshinobu Baba, and Masaru Hori

    Applied Physics Letters   105 巻 ( 24 )   2014年12月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.4902054

  358. Plasma Medical Science for Cancer Therapy: Toward Cancer Therapy Using Nonthermal Atmospheric Pressure Plasma

    Hiromasa Tanaka, Masaaki Mizuno, Kenji Ishikawa, Keigo Takeda, Kae Nakamura, Fumi Utsumi,Hiromasa Tanaka, Masaaki Mizuno, Kenji Ishikawa, Keigo Takeda, Kae Nakamura, Fumi Utsumi, Shoichi Maruyama, Fumitaka Kikkawa, and Masaru Hori

    IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE   42 巻 ( 12 ) 頁: 3760-3764   2014年12月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  359. Plasma-activated medium induces A549 cell injury via a spiral apoptotic cascade involving the mitochondrial-nuclear network

    Tetsuo Adachi, Hiromasa Tanaka, Saho Nonomura, Hirokazu Hara, Shin-ichi Kondo, Masaru Hori

    Free Radical Biology and Medicine   79 巻   頁: p.p. 28-44   2014年11月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.freeradbiomed.2014.11.014

  360. Quantitative clarification of inactivation mechanism of Penicillium digitatum spores treated with neutral oxygen radicals

    Hiroshi Hashizume,Takayuki Ohta,Keigo Takeda,Kenji Ishikawa,Masaru Hori,and Masafumi Ito

    Japanese Journal of Applied Physics 54,01ag05(2015)     2014年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.54.01AG05

  361. Robust characteristics of semiconductor-substrate temperature measurement by autocorrelation-type frequency-domain low-coherence interferometry

    T. Tsutsumi, T. Ohta, K. Ishikawa, K. Takeda, H. Kondo, M. Sekine, M. Hori, and M. Ito

    Jpn. J. Appl. Phys.   54 巻 ( 1S )   2014年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.54.01AB03

  362. アルミニウム合金のプラズマ窒化処理と処理物 査読有り

    高島成剛、浅見悦男、早川雅浩、山川晃司、山本博之、田昭治、和田仁志、堀 勝

    アルトピア   44 巻 ( 10 ) 頁: 18-23   2014年10月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  363. Localized plasma irradiation through a micronozzle for individual cell treatment 査読有り

    Ryutaro Shimane, Shinya Kumagai, Hiroshi Hashizume, Takayuki Ohta, Masafumi Ito, Masaru Hori and Minoru Sasaki

    Japanese Journal of Applied Physics   53 巻 ( 11S )   2014年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.53.11RB03

  364. Effectiveness of plasma diagnostic in ultra high frequency and radio frequency hybrid plasmas for synthesis of silicon nitride film at low temperature

    B.B. Sahu, Kyung Sik Shin, Su B. Jin, Jeon G.Han, K.Ishikawa, M. Hori

    Journal of Applied Physics   116 巻   2014年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.4896833

  365. Recovery of atom density drift caused by change in reactor wall conditions by real-time autonomous control 査読有り

    Toshiya Suzuki, Kenji Ishikawa, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Makoto Sekine and Masaru Hori

    Journal of Physics D: Applied Physics   47 巻 ( 42 )   2014年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/0022-3727/47/42/422002

  366. Direct exposure of non-equilibrium atmospheric pressure plasma confers simultaneous oxidative and ultraviolet modifications in biomoleculels 査読有り

    Yasumasa Okazaki, Yue Wang, Hiromasa Tanaka, Masaaki Mizuno, Kae Nakamura, Hiroaki Kajiyama, Hiroyuki Kano, Koji Uchida, Fumitaka Kikkawa, Masaru Hori and Shinya Toyokuni

    Journal of Clinical Biochemistry and Nutrition (JCBN)   55 巻 ( 3 ) 頁: 207-215   2014年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.3164/jcbn.14-40

  367. Non-thermal atmospheric pressure plasmas as a novel candidate for preventive therapy of melanoma. 査読有り

    Omata Y, Iida M, Yajima I, Takeda K, Ohgami N, Hori M, Kato M

    Environmental health and preventive medicine   19 巻 ( 5 ) 頁: 367-9   2014年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1007/s12199-014-0399-1.

  368. An atmospheric pressure inductively coupled microplasma source of vacuum ultraviolet light

    Ryoto Sato, Daisuke Yasumatsu, Shinya Kumagai, Keigo Takeda, Masaru Hori, Minoru Sasaki

    Sensors and Actuators A: Physical   215 巻   頁: 144-149   2014年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  369. Effectiveness of plasma treatment on gastric cancer cells 査読有り

    Koji Torii, Suguru Yamada, Kae Nakamura, Hiromasa Tanaka, Hiroaki Kajiyama, Kuniaki Tanahashi, Naoki Iwata, Mitsuro Kanda, Daisuke Kobayashi, Chie Tanaka, Tsutomu Fujii, Goro Nakayama,Masahiko Koike, Hiroyuki Sugimoto, Shuji Nomoto, Atsushi Natsume, Michitaka Fujiwara,Masaaki Mizuno, Masaru Hori, Hideyuki Saya, Yasuhiro Kodera

    Gastric Cancer     2014年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1007/s10120-014-0395-6

  370. Perspective of strategic plasma therapy in patients with epithelial ovarian cancer: A short review of plasma in cancer treatment

    Hiroaki Kajiyama, Kae Nakamura, Fumi Utsumi, Hiromasa Tanaka, Masaru Hori and Fumitaka Kikkawa

    Jpn. J. Appl. Phys. 53 (5S1) (Apr 14, ,2014) 05FA05     2014年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.53.05FA05

  371. Effects of Different Chamber-Wall Conditions on Temporal Changes of H and N Radicals Densities in H2 and N2 Mixture Gas Plasma

    Toshiya Suzuki, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    Jpn. J. Appl. Phys. 53 (5) (Apr 7, 2014) 050301     2014年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.53.050301

  372. Temporal changes in absolute atom densities in H2 and N2 mixture gas plasmas by surface modifications of reactor wall

    Toshiya Suzuki, KeigoTakeda, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    Japanese Journal of Applied Physics   ( 53 )   2014年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.53.050301

  373. Epitaxial growth of GaN by radical-enhanced metalorganic chemical vapor deposition (REMOCVD) in the downflow of a very high frequency (VHF) N2/H2 excited plasma-effect of TMG flow rate and VHF power

    Yi Lu, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Osamu Oda, Keigo Takeda, Makoto Sekine, Hiroshi Amano, and Masaru Hori

    Journal of Crystal Growth 391 (Jan 23; Apr 1, 2014)     頁: 97-103   2014年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2014.01.014

  374. Hierarchical regrowth of flowerlike nanographene sheets on oxygen-plasma-treated carbon nanowalls

    Hironao Shimoeda, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Mineo Hiramatsu, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    Appl. Phys. Express 7 (4) (Mar 25, 2014) 046201     2014年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/APEX.7.046201

  375. Effects of nitrogen plasma post-treatment on electrical conduction of carbon nanowalls

    Hyung Jun Cho, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, Mineo Hiramatsu, and Masaru Hori

    Jpn. J. Appl. Phys. 53 (4) (Mar 20, 2014) 040307     2014年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.53.040307

  376. Nanostructure modification to carbon nanowall surface employing hydrogen peroxide solution

    Hironao Shimoeda, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Mineo Hiramatsu, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    Jpn. J. Appl. Phys. 53 (4) (Mar 7, 2014) 040305     頁: 1-4   2014年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.53.040305

  377. Spatiotemporal behaviors of absolute density of atomic oxygen in a planar type of Ar/O2 non-equilibrium atmospheric pressure plasma jet

    Fengdong Jia, Kenji Ishikawa, Keigo Takeda, Hiroyuki Kano, Jagath Kularatne, Hiroki Kondo, Makoto Sekine and Masaru Hori

    Plasma Source Sci. Technol. 23 (Mar. 3, 2014) 025004     2014年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/0963-0252/23/2/025004

  378. Density Control of Carbon Nanowalls Grown by CH4/H2 plasma and Their Electrical Properties

    Hyung Jun Cho, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, Mineo Hiramatsu, and Masaru Hori

    Carbon 68 (Nov 15, 2013; Mar, 2014)     頁: 380-388   2014年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.carbon.2013.11.014

  379. O2 and Ar plasma processing over SiO2/Si stack: Effects of processing gas on interface defect generation and recovery 査読有り

    Shota Nunomura, Takayoshi Tsutsumi, Isao Sakata, Masaru Hori

    Journal of Applied Physics   135 巻 ( 5 ) 頁: 53301   2014年2月

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    担当区分:最終著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: https://doi.org/10.1063/5.0184779

  380. 未来を創るプラズマ ─ ものづくりから医療まで

    堀 勝

    応用物理   83 巻 ( 2 ) 頁: 132-135   2014年

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    記述言語:日本語  

  381. Chemical reactions during plasma-enhanced atomic layer deposition of SiO2 films employing aminosilane and O2/Ar plasma at 50 °C

    Yi Lu, Akiko Kobayashi, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    Jpn. J. Appl. Phys. 53 (1) (Dec 30, 2013; 2014) 010305     頁: 1-4   2014年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.53.010305

  382. Chemical reactions during plasma-enhanced atomic layer deposition of SiO2 films employing aminosilane and O2/Ar plasma at 50 °C

    Yi Lu, Akiko Kobayashi, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    Jpn. J. Appl. Phys.     2013年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: DOI: 10.7567/JJAP.53.010305

  383. A Development of Atmospheric Pressure Plasma Equipment and Its Applications for Treatment of Ag Films Formed from Nano-Particle Ink

    H. Itoh, Y. Kubota, Y. Kashiwagi, K. Takeda, K. Ishikawa, H. Kondo, M.Sekine, H. Toyoda, and M. Hori

    Journal of Physics: Conference Series   441 巻   2013年12月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: doi:10.1088/1742-6596/441/1/012019

  384. Effect of Indirect Nonequilibrium Atmospheric Pressure Plasma on Anti-Proliferative Activity against Chronic Chemo-Resistant Ovarian Cancer Cells In Vitro and In Vivo

    Fumi Utsumi, Hiroaki Kajiyama, Kae Nakamura, Hiromasa Tanaka, Masaaki Mizuno, Kenji Ishikawa, Hiroki Kondo, Hiroyuki Kano, Masaru Hori, and Fumitaka Kikkawa

    PLoS ONE 8 (12) (Dec. 18, 2013) e81576     2013年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1371/journal.pone.0081576

  385. Oxidation mechanism of Penicillium digitatum spores through neutral oxygen radicals

    Hiroshi Hashizume, Takayuki Ohta, Keigo Takeda, Kenji Ishikawa, Masaru Hori, Masafumi Ito

    Jpn. J. Appl. Phys. 53 (1) (Dec 16 2013; 2014) 010209     頁: 1-6   2013年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.53.010209

  386. Investigations on Plasma-Biomolecules Interactions as Fundamental Process for Plasma Medicine

    K. Takenaka, K. Cho, Y. Setsuhara, M. Shiratani, M. Sekine, and M. Hori

    Journal of Physics: Conference Series   441 巻   2013年12月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: doi:10.1088/1742-6596/441/1/012001

  387. Scale-up approach for industrial plasma enchanced chemical vapor deposition processes and Siox thin film technology

    Su B. Jin, Joon S Lee, Yoon S. Choi, In S Choi, Jeon G.Han, M. Hori

    Thin Solid Films   547 巻   頁: 193-197   2013年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  388. Perspective of strategic plasma therapy for prognostic improvement of patients with ovarian cancer

    Hiroaki Kajiyama, Fumi Utsumi, Kae Nakamura, Hiromasa Tanaka, Masaru Hori and Fumitaka Kikkawa

    MRS Proc 1598     2013年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1557/opl.2013.1188

  389. Plasma Interactions with Biological Molecules in Aqueous Solution

    Yuichi Setsuhara, Atsushi Miyazaki, Kosuke Takenaka, and Masaru Hori

    MRS Proc 1598     2013年11月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1557/opl.2013.1155

  390. High H Radical Density Produced by 1-m-length Atmospheric Pressure Microwave Plasma System

    Hitoshi Itoh, Yusuke Kubota, Yusaku Kashiwagi, Keigo Takeda, Kenji Ishikawa, Hiroki Kondo, Hirotaka Toyoda, and Masaru Hori

    Jpn. J. Appl. Phys. 52 (11) (Nov 20, 2013) 11NE01     2013年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.52.11NE01

  391. Study on Effects of Hydrogen Flow Rates on the Properties of ZnO Thin Film Deposited by Facing Targets Sputtering System

    Hye Ran Kim, L. Wen, Su Bong Jin, Yoon Seok Choi, In Sik Choi, M. Hori, and Jeon Geon Han

    Jpn. J. Appl. Phys. 52 (11) (Nov 20, 2013) 11NB01     2013年11月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.52.11NB01

  392. Field Emissions from Organic Nanorods Armored with Metal Nanoparticles

    Toshiya Suzuki, Kenji Ishikawa, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    Jpn. J. Appl. Phys. 52 (12) (Nov 15, 2013) 120203     頁: 1-4   2013年11月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.52.120203

  393. 卵巣癌治療におけるプラズマの応用をめざして

    梶山広明、中村香江、内海史、堀勝、古川史隆

    産婦人科の実際   62 巻 ( 11 ) 頁: 1550-1552   2013年11月

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    記述言語:日本語  

  394. Effect of gas flow on transport of O (3Pj) atoms produced in ac power excited non-equilibrium atmospheric-pressure O2/Ar plasma jet

    Keigo Takeda, Masaki Kato, Fendong Jia, Kenji Ishikawa, Hiroyuki Kano, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    J. Phys. D: Appl. Phys. 46 (Oct 30, 2013) 464006     2013年10月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/0022-3727/46/46/464006

  395. Inactivation effects of neutral reactive-oxygen species on Penicillium digitatum spores using non-equilibrium atmospheric-pressure oxygen radical source

    Hiroshi Hashizume, Takayuki Ohta, Jia Fengdong, Keigo Takeda,Kenji Ishikawa,Masaru Hori, and Masafumi Ito

    Appl. Phys. Lett. 103 (15) (Oct 11, 2013) 153708-1:4     2013年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.4824892

  396. An Atmpospheric pressure inductively coupled microplasma source of vacuum ultraviolet light

    Ryoto Sato, Daisuke Yasumatsu, Shinya Kumagai Keigo Takeda, Masaru Hori, Minoru Sasaki

    Sensors and Actuators   215 巻   頁: 144-149   2013年9月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.sna.2013.09.018

  397. Formation of Nanoporous Features, Flat Surfaces, or Crystallographically Oriented Etched Profiles by the Si Chemical Dry Etching Using the Reaction of F2 + NO -> F + FNO at an Elevated Temperature

    Satomi Tajima, Toshio Hayashi, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    J. Phys. Chem. C 117 (40)     頁: 20810–20818   2013年9月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1021/jp4084794

  398. Atomic Oxygen Etching from the Top Edges of Carbon Nanowalls

    Hironao Shimoeda, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Mineo Hiramatsu, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    Appl. Phys. Express 6 (9) (Aug 27, 2013) 095201     2013年8月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/APEX.6.095201

  399. Mass density control of carbon films deposited by H-assisted plasma CVD method

    Surf. Coat Technol. 228 (S1)

    Tatsuya Urakawa, Hidehumi Matsuzaki, Daisuke Yamashita, Giichiro Uchida, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yuichi Setsuhara, Makoto Sekine, Masaru Hori     頁: S15-S18   2013年8月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.surfcoat.2012.10.002

  400. A novel fast and flexible technique of radical kinetic behaviour investigation based on pallet for plasma evaluation structure and numerical analysis

    Arkadiusz Malinowski, Takuya Takeuchi, Shang Chen, Toshiya Suzuki, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, Masaru Hori, Lidia Lukasiak, and Andrzej Jakubowski

    J. Phys. D: Appl. Phys. 46 (26) (Jul 3, 2013) 265201     2013年7月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/0022-3727/46/26/265201

  401. Improving the Gas Barrier Properties of a-SiOxCyNz Film at Low Temperature using High Energy and Suitable Nitrogen Flow Rate

    Su B. Jin, Joon S.Lee, Yoon S.Choi, In S.Choi, Jeon G.Han, M.Hori

    Current Applied Physics   13 巻   頁: 885-889   2013年7月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  402. A Development of Atmospheric Pressure Plasma Equipment and Its Applications for Treatment of Ag Films Formed from Nano-Particle Ink

    H Itoh,Y Kubota, Y Kashiwagi, K Takeda, K Ishikawa, H Kondo, M Sekine, H Toyoda, M Hori

    Journal of Physics: Conference Series   441 巻   2013年6月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/1742-6596/441/1/012019

  403. Investigations on Plasma-Biomolecules Interactions as Fundamental Process for Plasma Medicine

    Kosuke Takenaka, Ken Cho, Yuichi Setsuhara, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    J. Phys.: Conf. Ser.   441 巻 ( 1 )   2013年6月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/1742-6596/441/1/012001

  404. Surface morphology on high-temperature plasma-etched gallium nitride 査読有り

    Ryosuke Kometani, Kenji Ishikawa, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    Trans. Mater. Res. Soc. Jpn.   38 巻 ( 2 ) 頁: 325-328   2013年6月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.14723/tmrsj.38.325

  405. Photoluminescence Study of Plasma-Induced Damage of GaInN Single Quantum Well

    Shouichiro Izumi, Masaki Minami, Michiru Kamada, Tetsuya Tatsumi, Atsushi A. Yamaguchi, Kenji Ishikawa, Masaru Hori, and Shigetaka Tomiya

    Jpn. J. Appl. Phys. 52 (8) (May 31, 2013) 08JL09     頁: 1-4   2013年5月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.52.08JL09

  406. Dissociations of C5F8 and C5HF7 in Etching Plasma

    Hayashi Toshio, Ishikawa Kenji, Sekine Makoto, Hori Masaru

    Japanese Journal of Applied Physics   52 巻 ( 5 )   2013年5月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.52.05EB02

  407. Wavelength dependence of photon-induced interface defects in hydrogenated silicon nitride/Si structure during plasma etching processes

    Masanaga Fukasawa, Hiroyasu Matsugai, Takayoshi Honda, Yudai Miyawaki, Yusuke Kondo, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, Kazunori Nagahata, Fumikatsu Uesawa, Masaru Hori, Tetsuya Tatsumi

    Jpn. J. Appl. Phys. 52 (5) (May 20, 2013) 05ED01     頁: 1-4   2013年5月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.52.05ED01

  408. Surface Chemical Modification of Carbon Nanowalls for Wide-Range Control of Surface Wettability

    H. Watanabe, H. Kondo, M. Hiramatsu, M. Sekine, S. Kumar, K. Ostrikov, M. Hori

    Plasma Process. Polym. 10 (7) (May 20, 2013)     頁: 582-592   2013年5月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1002/ppap.201200141

  409. A High-Temperature Nitrogen Plasma Etching for Preserving Smooth and Stoichiometric GaN Surface

    Ryosuke Kometani, Kenji Ishikawa, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    Appl. Phys. Express 6 (5) (April 25, 2013) 056201     頁: 1-4   2013年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/APEX.6.056201

  410. Inactivation Process of Penicillium digitatum Spores Treated with Non-equilibrium Atmospheric Pressure Plasma

    H. Hashizume, T. Ohta, T. Mori, S. Iseki, M. Hori, and M. Ito

    Jpn. J. Appl. Phys. 52 (5) (Apr 15, 2013) 056202     頁: 1-4   2013年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.52.056202

  411. Supercritical Fluid Deposition of High-Density Nanoparticles of Photo-Catalytic TiO2 on Carbon Nanowalls

    Takeyoshi Horibe, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Hiroyuki Kano, Makoto Sekine, Mineo Hiramatsu, and Masaru Hori

    Appl. Phys. Express 6 (4) (2013) 045103     頁: 1-4   2013年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/APEX.6.045103

  412. Study on change of electrical properties of ZnO thin films deposited in low temperature facing targets magnetron sputtering (FTS) system with H2 and O2 flow rate changes

    Hye R. Kim, Su B. Jin, Long Wen, Yoon S. Choi, In S. Choi, M. Hori, and Jeon G. Han

    Journal of Ceramic Processing Research   14 巻 ( 2 ) 頁: pp.188-193   2013年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  413. Graphene Nanowalls

    Mineo Hiramatsu, Hiroki Kondo and Masaru Hori

    Chapter 9 in Book "New Progress on Graphene Research"     2013年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.5772/3358

  414. Plasma interactions with aminoacid (l-alanine) as a basis of fundamental processes in plasma medicine

    Yuichi Setsuhara, Ken Cho, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

    Current Applied Physics   13 巻   頁: S59-S63   2013年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  415. Optical-Fiber-Type Broadband Cavity Ring-Down Spectroscopy Using Wavelength-Tunable Ultrashort Pulsed Light

    T. Hiraoka, T. Ohta, M. Ito, N. Nishizawa, M. Hori

    Jpn. J. Appl. Phys.   ( 52 ) 頁: DOI: 10.7567/JJAP.52.040201   2013年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  416. Room-Temperature Si Etching in NO/F2 Gases and the Investigation of Surface Reaction Mechanisms

    S.Tajima, T. Hayashi , K. Ishikawa , M. Sekine , M. Hori

    J. Phys. Chem. C   ( 117 ) 頁: pp 5118-5125, DOI: 10.1021/jp3119132   2013年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  417. Etching-Enhancement Followed by Nitridation on Low-k SiOCH Film in Ar/C5F10O Plasma

    Y. Miyawaki, E. Shibata, Y. Kondo, K. Takeda, H. Kondo, K. Ishikawa, H. Okamoto, M. Sekine, M. Hori

    Jpn. J. Appl. Phys.   ( 52 ) 頁: P.020204:1-4   2013年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  418. Plasma-activated medium selectively kills glioblastoma brain tumor cells by downregulating a survival signaling molecule, AKT kinase

    H. Tanaka, M. Mizuno, K. Ishikawa, K. Nakamura, H. Kajiyama, H. Kano, F. Kikkawa, M. Hori

    Plasma Medicine   3 巻   頁: 265-277   2013年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  419. Surface roughness development on ArF-photoresist studied by beam-irradiation of CF4 plasma

    T. Takeuchi, K. Ishikawa, Y. Setsuhara, K. Takeda, H. Kondo, M. Sekine, M. Hori

    J. Phys. D: Appl. Phys.   ( 46 ) 頁: P. 102001:1-5.   2013年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  420. Temperature Measurement of Si Substrate Using Optical-Fiber-Type Low-Coherence Interferometry Employing Supercontinuum Light

    Takehiro Hiraoka, Takayuki Ohta, Tetsunori Kageyama, Masafumi Ito, Norihiko Nishizawa, Masaru Hori

    Jpn. J. Appl. Phys.   ( 52 ) 頁: 026602-1:6   2013年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  421. Fabrication of Graphene-Based Films Using Microwave-Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition

    M. Hiramatsu, M. Naito, H. Kondo, and M. Hori

    Jpn. J. Appl. Phys. 52 (1) 01AK04     2013年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.52.01AK04

  422. Nucleation Control of Carbon Nanowalls Using Inductively Coupled Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition

    M. Hiramatsu, Y. Nihashi, H. Kondo, and M. Hori

    Jpn. J. Appl. Phys. 52 (1) (Jan 21, 2013) 01AK05     2013年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.52.01AK05

  423. Impact of hydrogen radical-injection plasma on fabrication of microcrystalline silicon thin film for solar cells

    Yusuke Abe, Sho Kawashima, Atsushi Fukushima, Ya Lu, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    J. Appl. Phys.   113 巻   頁: DOI: 10.1063/1.4778608 P.033304:1-6   2013年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  424. Development of High-Density Nitrogen Radical Source for Low Mosaicity and High Rate Growth of InGaN Films in Molecular Beam Epitaxy

    Shang Chen, Yohjiro Kawai, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Keigo Takeda, Hiroyuki Kano, Makoto Sekine, Hiroshi Amano, Masaru Hori

    Jpn.J.Appl.Phys   ( 52 ) 頁: DOI: 10.7567/JJAP.52.021001   2013年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  425. Highly selective etching of SiO2 over Si3N4 and Si in capacitivlly coupled plasma employing C5HF7 gas

    Y. Miyawaki, Y. Kondo, M. Sekine, K. Ishikawa,T. Hayashi, K. Takeda, H. Kondo, M. Hori

    Jpn. J. Appl. Phys.   ( 52 ) 頁: 016201:1-9   2013年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  426. H2/N2 plasma etching rate of carbon films deposited by H-assisted plasma CVD

    Tatsuya Urakawa, Ryuhei Torigoe, Hidefumi Matsuzaki, Daisuke Yamashita, Giichiro Uchida, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yuichi Setsuhara, Keigo Takeda, Makoto Sekine, Masaru Hori

    Jpn. J. Appl. Phys.   ( 52 ) 頁: 1,01AB01   2013年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  427. Development of the sputtering yields of ArF photoresist after the onset of argon ion bombardment

    T. Takeuchi, C. Corbella, S. Grosse-Kreul, A. von Keudell, K. Ishikawa, H. Kondo, K. Takeda, M. Sekine, M. Hori

    J. Appl. Phys.   113 巻   頁: 014306:1-6.   2013年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  428. Surface loss probability of H radicals on silicon thin films in SiH4/H2 plasma

    Y. Abe, A. Fukushima, K. Takeda, H. Kondo, K. Ishikawa, M. Sekine, and M.Hori

    J. Appl. Phys.   113 巻 ( 1 )   2013年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: http://dx.doi.org/10.1063/1.4773104

  429. Rapid measurement of substrate temperatures by frequency-domain low-coherence interferometry

    Takayoshi Tsutsumi, Takayuki Ohta, Kenji Ishikawa, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Makoto Sekine, Masaru Hori, and Masafumi Ito

    Appl. Phys. Lett. 103 (18) (2013) 182102     2013年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.4827426

  430. Study on change of electrical properties of ZnO thin films deposited in low temperature facing targets magnetron sputtering (FTS) system with H2 and O2 flow rate changes

    Hye R. Kim, Su B. Jin, Long Wen, Yoon S. Choi, In S. Choi, M. Hori, and Jeon G. Han

    Journal of Ceramic Processing Research 14 (2)     頁: 188-193   2013年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  431. プラズマ異方性化学気相堆積法による硬質カーボン薄膜の低温製膜

    古閑 一憲、白谷 正治、節原 裕一、関根 誠、堀 勝

    化学工業/化学工業社   63 巻 ( 12 ) 頁: 908-912   2013年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  432. Highly selective etching of SiO2 over Si3N4 and Si in capacitivlly coupled plasma employing C5HF7 gas

    Y. Miyawaki, Y. Kondo, M. Sekine, K. Ishikawa, T. Hayashi, K. Takeda, H. Kondo, M. Hori

    Jpn. J. Appl. Phys.   ( 52 ) 頁: 016201:1-9   2012年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  433. プラズマ異方性化学気相堆積法による硬質カーボン薄膜の低温製膜

    古閑 一憲、 白谷 正治、 節原 裕一、 関根 誠、 堀 勝

    月刊 化学工業/化学工業社   63 巻 ( 12 ) 頁: 908-912   2012年12月

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    記述言語:日本語  

  434. 社会イノベーションを実現する低温プラズマ科学技術

    堀 勝

      32 巻   頁: 17   2012年12月

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    記述言語:日本語  

  435. MINIMIZING PLASMA IRRADIATION AREA BY MICRO-NOZZLE DEVICE TOWARDS SINGLE CELL TREATMENT

    Ryutaro Shimane, Shinya Kumagai, Masaru Hori, Minoru Sasaki

    Micro&Nano letters   7 巻   頁: 1210-1212   2012年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1049/mln.2012.0555

  436. Investigation of chemical bonding states at interface of Zn/organic materials for analysis of early stage of inorganic/organic hybrid multi-layer formation

    Ken Cho, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

    Thin Solid Films   523 巻   頁: 15-19   2012年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  437. Properties of Indium-Zinc-Oxide Films Synthesized by Radio Frequency Magnetron Sputtering Based on Gas Phase Monitoring Using Multi-Micro Hollow Cathode Lamp

    M. Inoue, T. Ohta, N. Takota, S. Tsuchitani, M. Ito, S. Takashima, K. Yamakawa, H. Kano, K. Takeda, M. Hori

    Jpn. J. Appl. Phys.   ( 51 ) 頁: DOI: 10.1143/JJAP.51.116202   2012年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  438. Individual Roles of Atoms and Ions during Hydrogen Plasma Passivivation of Surface Defects on GaN Created by Plasma Etching

    Shang Chen, Kenji Ishikawa, Yi Lu, Ryosuke Kometani, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Yutaka Tokuda, Takashi Egawa, Hiroshi Amano, Makoto Sekine, Masaru Hori

    Jpn.J.Appl.Phys   51 巻   頁: DOI: 10.1143/JJAP.51.111002   2012年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  439. Critical flux ratio of hydrogen radical to film precursor in microcrystalline silicon deposition for solar cells

    Yusuke Abe, Atsushi Fukushima, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, Masaru Hori

    Appl. Phys. Volume 101, 172109     2012年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.4764065

  440. As-grown deep-level defects in n-GaN grown by metal-organic chemical vapor deposition on freestanding GaN

    Shang Chen, Unhi Honda, Tatsunari Shibata, Toshiya Matsumura, Yutaka Tokuda, Kenji Ishikawa, Masaru Hori, Hiroyuki Ueda, Tsutomu Uesugi, Tetsu Kachi

    J. Appl. Phys.   112 巻 ( 5 ) 頁: 10.1063/1.4748170   2012年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  441. プラズマナノテクノロジーによる10mmサイズ、超高アスペクト比有機ナノピラーの室温近傍形成とフレキシブルディスプレイへの応用

    堀 勝、鈴木 俊哉、竹田 圭吾、近藤 博基、石川 健治、関根 誠

    名古屋大学ベンチャー・ビジネス・ラボラトリーニュース 研究紹介(1)   17 巻 ( 1 ) 頁: 2012, Summere, No.33   2012年8月

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    記述言語:日本語  

  442. Line-Profiles and Translational Temperatures of Pb Atoms in Multi-Micro Hollow Cathode Lamp Measured by Diode Laser Absorption Spectroscopy

    M. Inoue, T. Ohta, N. Takota, S. Tsuchitani, M. Ito, S. Takashima, K. Yamakawa, H. Kano, K. Takeda, M. Hori

    Jpn. J. Appl. Phys.   ( 51 ) 頁: DOI: 10.1143/JJAP.51.086301   2012年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  443. Real-time in situ electron spin resonance measurements on fungal spores of Penicillium digitatum during exposure of oxygen plasmas

    Kenji Ishikawa, Hiroko Mizuno, Hiromasa Tanaka, Kazuhiro Tamiya, Hiroshi Hashizume, Takayuki Ohta, Masafumi Ito, Sachiko Iseki, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    Appl. Phys. Lett.   101 巻 ( 1 )   2012年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.4733387

  444. An Autonomously Controllable Plasma Etching System Based on Radical Monitoring

    Shunji Takahashi, Ryota Kawauchi, Seigo Takashima, Shoji Den, Toshiro Katagiri, Hiroyuki Kano, Takayuki Ohta, Masafumi Ito, Tatsuya Suzuki, Keigo Takeda, and Masaru Hori

    Jpn. J. Appl. Phys. 51 (2012) 076502     2012年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1143/JJAP.51.076502

  445. The 2012 Plasma Roadmap

    Seiji Samukawa, Masaru Hori, Shahid Rauf, Kunihide Tachibana, Peter Bruggeman, Gerrit Kroesen, J Christopher Whitehead, Anthony B Murphy, Alexander F Gutsol, Svetlana Starikovskaia, Uwe Kortshagen, Jean-Pierre Boeuf, Timothy J Sommerer, Mark J Kushner, Uwe Czarnetzki and Nigel Mason

    J. Phys. D: Appl. Phys. 45 253001     2012年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/0022-3727/45/25/253001

  446. Photoluminescence recovery by in-situ exposure of plasma-damaged n-GaN to atomic hydrogen at room temperature

    S. Chen, Y. Lu, R. Kometani, K. Ishikawa, H. Kondo, Y. Tokuda, M. Sekine, and M. Hori

    AIP Advances 2, 022149     2012年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.4729448

  447. タングステン加熱触媒体により生成した水素ラジカルによるレジスト用ベースポリマーの分解除去

    新井 祐, 渡邉 誠, 河野 昭彦, 山岸 忠明, 石川 健治, 堀 勝, 堀邊 英夫

    高分子論文集Vol. 69 (2012) No. 6     頁: p. 266-273   2012年6月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1295/koron.69.266

  448. トリフルオロメチルトリフルオロビニルエーテル混合ガスを用いた60Hz非平衡大気圧プラズマによるビア底残渣のドライデスミア

    岩田義幸, 坂本一, 竹田圭吾, 堀 勝

    表面技術, Vol.63, No.4,     頁: pp.247-251   2012年4月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  449. Ultrahigh-Speed Synthesis of Nanographene Using Alcohol In-Liquid Plasma

    T. Hagino, H. Kondo, K. Ishikawa, H. Kano, M. Sekine, M. Hori

    Applied Physics Express (2012).   Vol.5 巻   頁: pp. 035101-1:3   2012年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1143/APEX.5.035101

  450. Plasma Agriculture

    Masafumi Ito and Takayuki Ohta, Masaru Hori

    Journal of the Korean Physical Society, Vol. 60, No. 6,     2012年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: DOI: 10.3938/jkps.60.937

  451. Nitriding of Polymer by Low Energy Nitrogen Neutral Beam Source

    Yasuhiro Hara, Keigo Takeda, Koji Yamakawa, Shoji Den, Hirotaka Toyoda, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    Appl. Phys. Express 5 (2012) 035801     2012年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: DOI: 10.1143/APEX.5.035801

  452. Quantum Chemical Investigation of Si Chemical Dry Etching by Flowing NF3 into N2 Downflow Plasma

    Toshio Hayashi, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, Masaru Hori, Akihiro Kono, and Koukou Suu

    Japanese Journal of Applied Physics 51 (2012) 026505     2012年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: DOI: 10.1143/JJAP.51.026505

  453. Pressure dependence of carbon film deposition using H-assisted plasma CVD

    X. Dong, K. Koga, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, K. Takenaka, Y. Setsuhara, M. Sekine, M. Hori

    Proc. 8th Int. Conf. Reactive Plasmas     頁: 5P-PM-S08-P14   2012年2月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  454. Effects of Irradiation with Ions and Photons in Ultraviolet--Vacuum Ultraviolet Regions on Nano-Surface Properties of Polymers Exposed to Plasmas

    Ken Cho, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

    Jpn. J. Appl. Phys.   ( 51 ) 頁: 01AJ02-01AJ02-5   2012年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  455. Floating Wire for Enhancing Ignition of Atmospheric Pressure Inductively Coupled Microplasma

    Shinya Kumagai, Hirotaka Asano, Masaru Hori, and Minoru Sasaki

    Jpn. J. Appl. Phys. 51 (2012) 01AA01     2012年1月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: DOI: 10.1143/JJAP.51.01AA01

  456. Multiple-Height Microstructure Fabricated by Deep Reactive Ion Etching and Selective Ashing of Resist Layer Combined with Ultraviolet Curing

    Shinya Kumagai, Akiyoshi Hikita, Takuya Iwamoto, Takashi Tomikawa, Masaru Hori, and Minoru Sasaki

    Jpn. J. Appl. Phys. 51 (2012) 01AB04     2012年1月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: DOI: 10.1143/JJAP.51.01AB04

  457. Vacuum Ultraviolet and Ultraviolet Radiation-Induced Effect of Hydrogenated Silicon Nitride Etching: Surface Reaction Enhancement and Damage Generation

    Masanaga Fukasawa, Yudai Miyawaki, Yusuke Kondo, Keigo Takeda, Hiroki Kondo,K. Ishikawa, M. Sekine, H. Matsugai, T. Honda, M. Minam, F. Uesawa, M. Hori, and T. Tatsumi

    Jpn. J. Appl. Phys.     2012年1月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1143/JJAP.51.026201

  458. Control of Super Hydrophobic and Super Hydrophilic Surfaces of Carbon Nanowalls Using Atmospheric Pressure Plasma Treatments

    H. Watanabe, H. Kondo, M. Sekine, M. Hiramatsu ,M. Hori

    Jpn. J. Appl. Phys. 51 (2012) 01AJ07 (4 pages)     2012年1月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1143/JJAP.51.01AJ07

  459. Chemical bond modification in porous SiOCH films by H2 and H2/N2 plasmas investigated by in situ infrared reflection absorption spectroscopy

    Hiroshi Yamamoto, Kohei Asano, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, Hisataka Hayashi, Itsuko Sakai, Tokuhisa Ohiwa, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, and Masaru Hori

    Journal of Applied Physics 2011   110 巻 ( 123301 )   2011年12月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: doi:10.1063/1.3671547

  460. Quantum Chemical Investigation for Chemical Dry Etching of SiO2 by Flowing NF3 into H2 Downflow Plasma

    Toshio Hayashi, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, Masaru Hori, Akihiro Kono, and Koukou Suu

    Japanese Journal of Applied Physics (JJAP)     2011年12月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1143/JJAP.51.016201

  461. Direct current superposed dual-frequency capacitively coupled plasmas in selective etching of SiOCH over SiC

    Tsuyoshi Yamaguchi, Tatsuya Komuro, Chishio Koshimizu, Seigo Takashima, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine and Masaru Hori

    Journal of Physics D: Applied Physics     2011年12月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/0022-3727/45/2/025203

  462. Feature Profiles on Plasma Etch of Organic Films by a Temporal Control of Radical Densities and Real-Time Monitoring of Substrate Temperature

    Hiroshi Yamamoto, Hiroki Kuroda, Masafumi Ito1, Takayuki Ohta1, Keigo Takeda, Kenji Ishikawa, Hiroki Kondo, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    Japanese Journal of Applied Physics (JJAP)     2011年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1143/JJAP.51.016202

  463. Synchrotron x-ray analyses of crystalline and electronic structures of carbon nanowalls

    Hiroki Kondo, Wakana Takeuchi, Masaru Hori, Shigeru Kimura, Yukako Kato, Takayuki Muro, Toyohiko Kinoshita, Osami Sakata, Hiroo Tajiri, and Mineo Hiramatsu

    Appl. Phys. Lett   99 巻   2011年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.3659470

  464. フレキシブルデバイス創製に向けたプラズマ-ソフトマテリアル相互作用の解析

    趙研 節原 裕一 竹中 弘祐 白谷 正治 関根 誠 堀 勝

    高温学会誌   Vol.37 巻 ( No.6 ) 頁: pp.289-297   2011年11月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  465. Optical emission spectroscopy of Ar+H2+ C7H8 discharges for anisotropic plasma CVD of carbon

    T. Urakawa, H. Matsuzaki, D. Yamashita, G. Uchida, K. Koga, M. Shiratani, Y. Setsuhara, M. Sekine, M. Hori

    Proc. Intern. Symp. on Dry Process   33 巻   頁: 123-124   2011年11月

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    記述言語:英語  

  466. Investigation of plasma interactions with organic semiconductors for fabrication of flexible electronics devices

    K. Cho, K. Takenaka, Y. Setsuhara, M. Shiratani, M. Sekine, M. Hori

    Proc. Intern. Symp. on Dry Process   33 巻   頁: 69-70   2011年11月

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    記述言語:英語  

  467. Effects of substrate bias voltage on plasma anisotropic CVD of carbon using H-assisted plasma CVD reactor

    T. Urakawa, H. Matsuzaki, D. Yamashita, G. Uchida, K. Koga, M. Shiratani, Y. Setsuhara, M. Sekine, M. Hori

    Proc. Intern. Symp. on Dry Process   33 巻   頁: 24P007-O   2011年11月

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    記述言語:英語  

  468. Self-organized carbon Mk formation on the top surface of fine trenches using a low temperature plasma anisotropic CVD for depositing fine organic structure

    K. Koga, T. Urakawa, G. Uchida, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, M. Shiratani, Y. Setsuhara, M. Sekine, M. Hori

    Proc. Plasma Conf. 2011     頁: 23G03   2011年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  469. High-Performance Decomposition and Fixation of Dry Etching ExhaustPerfluoro-Compound Gases and Study of Their Mechanism

    Kei Hattori, Masaaki Osato, Takeshi Maeda, Katsuya Okumura, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    Jpn. J. Appl. Phys   50 巻   2011年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1143/JJAP.50.117301

  470. Inactivation of Penicillium digitatum Spores by a High-Density Ground-State Atomic Oxygen-Radical Source Employing an Atmospheric-Pressure Plasma

    S. Iseki, H. Hashizume, F. Jia, K. Takeda, K. Ishikawa, T. Ohta, M. Ito, and M. Hori

    Appl. Phys. Express   Vol. 4 巻   2011年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1143/APEX.4.116201

  471. Analysis of GaN Damage Induced by Cl2/SiCl4/Ar Plasma

    Masaki Minami Shigetaka Tomiya, Kenji Ishikawa, Ryosuke Matsumoto, Shang Chen, Masanaga Fukasawa,Fumikatsu Uesawa, Makoto Sekine, Masaru Hori, and Tetsuya Tatsumi

    Japanese Journal of Applied Physics   50 巻   頁: 08JE03   2011年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1143/JJAP.50.08JE03

  472. Impacts of CF+,CF2+,CF3+,andAr Ion Beam Bombardment with Energies of 100 and 400 eV on Surface Modification of Photoresist

    TakuyaTakeuchi,ShinpeiAmasaki,HirokiKondo,KenjiIshikawa,HirotakaToyoda,MakotoSekine,Song-Yun Kang,IkuoSawada,MasaruHori

    JapaneseJournalOfAppliedPhysics   50 巻 ( 8 )   2011年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1143/JJAP.50.08JE05

  473. Novel Atmospheric Pressure Inductively Coupled Micro Plasma Source Using Floating Wire Electrode

    Shinya Kumagai, Hiroki Matsuyama, Yoshihiro Yokoyama, Masaru Hori, and Minoru Sasaki

    Jpn. J. Appl. Phys. 50 (2011) 08JA02     2011年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: DOI: 10.1143/JJAP.50.08JA02

  474. Reactive Ion Etching of Carbon Nanowalls

    Shingo Kondo, Hiroki Kondo, Yudai Miyawaki, Hajime Sasaki,Hiroyuki Kano,Mineo Hiramatsu,Masaru Hori

    Japanese Journal of Applied Physics   50 巻 ( 7 )   2011年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1143/JJAP.50.075101

  475. Achieving high-growth-rate in GaN homoepitaxy using high-density nitrogen radical source

    Yohjiro Kawai1,*, Shang Chen1, Yoshio Honda1,2, Masahito Yamaguchi1,2, Hiroshi Amano1,2, Hiroki Kondo1, Mineo Hiramatsu3, Hiroyuki Kano4, Koji Yamakawa5, Shoji Den5, Masaru Hori1

    physica status solidi (c)   8 巻 ( 7--8 ) 頁: 2089-2091   2011年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1002/pssc.201000969

  476. Synergistic Formation of Radicals by Irradiation with Both Vacuum Ultraviolet and Atomic Hydrogen :A Real-time In Situ Electron Spin Resonance Study

    Kenji Ishikwa,Naoya Sumi,Akihiko Kono Hideo Horibe,Keigo Takeda,Hiroki Kondo,Makoto Sekine,and Masaru Hori

    Physical Chemistry   2 巻 ( 11 ) 頁: 1278-1281   2011年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  477. Spatial Distributions of Electron, CF, and CF2 Radical Densities and Gas Temperature in DC-Superposed Dual-Frequency Capacitively Coupled Plasma Etch Reactor Employing Cyclic-C4F8/N2/Ar Gas

    Tsuyoshi Yamaguchi, Tetsuya Kimura, Chishio Koshimizu, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    Jpn. J. Appl. Phys   50 巻   頁: 056101-1:6   2011年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  478. H2/N2 plasma damage on porous dielectric SiOCH film evaluated by in situ film characterization and plasma diagnostics

    Hiroshi Yamamoto, Keigo Takeda, Kenji Ishikawa, Masafumi Ito, Makoto Sekine, Masaru Hori, Takeshi Kaminatsui, Hisataka Hayashi, Itsuko Sakai, and Tokuhisa Ohiwa

    J. Appl. Phys.   109 巻   頁: pp.084112-1-8   2011年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.3562161

  479. O2/N2ガスを用いた60Hz非平衡大気圧プラズマによるソルダーレジストとドライフィルムの表面改質

    岩田義幸,坂本一,乾裕俊,堀勝

    表面技術   62 巻 ( 6 ) 頁: 311-316   2011年4月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  480. Radical-controlled plasma processing for nanofabrication

    Hori Masaru Hori, Hiroki Kondo and Mineo Hiramatsu

    J. Phys. D: Appl. Phys.     頁: 44, 174027   2011年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  481. Spontaneous formation of highly regular superlattice structure in InGaN epilayers grown by molecular beam epitaxy

    Z. H. Wu, Y. Kawai, Y.-Y. Fang, C. Q. Chen, H. Kondo, M. Hori, Y. Honda, M. Yamaguchi, and H. Amano

    Appl. Phys. Lett.     頁: 98, 141905   2011年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  482. Formation and mechanism of ultrahigh density platinum nanoparticles on vertically grown graphene sheets by metal-organic chemical supercritical fluid deposition

    Kota Mase, Hiroki Kondo, Shingo Kondo, Masaru Hori, Mineo Hiramatsu, and Hiroyuki Kano

    APPLIED PHYSICS LETTERSGRAPHENE, CARBON NANOTUBES, C60, AND RELATED STUDIES     頁: 98, 193108   2011年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  483. Dissociation Channels of c-C4F8 to CF2 Radical in Reactive Plasma

    Toshio Hayashi, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, Masaru Hori, Akihiro Kono, and Koukou Suu

    Japanese Journal of Applied Physics     頁: 50   2011年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  484. Electron field emission enhancement of carbon nanowalls by plasma surface nitridation

    Wakana Takeuchi, Hiroki Kondo, Tomomi Obayashi, Mineo Hiramatsu, and Masaru Hori

    Appl. Phys. Lett.     頁: 98, 123107   2011年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  485. Hydrophobic treatment of organics against glass employing nonequilibrium atmospheric pressure pulsed plasmas with a mixture of CF4 and N2 gases

    Hirotoshi Inui, Keigo Takeda, Kenji Ishikawa, Takuya Yara, Tsuyoshi Uehara, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    Journal of Applied Physics   109 巻   頁: 013310   2011年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  486. Mechanism of plasma-induced damage to low-k SiOCH films during plasma ashing of organic resists

    Keigo Takeda, Yudai Miyawaki, Seigo Takashima, Masanaga Fukasawa, Keiji Oshima, Kazunori Nagahata, Tetsuya Tatsumi, and Masaru Hori

    J. Appl. Phys.   109 巻   頁: 033303   2011年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  487. Controlled Synthesis of Carbon Nanowalls for Carbon Channel Engineering

    Hiroki Kondo, Masaru Hori, Wakana Takeuchi, Mineo Hiramatsu

    Key Engineering Materials   470 巻   頁: 85-91   2011年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  488. Laser Scattering Diagnosis of a 60-Hz Non-Equilibrium Atmospheric Pressure Plasma Jet

    Fengdong Jia, Naoya Sumi, Kenji Ishikawa, Hiroyuki Kano, Hirotoshi Inui,Jagath Kularatne, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Makoto Sekine, Akihiro Kono, and Masaru Hori

    Applied Physics   4 巻   頁: 026101   2011年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  489. Behaviors of Absolute Densities of N, H, and NH3 at Remote Region of High-Density Radical Source Employing N2?H2 Mixture Plasmas

    Shang Chen, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Keigo Takeda, Makoto Sekine, Hiroyuki Kano, Shoji Den, and Masaru Hori

    Jpn. J. Appl. Phys.   50 巻   頁: 01AE03   2011年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  490. プラズマ技術とバイオアプリケーション -非均衡大気圧プラズマのミドリカビ殺菌への応用-

    伊藤昌文、堀勝

    化学工業   61 巻 ( 6 ) 頁: 44-48   2010年6月

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    記述言語:日本語  

  491. 研究開発の効率を飛躍的に高めるコンビ名とリアルプラズマ解析装置

    白谷正治、節原裕一、関根誠、堀勝

    化学工業   60 巻 ( 5 ) 頁: 43-47   2010年5月

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    記述言語:日本語  

  492. 巻頭言・プラズマ誘起表面科学の魅力

    堀勝

    表面科学   31 巻 ( 3 ) 頁: 123   2010年3月

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    記述言語:日本語  

  493. プラズマCVD法を用いたカーボンナノウォールの形成

    平松美根男、堀勝

    表面科学   31 巻 ( 3 ) 頁: 144-149   2010年3月

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    記述言語:日本語  

  494. 自律型プラズマナノエッチング製造装置の創製~装置が自己判断、自己制御、自己修正する究極のプラズマプロセスの実現~

    堀勝、竹田圭吾

      14 巻 ( 2 ) 頁: 4   2010年2月

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    記述言語:日本語  

  495. Contrast Enhancement of Wavelength Selective Detection on Mid-InfraredUsing Localized Atmospheric Plasma Treatment

    K. Masuno, K. Tashiro, M. Hori, S. Kumagai, M. Sasaki

    Jpn J. Appl. Phys   49 巻 ( 4 )   2010年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  496. Preparation of Platinum Nanoparticles on Carbon Nanostructures Using Metal-Organic Chemical Fluid Deposition Employing Supercritical Carbon Dioxide

    M. Hiramatsu, T. Machino, K. Mase, M. Hori, and H. Kano

    J. Nanosci. Nanotechnol   10 巻   頁: 4023-4029   2010年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  497. Monolithic self-sustaining nanographene sheet grown using plasma-enhanced chemical vapor deposition

    Wakana Takeuchi, Keigo Takeda, Mineo Hiramatsu, Yutaka Tokuda, Hiroyuki Kano, Shigeru Kimura, Osami Sakata, Hiroo Tajiri, and Masaru Hori

    Phys. Status Solidi A 207   1 巻   頁: 139-143   2010年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  498. Critical Factors for Nucleation and Vertical Growth of Two Dimensional Nano-Graphene Sheets Employing a Novel Ar+ Beam with Hydrogen and Fluorocarbon Radical Injection

    Shingo Kondo, Hiroki Kondo, Mineo Hiramatsu, Makoto Sekine, Masaru Hori

    Applied Physics Express   3 巻 ( 4 ) 頁: 045102   2010年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  499. “High performance of compact radical monitoring probe in H2/N2 mixture plasma"

    Chang S. Moon, K. Takeda, S. Takashima, M. Sekine, Y. Setsuhara, M. Shiratani, and M. Hori

    J. Vac. Sci. Technol.   B 28 巻 ( L17 )   2010年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  500. Preparation of Dispersed Platinum Nanoparticles on a Carbon Nanostructured Surface Using Supercritical Fluid Chemical Deposition Materials

    M. Hiramatsu, M. Hori

      3 巻 ( 3 ) 頁: 1559-1572   2010年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  501. Rapid inactivation of Penicillium digitatum spores using high-density nonequilibrium atmospheric pressure plasma

    Sachiko Iseki, Takayuki Ohta, Akiyoshi Aomatsu, Masafumi Ito, Hiroyuki Kano, Yasuhiro Higashijima, and Masaru Hori

    Appl. Phys.   96 巻   頁: 153704   2010年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  502. Surface loss probabilities of H and N radicals on different materials in afterglow plasmas employing H2 and N2 mixture gases

    Chang S. Moon, Keigo Takeda, Seigo Takashima, Makoto Sekine, Yuichi Setsuhara, Masaharu Shiratani, and Masaru Hori

    J. Appl. Phys   107 巻 ( 10 ) 頁: 103310   2010年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  503. Etching characteristics of organic low-k films interpreted by internal parameters employing a combinatorial plasma process in an inductively coupled H2/N2 plasma

    Moon Chang Sung; Takeda Keigo; Sekine Makoto; Setsuhara Yuichi; Shiratani Masaharu; Hori Masaru

    J. Appl. Phys   107 巻 ( 11 ) 頁: 113310 - 113310-8   2010年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  504. Optical Properties of Evolutionary Grown Layers of Carbon Nanowalls Analyzed by Spectroscopic Ellipsometry

    Shinji Kawai, Shingo Kondo, Wakana Takeuchi, Hiroki Kondo, Mineo Hiramatsu, Masaru Hori

    Japanese Journal of Applied Physics   49 巻   頁: 060220   2010年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  505. Surface Loss Probability of Nitrogen Atom on Stainless-Steel in N2 Plasma Afterglow

    S. Takashima, K. Takeda, S. Kato, M. Hiramatsu, and M. Hori

    Jpn J. Appl. Phys.   49 巻   頁: 076101-1 - 4   2010年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  506. Dependence of Surface-Loss Probability of Hydrogen Atom on Pressures in Very High Frequency Parallel-Plate Capacitively Coupled Plasma

    Yusuke Abe, Sho Kawashima, Keigo Takeda, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    Applied Physics Express   13 巻 ( 10 ) 頁: 106001   2010年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  507. Modeling considerations and performance estimation of Single Carbon Nano Wall based Field Effect Transistor by 3D TCAD simulation study

    Malinowski A., Hori M., Sekine M., Takeuchi W., ?ukasiak L., Jakubowski A., Tomaszewski D.

    Journal Transactions of the Materials Research Society of Japan   35 巻 ( 3 ) 頁: 669-674   2010年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  508. Measurement of Hydrogen Radical Density and its Impact on Reduction of Copper Oxide in Atmospheric-Pressure Remote Plasma Using H2 and Ar Mixture Gases

    Hirotoshi Inui, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Sekine Makoto, Hiroyuki Kano, Naofumi Yoshida, and Masaru Hori

    Appl. Phys. Express   3 巻   頁: 126101   2010年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  509. Initial growth process of carbon nanowalls synthesized by radical injection plasma-enhanced chemical vapor deposition

    S. Kondo, S. Kawai, W. Takeuchi, K. Yamakawa, S. Den, H. Kano, M. Hiramatsu, and M. Hori

    J. Appl. Phys   106 巻   頁: 094302   2009年11月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  510. A scientific look at plasma technology

    SPOTLIGHT ON NAGOYA     頁: 16   2009年10月

     詳細を見る

    記述言語:英語  

  511. *Development of atomic monitoring probe and its application to spatial distribution measurements of H and O atomic radical densities in radical-based plasma processing

    S. Takahashi, S.Takashima, K.Yamakawa, S. Den, H.Kano, K. Takeda, and M. Hori

    J. Appl. Phys   106 巻 ( 5 )   2009年9月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  512. Analysis of dispersion of electrical parameters and characteristics of FinFET devices

    Malinowski A., Sekine M., Hori M., Jakubowski A., Lukasiak L., Tomaszewski D

    Journal of Telecommunications and Information Technology (JTIT)   ( 4 )   2009年9月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  513. ラジカル制御プラズマとその応用

    堀 勝

      52 巻 ( 9 ) 頁: 491-497   2009年9月

     詳細を見る

    担当区分:筆頭著者   記述言語:日本語  

  514. Monolithic self-sustaining nanographene sheet grown using plasma-enhanced chemical vapor deposition

    Wakana Takeuchi, Keigo Takeda, Mineo Hiramatsu, Yutaka Tokuda, Hiroyuki Kano, Shigeru Kimura, Osami Sakata, Hiroo Tajiri, and Masaru Hori

    Phys. Status Solidi A   1-5 巻   2009年9月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  515. SiH4 /H2 &not;プラズマによる高品質微結晶シリコンの低温形成

    堀 勝

    月間ディスプレイ   15 巻 ( 8 ) 頁: 3-8   2009年8月

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

  516. Development of measurement technique for carbon atoms employing vacuum ultraviolet absorption spectroscopy with a microdischarge hollow-cathode lamp and its application to diagnostics of nanographene sheet material formation plasmas 査読有り

    W. Takeuchi, H. Sasaki, S. Kato, S. Takashima, M. Hiramatsu, and M. Hori

    J. Appl. Phys   105 巻   頁: 113305 -1- 113305 -6   2009年6月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  517. 低誘電率(Low-k)材料のドライエッチング

    堀 勝、関根 誠

    プラズマ・核融合学会誌   85 巻 ( 4 ) 頁: 193,194   2009年4月

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

  518. Synthesis of Platinum Nanoparticles on Two-Dimensional Carbon Nanostructures with an Ultrahigh Aspect Ratio Employing Supercritical Fluid Chemical Vapor Deposition Process 査読有り

    T. Machino, W. Takeuchi, H. Kano, M. Hiramatsu, and M. Hori

    Appl. Phys. Express   2 巻 ( 2 ) 頁: 025001-1-025001-3   2009年1月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  519. Combinatorial Plasma Etching Process

    Chang Sung Moon, Keigotakeda, Makoto Sekine, Yuichi Setsuhara, Masaharu Shiratani, and Masaru Hori

    Applied Physics Express   2 巻   2009年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  520. Low-Damage Surface Modification of Polymethylmethacrylate with Argon-Oxygen Mixture Plasmas Driven by Multiple Low-Inductance Antenna Units

    Y. Setsuhara, K. Cho, K. Takenaka, M. Shiratani, M. Sekine, M. Hori, E. Ikeitaga and S. Zaima

    Thin Solid Films   - 巻   2009年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  521. X-Ray Photoelectron Spectroscopy for Analysis of Plasma-Polymer Interactions in Ar Plasmas Sustained via RF Inductive-Coupling with Low-Inductance Antenna Units

    Y. Setsuhara, K. Cho, M. Shiratani, M. Sekine and M. Hori, E. Ikeitaga and S. Zaima

    Thin Solid Films   - 巻   2009年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  522. DEVELOPMENT OF COMBINATORIAL PLASMA PROCESS ANALYZER FOR ADVANCED R&D OF NEXT GENERATION NANODEVICE FABRICATIONS

    K. Takenaka, K. Cho, Y. Setsuhara, M. Shiratani, M. Sekine, M. Hori

    Cramics Transactions   - 巻   2009年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  523. Plasma Surface Treatment of Polymers with Inductivity Coupled RF Plasmas Driven by Low inductance Antenna Units

    Y. Setsuhara, K. Cho, K. Takenaka, A. Ebe, M. Shiratani, M. Sekine, M. Hori E. Ikeitaga, H. Kondo, O. Nakatsuka and S. Zaima

    Thin Solid Films   518 巻   頁: 1006-1011   2009年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  524. Substrate temperature dependence of deposition profile of plasma CVD carbon films in trenches

    Jun Umetsu, Kazuhiko Inoue, Takuya Nomura, Hidefumi Matsuzaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yuichi Setsuhara, Makoto Sekine, and Masaru Hori

    Journal of Plasma and Fusion Research Series   8 巻   頁: 1443-1446   2009年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  525. Development of d ensity-inclination plasmas for analysis of plasma nano-processes via combinatorial method

    Y. Setsuhara, K. Nagao, M. Shiratani, M. Sekine, M. Hori

    Thin Solid Films   518 巻   頁: 1020-1023   2009年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  526. 半導体特性を持つカーボンナノウォールの合成及びその電気伝導特性の制御に世界で初めて成功

    堀 勝

    科研費NEWS   2 巻   頁: 7   2008年11月

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    記述言語:日本語  

  527. Fabrication of Carbon Nanowalls using Electron Beam Excited Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition 査読有り

    T. Mori, M. Hiramatsu, K. Yamakawa, K. Takeda, and M. Hori

    Diamond & Related Materials   17 巻 ( 7-10 ) 頁: 1513-1517   2008年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  528. New Compact Continuous Spectrum Light Source Using Atmospheric Pressure Microplasma with High-Velocity Ar Gas Flow 査読有り

    H. Ito, H. Kano, and M. Hori

    Appl. Phys. Express   1 巻 ( 10 ) 頁: 106001-1-106001-3   2008年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  529. 先進プラズマナノプロセス技術~プラズマナノ科学創成による製造技術の革新~

    堀 勝

    真空ジャーナル   120 巻   頁: 18,25   2008年9月

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    記述言語:日本語  

  530. Novel Silicon Wafer Slicing Technology Using Atmospheric-Pressure Reactive Microplasma 査読有り

    T. Ideno, H. Inui, S. Takashima, H. Kano, M. Kondo, M. Hiramatsu, and M. Hori

    Jpn. J. Appl. Phys.   47 巻 ( 7 ) 頁: 5648-5651   2008年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  531. グラファイト(黒鉛)から半導体を創る――カーボンナノウォールの電気伝導制御に成功――

    堀 勝

    名大トピックス   182 巻   頁: 12,13   2008年7月

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    記述言語:日本語  

  532. Absolute Density and Temperature of O(1D2) in Highly Ar or Kr Diluted O2 Plasma 査読有り

    K. Takeda, S. Takashima, M. Ito, and M. Hori

    Appl. Phys. Lett   93 巻 ( 2 ) 頁: 021501-1-021501-3   2008年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  533. Surface Reactions during Low-k Etching using N2/H2 Plasma 査読有り

    M. Fukasawa, T. Tatsumi, K. Oshima, K. Nagahata, S. Uchida, S. Takashima, M. Hori, and Y. Kamide

    J. Vac. Sci. Technol   ( A26 ) 頁: 870-874   2008年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  534. 大気圧プラズマを用いた加工技術 招待有り

    堀 勝

    放電研究   51 巻 ( 2 ) 頁: 27-31   2008年6月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:日本語  

  535. Evaluation of Property Changes due to Radiation, Radicals, and Ions on Organic Low-k Films in H2/N2 Plasma Etching 査読有り

    S. Uchida, S. Takashima, M. Hori, M. Fukasawa, K. Ohshima, K. Nagahata, and T. Tatsumi

    Jpn. J. Appl. Phys.   47 巻 ( 5 ) 頁: 3621-3624   2008年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  536. Surface Modification Process of Contact Lens Using Three-Phase AC Excited Nonequilibrium Atmospheric Pressure Ar Plasma 査読有り

    M. Iwasaki, H. Inui, H. Kano, M. Ito, Y. Suzuki, D. Sutou, K. Nakada, and M. Hori

    Jpn. J. Appl. Phys   47 巻 ( 5 ) 頁: 3625-3629   2008年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  537. Electrical Conduction Control of Carbon Nanowalls 査読有り

    W. Takeuchi, M. Ura, M. Hiramatsu, Y. Tokuda, H. Kano, and M. Hori

    Appl. Phys. Lett.   92 巻   頁: 213103-1-213103-3   2008年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  538. Plasma Damage Mechanisms for Low-k Porous SiOCH Films due to Radiation, Radicals, and Ions in the Plasma Etching Process 査読有り

    S. Uchida, S. Takashima, M. Hori, M. Fukasawa, K. Ohshima, K. Nagahata, and T. Tatsumi

    J. Appl. Phys.   103 巻 ( 7 ) 頁: 073303-1-073303-5   2008年4月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  539. プラズマ中のラジカル制御によるカーボンナノウォールの合成

    堀 勝、平松 美根男

    応用物理   77 巻 ( 4 ) 頁: 406-410   2008年4月

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    記述言語:日本語  

  540. のぞいてみよう!“プラズマの世界”

    堀 勝

    青少年のための科学の祭典・岐阜大会実験解説集     頁: 10   2008年3月

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    記述言語:日本語  

  541. Characteristics of Low Energy Atom and Molecule Beams Generated by the Charge Exchange Reaction 査読有り

    Y. Hara, S. Takashima, K. Yamakawa, S. Den, H. Toyoda, M. Sekine, and M. Hori

    J. Appl. Phys.   103 巻 ( 5 ) 頁: 053301-1-053301-5   2008年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  542. Nonequilibrium Atmospheric Pressure Plasma with Ultrahigh Electron Density and High Performance for Glass Surface Cleaning 査読有り

    M. Iwasaki, H. Inui, Y. Matsudaira, H. Kano, N. Yoshida, M. Ito, and M, Hori

    Appl. Phys. Lett.   92 巻   頁: 081503-1-081503-3   2008年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  543. Octave Spanning High Quality Super Continuum Generation Using 10 nJ and 104 fs High Energy Ultrashort Soliton Pulse 査読有り

    N. Nishizawa and M. Hori

    Appl. Phys. Express 1     頁: 022009-1-022009-2   2008年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  544. プラズマイノベーションによる学と産の世界拠点を目指して!

    堀 勝

      112 巻   頁: 23-25   2008年1月

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    記述言語:日本語  

  545. Roles of Oxidizing Species in a Nnonequilibrium Atmospheric-Pressure Pulsed Remote O2/N2 Plasma Glass Cleaning Process 査読有り

    M. Iwasaki, Y. Matsudaira, K. Takeda, M. Ito, E. Miyamoto, T. Yara, T. Uehara, and M. Hori

    J. Appl. Phys.   103 巻   頁: 023303-1-023303-7   2008年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  546. Highly Reliable Growth Process of Carbon Nanowalls using Radical Injection Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition 査読有り

    S. Kondo, K. Yamakawa, S. Den, H. Kano, M. Hiramatsu, and M. Hori

    J. Vac. Sci. Technol   ( B26 ) 頁: 1294   2008年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  547. シミュレーションと計測によるプロセスプラズマの解析:N2 プラズマとH2 プラズマについて 査読有り

      51 巻 ( 12 ) 頁: 807-813   2008年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  548. Tunable Low-Energy Ar Fast Atom Source with Large Diameter 査読有り

    Y. Hara, S. Takashima, K. Yamakawa, S. Den, H. Toyoda, and M. Hori

    Appl. Phys. Lett.   91 巻 ( 23 ) 頁: 231502-1-231502-3   2007年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  549. カーボンナノウォールの超精密形成と機能デバイスへの応用 招待有り

    堀 勝、平松 美根男

      7 巻 ( 11 ) 頁: 10-16   2007年11月

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    記述言語:日本語  

  550. シリコン表面の窒化初期過程とエネルギーバンドギャップの形成

    近藤 博基、財満 鎮明、堀 勝、酒井 朗、小川 正毅

    真空   50 巻 ( 11 ) 頁: 665- 671   2007年11月

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    記述言語:日本語  

  551. 高密度プラズマとその応用技術の最前線 展望『高密度プラズマプロセッシングの現状と将来展望』 招待有り

    堀 勝

    精密工学学会誌   73 巻 ( 9 ) 頁: 971-974   2007年9月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:日本語  

  552. VBLニュース 研究紹介 「大気圧プラズマによるフレキシブルエレクトロニクスの技術革新」

    堀 勝

    名古屋大学ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー ニュースNo. 23   12 巻 ( 1 ) 頁: 3   2007年8月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:日本語  

  553. ラジカル制御CVD法によるカーボンナノウォールの成長

    堀 勝、平松 美根男

      23 巻 ( 3 ) 頁: 13-17   2007年7月

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

  554. Effect of Low Level O2 Addition to N2 on Surface Cleaning by Nonequilibrium Atmospheric-Pressure Pulsed Remote Pmasma

    M .Iwasaki, K. Takeda, M. Ito, T. Yara, T. Uehara, and M. Hori

    Jpn. J. Appl. Phys., Express Letter   46 巻 ( 23 ) 頁: L540-L542   2007年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  555. *Insights into Sticking of Radicals on Surfaces for Smart Plasma Nano-Processing

    M. Hori and T. Goto

    Applied Surface Science   253 巻 ( 16 ) 頁: 6657-6671   2007年6月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  556. 小特集「材料プロセス用フルオロカーボンプラズマ――現状と展望―― 9.フルオロカーボンプラズマを用いたナノ構造体の形成」

    平松美根男、堀 勝、

    プラズマ・核融合学会誌   83 巻 ( 4 ) 頁: 356-360   2007年4月

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    記述言語:日本語  

  557. 小特集「材料プロセス用フルオロカーボンプラズマ――現状と展望―― 7.環境調和型ゼロエミッション・リサイクルナノエッチングプロセスの開発」

    高橋俊次、堀 勝

    プラズマ・核融合学会誌   83 巻 ( 4 ) 頁: 346-349   2007年4月

     詳細を見る

    記述言語:日本語  

  558. 小特集「材料プロセス用フルオロカーボンプラズマ――現状と展望―― 1.はじめに」

    堀 勝

    プラズマ・核融合学会誌   83 巻 ( 4 ) 頁: 317-318   2007年4月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:日本語  

  559. Aligned Growth of Single-Walled and Double-Walled Carbon Nanotube Films by Control of the Catalyst Preparation

    M. Hiramatsu, T. Deguchi, H. Nagao, and M. Hori

    Jpn. J. Appl. Phys.   46 巻 ( 13 ) 頁: L303 - L306   2007年3月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  560. Growth and Energy Bandgap Formation of Silicon Nitride Films in Radical Nitridation

    H. Kondo, K. Kawaai, A. Sakai, M. Hori, S. Zaima, and Y. Yasuda

    Jpn. J. Appl. Phys.   46 巻 ( 1 ) 頁: 71-75   2007年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  561. 巻頭言

    堀 勝

    応用物理学会東海支部創立40周年記念リフレッシュ理科教室「たのしい工作大集合!」     2007年1月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:日本語  

  562. Silicon Oxide Selective Etching Employing Dual Frequency Superimposed Magnetron Sputtering of Carbon Using F2/Ar Gases

    M. Nagai and M. Hori

    Jpn. J. Appl. Phys.   46 巻 ( 2 ) 頁: 799-802   2007年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  563. Plasma Etching Technology for Low-k Porous SiOCH Films

    M. Hori

    Silicon Nitride, Silicon Dioxide, and Emerging Dielectrics 9   6 巻 ( 3 ) 頁: 485-500   2007年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  564. Formation of Microcrystalline Diamond Using a Low-Pressure Inductively Coupled Plasma Assisted by Thermal Decomposition of Di-t-alkyl Peroxide

    H. Ito, K. Teii, M. Ito, and M. Hori

    Diamond and Related Materials   16 巻   頁: 393-396   2007年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  565. Initial Stage of Processes and Energy Bandgap Formation in Nitridation of Silicon Surface Using Nitrogen Radicals

    H. Kondo, S. Zaima, M. Hori, A. Sakai, M. Ogawa

    J. Vac. Soc. Jpn   50 巻 ( 11 ) 頁: 665- 671   2007年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  566. Simultaneous Monitoring of Multimetallic Atom Densities in Plasma Processes Employing a Multimicrohollow Cathode Lamp

    T. Ohta, M. Ito, Y. Tachibana, S. Taneda, S. Takashima, M. Hori, H. Kano, and S. Den

    Appl. Phys. Lett.   90 巻   頁: 251502.1- 251502.3   2007年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  567. Area-Selective Growth of Aligned Single-Walled Carbon Nanotube Films using Microwave Plasma-Enhanced CVD

    M. Hiramatsu, T. Deguchi, H. Nagao, and M. Hori

    Diamond and Related Materials   16 巻   頁: 1126-1130   2007年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  568. The Silicon Mold Fabrication of a Kind of Micro-Optical Resonator and Coupler

    H. Ju, T. Ohta, S. Takao, M. Ito, M. Sasaki, K. Hane, and M. Hori

    Proceedings of SPIE   6462 巻   頁: 64620I   2007年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  569. Diagnostics of Surface Wave Excited Kr/O2 Plasma for Low-Temperature Oxidation Processes

    K. Takeda, Y. Kubota, S. Takashima, M. Hori, A. Serdyuchenko, M. Ito, and Y. Matsumi

    J. Appl. Phys.,   102 巻   頁: 013302-1-013302-6   2007年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  570. Geometric Characteristics of Silicon Cavities Etched in EDP 査読有り

    H. Ju, T. Ohta, M. Ito, M. Sasaki, K. Hane, and M. Hori

    J. Micromech, & Microeng.   17 巻   頁: 1012-1016   2007年

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  571. 精密シリコンスライスでフッ素系ガスプラズマ切断浮上

    堀 勝

    ガスレビュー   614 巻   頁: 25   2006年12月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:日本語  

  572. 研究室紹介

    堀 勝

    応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会会報   45 巻   2006年12月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:日本語  

  573. Ion Attachment Mass Spectrometry of Nonequilibrium Atmospheric-Pressure Pulsed Remote Plasma for SiO2 Etching

    M. Iwasaki, M. Ito, T. Uehara, M. Nakamura, and M. Hori

    J. Appl. Phys.   100 巻   2006年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  574. Carbon Nanowalls Formation by Radical Controlled Plasma Process

    M. Hori and M. Hiramatsu

    Advanced in Science and Technology   48 巻   頁: 119-126   2006年11月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  575. Nitriding of a Tool Steel with an Electron-beam-excited Plasma

    H. Shoyama, T. Hishida, T. Hara, Y. Dake, T. Mori, H. Nagai, M. Hori, and T. Goto

    J. Vac. Sci. Techno.   A24 巻   頁: 1999-2002   2006年11月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  576. Development of a Low Pressure Microwave Excited Plasma and its Application to the Formation of Microcrystalline Silicon Films

    D. Kikukawa, M. Hori, K. Honma, M. Yamamoto, T. Goto, S. Takahashi, and S. Den

    J. Vac. Sci. Technol.   A24 巻   頁: 2128-2132   2006年10月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  577. プラズマ化学気相堆積法を用いたカーボンナノウォールの作製

    平松美根男、堀 勝

    真空   49 巻 ( 9 ) 頁: 368-372   2006年9月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  578. Low-k SiOCH Film Etching Process and Its Diagnostics Employing Ar/C5F10O/N2 Plasma

    M. Nagai, T. Hayashi, M. Hori, and H. Okamoto

    Jpn. J. Appl. Phys.   45 巻 ( 9A ) 頁: 7100-7104   2006年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  579. Effects of N2 Addition on Density and Temperature of Radicals in 60 MHz Capacitively Coupled C-C4F8 Gas Plasma

    M. Nagai and M. Hori

    J. Vac. Sci. Technol.   A24 巻   頁: 1760-1763   2006年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  580. Silicon Dioxide Etching Process for Fabrication of Micro-optics Employing Pulse-Modulated Electron-beam-excited Plasma

    K. Takeda, T. Ohta, M. Ito, and M. Hori

    J. Vac. Sci. Technol.   A24 巻   頁: 1725-1729   2006年8月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  581. Fabrication of Carbon Nanowalls Using Novel Plasma Processing

    M. Hiramatsu and M. Hori

    Jpn. J. Appl. Phys.   45 巻 ( 6B ) 頁: 5522-5527   2006年6月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  582. Progress of Radical Measurements in Plasmas for Semiconductor Processing

    M. Hori and T. Goto

    Plasma Sources Sci. Technol.   15 巻 ( 2 ) 頁: S74-S83   2006年5月

     詳細を見る

    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  583. Atmospheric Pressure Fluorocarbon-Particle Plasma Chemical Vapor Deposition for Hydrophobic Film Coating

    M. Nagai, O. Takai, and M. Hori

    Jpn. J. Appl. Phys.   45 巻 ( 17 ) 頁: L460-L462   2006年4月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  584. 新規エッチングガスを用いた半導体微細加工プロセス

    堀 勝、高橋俊次

    化学工業   57 巻 ( 3 ) 頁: 55-58   2006年3月

     詳細を見る

    担当区分:筆頭著者   記述言語:日本語  

  585. プラズマCVDを用いたカーボンナノウォールの成長

    平松美根男、堀 勝

    日本結晶成長学会誌   32 巻 ( 32 ) 頁: 27-32   2005年12月

     詳細を見る

    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  586. スマートプラズマプロセス

    堀 勝

    応用物理   74 巻 ( 10 ) 頁: 1328-1335   2005年10月

     詳細を見る

    担当区分:筆頭著者   記述言語:日本語  

  587. プラズマで遊ぼう

    堀 勝

    WEC青少年のための科学の祭典 2005年岐阜大会in岐阜メモリアルセンター     頁: 5   2005年10月

     詳細を見る

    担当区分:筆頭著者   記述言語:日本語  

  588. RFプラズマCVDによるカーボンナノウォールの配向成長

    平松美根男、堀 勝

    プラズマ・核融合学会誌   81 巻 ( 9 ) 頁: 669-673   2005年9月

     詳細を見る

    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  589. 巻頭言

    堀 勝

    応用物理学会東海支部第8回リフレッシュ理科教室「あつい!つめたい!熱の不思議」     2005年7月

     詳細を見る

    担当区分:筆頭著者   記述言語:日本語  

  590. 名古屋大学ナノプロセス研究Gr.自立型ナノ製造装置を開発 LTPS向け各種製膜から平面バックライト向けCNWの形成まで

    堀 勝

    EExpress     頁: 24-31   2005年6月

     詳細を見る

    担当区分:筆頭著者   記述言語:日本語  

  591. 巻頭言

    堀 勝

    応用物理学会シリコンテクノロジー分科会「65nmから45nmノードlow-kエッチングの最前線」特集号   ( 71 ) 頁: 1   2005年6月

     詳細を見る

    担当区分:筆頭著者   記述言語:日本語  

  592. 第52回応用物理学関係連合講演会 講演会報告「シリコンナノエレクトロニクスの新展開――ポストスケーリングテクノロジー――」

    堀 勝、宮崎誠一、田畑仁

    応用物理   74 巻 ( 6 ) 頁: 804-805   2005年6月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:日本語  

  593. カーボンナノウォールの合成と合成装置の実用化開発

    堀 勝、平松美根男

    放電研究   48 巻 ( 2 ) 頁: 33-38   2005年5月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  594. カーボンナノ構造体製膜装置の開発

    平松美根男、堀 勝

    Display Asia(韓国)     2005年5月

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    記述言語:日本語  

  595. Property of Atmospheric Pressure Plasma with Microwave Excitation of Plasma Processing

    M. Nagai, M. Hori, and T. Goto

    J. Vac. Sci. Technol. A   23 巻 ( 2 ) 頁: 221-225   2005年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  596. マイクロ波励起非平衡大気圧プラズマを用いたシリコン酸化膜の超高速エッチングおよびカーボンナノチューブの形成

    山川晃司、堀 勝

    真空 Journal of the Vacuum Society of Japan   48 巻 ( 2 ) 頁: 51-56   2005年2月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  597. Vertical Growth of Carbon Nanowalls Using RF Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition

    K. Shiji, M. Hiramatsu, A. Enomoto, M. Nakamura, H. Amano and M. Hori

    Diamond & Related Materials   14 巻   頁: 831-834   2005年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  598. Preparation of Dense Carbon Nanotube Film Using Microwave Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition

    M. Taniguchi, H. Nagao, M. Hiramatsu, Y. Ando, and M. Hori

    Diamond & Related Materials   14 巻   頁: 855-858   2005年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  599. Fabrication of Dense Carbon Nanotube Films Using Microwave Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition

    M. Hiramatsu, M. Taniguchi, H. Nagao, Y. Ando, and M. Hori

    Jpn. J. Appl. Phys.   44 巻 ( 2 ) 頁: 1150-1154   2005年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  600. High-Rate Growth of Films of Dense, Aligned Double-Walled Carbon Nanotubes Using Microwave Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition

    M. Hiramatsu, H. Nagao, M. Taniguchi, H. Amano, Y. Ando, and M. Hori

    Jpn. J. Appl. Phys.   44 巻   頁: L693-L695   2005年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  601. Etching Process of Silicon Dioxide with Nonequilibrium Atmospheric Pressure Plasma

    K. Yamakawa, M. Hori, T. Goto, S. Den, T. Katagiri, and H. Kano

    J. Appl. Phys.   98 巻   頁: 13301-1-13301-6   2005年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  602. *Ultra-High-Speed Etching of Organic Films Using Microwave-Excited Nonequilibrium Atmospheric-Pressure Plasma

    K. Yamakawa, M. Hori, T. Goto, S. Den, T. Katagiri, and H. Kano

    J. Appl. Phys.   98 巻   頁: 43311-1-43311-5   2005年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  603. Decomposition and Polymerization of Perfluorinated Compounds in Microwave-Excited Atmospheric Pressure Plasma

    M. Nagai, M. Hori, and T. Goto

    J. Appl. Phys.   97 巻   頁: 123304-1-123304-5   2005年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  604. Development of Compact C2F4 Gas Supply Equipment and Its Application to Etching of Dielectrics in an Environmental Benign Process

    S. Takahashi, S. Den, T. Katagiri, K. Yamakawa, H. Kano, and M. Hori

    Jpn. J. Appl. Phys.   44 巻 ( 24 ) 頁: L781-L783   2005年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  605. マイクロ波励起非平衡大気圧プラズマを用いた超高速加工技術

    堀 勝、山川晃司

    表面技術   55 巻 ( 12 ) 頁: 38-42   2004年12月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  606. Study on the Absolute Density and Translational Temperature of Si Atoms in Very High Frequency Capacitively Coupled SiH4 Plasma with Ar, N2, and H2 Dilution Gases 査読有り

    T. Ohta, M. Hori, T. Ishida, T. Goto, M. Ito, and S. Kawakami

    Jpn. J. Appl. Phys.   43 巻 ( 9A ) 頁: 6405-6412   2004年9月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  607. A Novel Silicon-Dioxide Etching Process Employing Pulse-Modulated Electron-Beam-Excited Plasma 査読有り

    K. Takeda, Y. Tomekawa, M. Iwasaki, M. Ito, T. Ohta, K. Yamakawa, and M. Hori

    Jpn. J. Appl. Phys.   43 巻 ( 9A/B ) 頁: L1166-L1168   2004年8月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  608. Ultrahigh-Speed Etching of SiO2 with Ultrahigh Selectivity over Si in Microwave-Excited Non Equilibrium Atmospheric Pressure Plasma 査読有り

    K. Yamakawa, M. Hori, T. Goto, S. Den, T. Katagiri, and H. Kano

    Applied Physics Letters   84 巻 ( 4 ) 頁: 549-551   2004年7月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  609. Fabrication of Vertically Aligned Carbon Nanowalls Using Capacitively Coupled Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition Assisted by Hydrogen Radical Injection 査読有り

    M. Hiramatsu, K. Shiji, H. Amano, and M. Hori

    Applied Physics Letters   84 巻 ( 23 ) 頁: 4708-4710   2004年6月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  610. Fabrication of Vertically Aligned Carbon Nanowalls Using Capacitively Coupled Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition Assisted by Hydrogen Radical Infection

    M. Hiramatsu, K. Shiji, H. Amano, and M. Hori

    Virtual Journal of Nanoscale Science & Technology   9 巻 ( 21 )   2004年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  611. Diagnostic and analytical study on a low-pressure limit of diamond chemical vapor deposition in inductively coupled CO-CH4-H2 plasmas 査読有り

    K. Teii, M. Hori, and T. Goto

    J. Appl. Phys.   95 巻 ( 8 ) 頁: 4463-4470   2004年4月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  612. Silicon-oxide etching process employing an electron-beam-excited plasma 査読有り

    M. Ito, K. Takeda, T. Shiina, Y. Okamura, H. Nagai, M. Hori, and T. Goto

    J. Vac. Sci. & Technol.   22 巻 ( 2 ) 頁: 543-547   2004年3月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  613. High Performance of Silicon Oxide Selective Etching Using F2 Gas and Graphite Instead of Perfluorinated Compound Gases

    M.Nagai,M.Hori,and T.Goto

    Jpn.P.Appl.Phys.(Express Letter)   43 巻 ( 4A ) 頁: pp.L501-L503   2004年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  614. Effects of Driving Frequency on the Translation Temperature and Absolute Density of Si Atoms In Very High Frequency Capacitively Coupled SiF4 Plasma

    Takayuki Ohta, Masaru Hori, Tetsuro Ishida, Toshio Goto, Masafumi Ito, Satoshi Kawakami, Nobuo Ishii

    Jpn.J.Appl.Phys.   Vol.42 巻 ( No.12B ) 頁: pp L1532-L1534   2003年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  615. MBE-growth, characterization and properties of InN and InGaN 査読有り

    Y. Nanishi, Y. Saito, T. Yamaguchi, M. Hori, F. Matsuda, T. Araki, A. Suzuki, T. Miyajima

    Physica Status Solidi (a)   200 巻 ( 1 ) 頁: 202-208   2003年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1002/pssa.200303327

  616. Synthesis of polytetrafluoroethylene-like Film by a Novel Plasma Enhanced Chemical vapor Deposition Employing Solid material Evaporation Technique 査読有り

    K. Fujita, M. Ito, M. Hori and T. Goto

    Jpn. J. Appl. Phys.   42 巻 ( 2A ) 頁: 650-656   2003年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  617. Effect of Oxygen and Nitrogen Atoms on SiOCH Film Etching in Ultrahigh Frequency Plasma 査読有り

    H. Nagai, Y. Maeda, M. Hiramatsu, M. Hori and T. Goto

    Jpn. J. Appl. Phys.   42 巻 ( 3B ) 頁: L326-L328   2003年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  618. Measurement of C2 Radical Density in Microwave Methane/Hydrogen Plasma Used For Nanocrystalline Diamond Film Formation 査読有り

    M.Hiramatsu, K.Kato, C.H.Lau, J.S.Food, M.Hori

    Diamond & Related Materials   12 巻 ( 3月7日 ) 頁: 366-369   2003年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  619. *Fabrication of Vertically Aligned Carbon Nanostructures by Microwave Plasma-enhanced Vapor Deposition 査読有り

    M.Hiramatsu, K.Ito, C.H.Lau, J.S.Food, M.Hori

    Diamond & Related Materials   12 巻 ( 3月7日 ) 頁: 787-790   2003年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  620. Fabrication of Multilayered SiOCH Films with Low Dielectric Constant Employing Layer-by-Layer Process of Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition and Oxidation 査読有り

    H. Nagai, M. Hori, T. Goto, T. Fujii, M. Hiramatsu

    Jpn. J. Appl. Phys.   42 巻 ( 5A ) 頁: 2775-2779   2003年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  621. Measurement of Oxgen Atom Density Employing Vacuum Ultraviolet Absorption Spectroscopy with Microdischarge Hollow Cathode Lamp 査読有り

    H. Nagai,M. Hiramatsu, M. Hori, T. Goto

    Review of Scientific Instruiments   74 巻 ( 7 ) 頁: 3453-3459   2003年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  622. Etching Organic Low Dielectric Film in Ultrahigh Frequency Plasma Using N2/H2 and N2/NH3 査読有り

    H.Nagai, M. Hiramatsu, M. Hori, T. Goto

    J. Appl. Phys.   94 巻 ( 3 ) 頁: 1362-1367   2003年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  623. Measurement of S, SiF, and SiF2 Radicals and SiF4 Molecule Using Very High Frequency Capacitively Coupled Plasma Employing SiF4 査読有り

    T.Ohta, K. Hara, T. Ishida, M. Hori, T. Goto

    J. Appl. Phys.   94 巻 ( 3 ) 頁: 1428-1435   2003年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  624. Environmentally Benign Etching Process of Amorphous Silicon and Tungsten Using Species Evaporated from Polytetrafluoroethylene and Fluorinated Ethylene Propylene 査読有り

    K. Fujita, M. Hori, T. Goto and M. Ito

    J. Vac. Sci.Technol.   B21 巻 ( 1 ) 頁: 302-309   2003年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  625. Plasma Induced Subsurface Reactions for Anisotropic Etching of Organic Low Dielectric Film Employing N2 and H2 Gas Chemistry 査読有り

    H. Nagai, M. Hiramatsu, M. Hori and T. Goto

    Jpn. J. Appl. Phys.(Express Letter)   42 巻 ( 3A ) 頁: L212-L214   2003年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  626. Dry Etching 招待有り 査読有り

    Masaru Hori

    Electrochemistry   71 巻 ( 7 ) 頁: 603-604   2003年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  627. Effects of Driving Frequency on the Translation Temperature and Absolute Density of Si Atoms in Very High Frequency Capacitively Coupled SiF4 Plasma 査読有り

    Takayuki Ohta, Masaru Hori, Tetsuro Ishida, Toshio Goto, Masafumi Ito, Satoshi Kawakami, Nobuo Ishii

    Jpn. J. Appl. Phys.   42 巻 ( 12B ) 頁: L1532-L1534   2003年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  628. Subsurface reaction of silicon nitride in a high selective etching process of silicon oxide over silicon nitride 査読有り

    M. Ito, K. Kamiya, M. Hori and T. Goto

    J. Appl. Phys.   91 巻 ( 3 ) 頁: 3452   2002年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  629. Deposition of diamond-Like Carbon Using Compact Electron-Beam-Excited Plasma Source 査読有り

    S.Tada, M. Ito, m. Hamagaki, m. Hori and T. Goto

    Jpn. J. Appl. Phys.   41 巻 ( 8 ) 頁: 5408   2002年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  630. Ion-to CH3 Flux Ratio in Diamond Chemical-vapor Deposition 査読有り

    K. Teii, M. Hori and T. Goto

    J. Appl. Phys.   92 巻 ( 7 ) 頁: 4103   2002年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  631. Cleaning of Glass Disk in Oxygen Plasma by Using Compact Electron-Beam-Excited Plasma Source 査読有り

    S. Tada, M. Ito, M. Hamagaki, M. Hori and T.GOTO

    Jpn. J. Appl. Phys.   41 巻 ( 11A ) 頁: 6553   2002年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  632. Silicon Oxide Contact Hole Etching Employing an Environmentally Benign Process 査読有り

    K. Fujita, M. Hori, T. Goto and M. Ito

    J. Vac. Sci & Technol.   B20 巻 ( 6 ) 頁: 2192   2002年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  633. パルス変調プラズマCVDを用いた配向性ポリシリコン薄膜形成 招待有り 査読有り

    堀勝,後藤俊夫

    表面技術   53 巻 ( 12 ) 頁: 860   2002年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:日本語  

  634. Behavior of Atomic Radicals and Their Effects on Organic Low Dielectric Constant Film Etching in High Density N2/H2 and N2/NH3 Plasmas 査読有り

    H. Nagai, S. Takashima, M. Hiramatsu, M. Hori and T. Goto

    J. Appl. Phys.   91 巻 ( 5 ) 頁: 2615   2002年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  635. Effects of Initial Layers on Surface Roughness and Crystallinity of Microcrystalline Silicon Thin Films Formed by Remote Electron Cyclotron Resonance Silane Plasma 査読有り

    K. Murata, D. Kikukawa, M. Hori and T.Goto

    J. Vac. Sci. Technolo.   A20 巻 ( 3 ) 頁: 953   2002年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  636. Investigation of Nitrogen Atoms in Low-Pressure Nitrogen Plasmas Using a Compact Electron-Beam-Excited Plasma Source 査読有り

    S.Tada, S. Takashima, M. Ito, M. Hamagaki, M. Hori and T. Goto

    Jpn. J. Appl. Phys.   41 巻 ( 7A ) 頁: 4691   2002年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  637. Measurement technique of radicals, their gas phase and surface reactions in reactive plasma prosessing 査読有り

    M. Hori and T. Goto

    Applied Surface Science   192 巻   頁: 135   2002年

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    記述言語:英語  

  638. Growth of Preferentially Oriented Microcrystalline Silicon Film Using Pulse-Modulated Ultrahigh-Frequency Plasma

    Jpn. J. Appl. Phys.(Express Letter)   40 巻 ( 1 ) 頁: L4   2001年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  639. Measurement of Spatial Distribution of SiF4 and SiF2 Densities in High Density SiF4 Plasma Using Single -Path Infrared Diode Laser Absorption Spectroscopy and laser-Induced Fluorescence Technique 査読有り

    M.Nakamura, M. Hori, T. Goto, M. Ito and N. Ishii

    Jpn. J. Appl. Phys.   40 巻 ( 7 ) 頁: 4730   2001年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  640. Ultrathin Fluorinated Silicon Nitride Gate Dielectric Films Formed by Remote Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Employing NH3 and SiF4 査読有り

    H. Ohta, M. Hori and T.Goto

    J. Appl. Phys.   90 巻 ( 4 ) 頁: 1955   2001年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  641. マイクロプラズマを光源に用いた真空紫外吸収分光法による原子密度計測 査読有り

    高島成剛、堀 勝、後藤俊夫

    真空   44 巻 ( 9 ) 頁: 802   2001年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  642. 赤外半導体レーザー吸収分光による半導体プロセスモニタリング 査読有り

    堀 勝、後藤俊夫

    日本赤外線学会誌   11 巻 ( 1 ) 頁: 2   2001年

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    記述言語:日本語  

  643. Spatial distribution of the absolute CF and CF2 radical densities in high-density plasma employing low global warming potential fluorocarbon gases and precursors for film formation 査読有り

    Masayuki Nakamura, Masaru Hori, Toshio Goto, Masafumi Ito, Nobuo Ishii

    J. Vac. Sci. Technol.   A19 巻 ( 5 ) 頁: 2134   2001年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  644. Absolute Cocentration and Loss Kinetics of Hydrogen Atom in Methane and Hydrogen Plasma 査読有り

    Seigou Takashima, Masaru Hori, Akihiro Kono, Toshio Goto, Katsumi Yoneda

    J. Appl. Phys   90 巻 ( 11 ) 頁: 5497   2001年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  645. Development of Vacuum Ultraviolet Absorption Spectroscopy Technique Employing Nitrogen Molecule Microdischarge Hollow Cathode Lamp for Absolute Density Measurements of Nitrogen Atoms in Process Plasmas 査読有り

    J.Vac. Sci. Technol. A   A19 巻 ( 2 ) 頁: 599   2001年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  646. On the Mechanism of Polytetrafluoroethylene Ablation Using a Synchrotron Radiation-Induced Photochemical Process 査読有り

    Hisao Nagai, Muneto Inayoshi, Masaru Hori, Toshio Goto, Mineo Hiramatsu

    Appl. Surf. Sci.   183 巻   頁: 284   2001年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  647. Dual-Electrode Biasing for Controlling Ion-to Adatom Flus ratio during Ion-Assisted Deposition of Diamond 査読有り

    Kungen Teii Masaru Hori Toshio Goto

    J. Appl. Phys.   89 巻 ( 9 ) 頁: 4714   2001年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  648. Negative Bias Dependence of Surfur and Fluorine Incorporation in Diamond Films Etched by an SF6 Plasma

    J. Electrochem. Soc.   148 巻 ( 2 ) 頁: G55   2001年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  649. Amorphous Silicon and Tungsten Etching Employing Environmentally Benign Plasma Process

    Jpn. J. Appl. Phys.   40 巻 ( 2A ) 頁: 832   2001年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  650. Effect of Ions and Radicals on Formation of Silicon Nitride Gate Dielectric Film Using Plasma Chemical Vapor Deposition 査読有り

    Hiroyuki Ohta Atsushi Nagashima Hiroyuki Ohta Atsushi Nagashima Masaru Hori Toshio Goto

    J. Appl. Phys.   89 巻 ( 9 ) 頁: 5083   2001年

     詳細を見る

    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  651. Spatial Distribution of the Absolute Densities of CFx Radicals in Fluorocarbon Plasmas Determined from Single-Path Infrared Laser Absorption and Laser-Induced Fluorescence 査読有り

    Masayuki Nakamura Masaru Hori Toshio Goto Masafumi Ito Nobuo Ishii

    J. Appl. Phys.   90 巻 ( 2 ) 頁: 580   2001年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  652. Behavior of Hydrogen Atoms in Ultrahigh-Frequency Silane Plasmas 査読有り

    Seigou Takashima Masaru Hori Toshio Goto Katsumi Yoneda

    J. Appl. Phys.   89 巻 ( 9 ) 頁: 4727   2001年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  653. Codeposition on Diamond Film Surface during Reactive Ion Etching in SF6 and O2 Plasma

    J. Vac. Sci. & Technol.   18 巻 ( 6 ) 頁: 2779   2000年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  654. マイクロ放電光源を用いたプラズマ吸収分光法

    プラズマ・核融合学会誌   76 巻 ( 5 ) 頁: 435   2000年

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  655. Kinetics and Role of C, O, and OH in Low-Pressure Nanocrystalline Diamond Growth

    J. Appl. Phys.   87 巻 ( 9 ) 頁: 4572   2000年

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    担当